Устройство для продувки камеры

.И.Гордиенко,ков и В.ф.КолесР Донован Р.ремниевых интегие, диффузия, э9, с.180-81, рис.7,4. сновы альных Бургер ологии -окисле Мир, 19 1-263,е итаксия,с.4,15,. схем М.: с.26 (54 (57 РВ едст ДЛЯ ПРОДУВКИ КАМЕ относится к ср ционных камер ( проведения хим процессов, и об эффекивнстиУСТРОЙСТВОИзобретениеочистки реакльзуемых дляологическихет понышени а 1оисптех еспеочисти ОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОбРЕТЕНИЙ ИОТНРЦТИЙ ки стенок К, Устройство содержит патрубок (П) с отражателем, закреплен-, ным перед выходным отверстием П. Отражатель снабжен крышкой, размещен" ной на торце П, По периметру крышки выполнены отверстия под углом 35 о80 к оси П. Суммарная площадь поперечного сечения отверстий крышки равна или меньше площади поперечного сечения выходного отверстия П. Расстояния между. отверстиями крышки и между ними и стенкой К не более утроенного диаметра отверстия. В обеспыпенной согласно, изобретению камере получены Подзатнорные диэлекО трики двуокиси кремния толщиной 750 А с пористостью 4-5 пор,см . 1 нл, 1 138030 с 1Изобретение относится к иикроэлектроццке и может быть использовано/при проведении химико-технологическихпроцессов в реакциоцньгх камерах.Пельо изобретения является повы 5шецие эФс 1 ектинцссти очистки стеноккамеры.На чертеже изображено устройство,продольный разрез. 10Устройство содержит патрубок 1 дляподачи газа, снабженцый отражателем2 ь эакрепиецным перед выходным отверстйем 3 патрубка 1, Отражатель 2снабжен крыпкой 4, размещенной ца 15торце выходного отверстия 3 патрубка 1. Ио периметру крьшпсц 4 выполнены отверстия 5 под углои 35-80 к осцопатрубка 1 Устройс гво ус гацонлено .снозмокцостью осевого перемещения в 20камере 6, имеющей патрубок 7 для подачи газа, Дпя стнода газа из камеры6 гыполгец зазор В между торцом камеры 6 ц заслонкой 9, 1(амера снабженацагревателеи 10, 25Суммарная плоцадь поперечного се-.чения отверстий 5 в крьппке 4 равнаили меньше площади цоперечцого сечения ныходцого отврс:тпя 3 патрубка 1,Расстояние между оверс.тлями 5 и 30между ццми и степкой камеры 6 це более у г 1 оенцого диаметра отверстия 5,11 а чертеже стрелками показано направленце газовых потоков,Устройство работае. следующим об 35разом.В промежутках между технологическими процессами в камеру 6 вставляютустройство. Через патрубокподаютпоток обеспылелцогс газа под избыточиыи дан 1 енцеи.1 е 1 ез пятрубок 7 и камеру 6 та 1 сже пода,от сбеспелецный газ,Стенки камеры 6 нагревают с помощьюнагревателя 10 Поток газа, ныходящп 1 из отверстий 5, обдувает стенкио45камеры цод углом 35-80 что обеспечивает наиболее зЯектцнцую очисткустенок камеры от пьоц 1, образупнцейся в результате рекристаллиэации стенок камеры 6 при проведении технологических процессов. Эмпирически установлено, что расстояние между отверстиями 5 и зазор до стенок камеры 6 должны находиться ца уровне не более утроенного диаметра отверстия 5, Далее, медленно выдвигая устройство из камеры 6, продувают ее и очищают таким образом стенки камеры 6 от,пыли, 11 а выходе газового потока через зазор 8 частицы пыли уносятся усиленной вытяжной вентиляцией.Проведецие в камере, обеспыленцой с помощью изобретения, процесса получения подзатнорцого диэлектрикао днуокиси кремния толщиной 50 Л позволяет снизить пористость окислаг гс 6-8 пор/см до 4-5 пор/см , остаточный уровень кбторого определяется технологическим процессом получения слоя,Формула изобретениявУстройство для продувки камерыхииико-термической обработки полупроводников, Содержащее патрубок дляподачи газа, подвижно установленныйн камере и снабженньп отражателем,закрепленным перед выходным отверстием патрубка, о т л и ч а 1 о щ е е с ятем, что, с целью повышения зс 1 фективцости очистки стенок камеры,отражатель снабжен крышкой, размещенной на торце входного отверстияпатрубка и имеющей отверстия, выполненные по ее периметру под угломо35-80 к оси патрубка, причем суммарная площадь поперечного сечения отверстий в крышке ранца или меньше площади поперечного сечения выходногоотверстия патрубка, а расстояния между отверстиями крьппки и между нимии стенкой камеры це превышает утроенного диаметра отверстия,380309 Составитель В.Захаров-ЧеренковТехред М.Ходанич Редактор С,Кулакова Закаэ 2835 Проиэводственцо-полиграфическое предприятие, г.ужгорбд, улПроектная, 4 Тираж ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам иэобретений и открытий 13035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5