Емкостный датчик для измерения толщины напыляемой пленки

Номер патента: 1456765

Опубликовано: 07.02.1989

Авторы: Коман, Юхимюк

МПК: G01B 7/06

Метки: датчик-свидетель, диэлектрической, емкостный, напыляемой, пленки, толщины

...дляконтроля толщинынапыляемой диэлектрической пленки; нафиг,2 - сечение А-А на фиг,1.Емкостный датчик содержит основание 1, выполненное в виде цилиндра .из диэлектрика, установленного с возможностью вращения вокруг его продольной оси 2, и размещенные по всейплощади его внешней поверхности свернутые в кольцо. плоские электроды 3 и4, имеющие гребенчатую форму и обраещенные один к другому своими зубцами, которые расположены в промежутках между зубцами противолежащегоэлектрода,Емкостный датчик-свидетель работа"ет следующим образом.Во время вакуумного напыленияосаждаемая пленка образует диэлектрическое покрытиена внешней поверхностицилиндрического основания 1 и на элек"тродах 3 и 4 емкостного датчика, которое изменяет электроемкость...

Номер патента: 287183

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Институт, Матис

МПК: G01R 27/26

Метки: анизотропных, диэлектрических, измерительный, конденсатор, свойств

...электрического поля в исследуемом материале осуществляется путем переключения электродов, что повышает точность измерений.На чертеже изображена конструкция изме. рительного конденсатора, в котором направление электрического поля меняется через каждые 45. Конденсатор состоит из восьми электродов 1 - 8 и многопозиционного переключателя 9, через который электроды подключаются к измерительной схеме,Измерения производят в следующей после.довательности.Первое измерение проводят в положение пе.реключения, при котором электроды 1 - 4 об.5 разуют одну обкладку конденсатора, а электроды 5 в 8 в др обкладку (как показанона чертеже). После замера комплексной емкости конденсатора, заложенного между слоями анпзотропного диэлектрика,...

Номер патента: 363530

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Вител, Горшков, Федотов

МПК: B07C 5/06

Метки: пластин, полуавтомат, сортировки, толщине, упругих

...1 под каждым приспособлением б расположены штоки 24, управляющие бесконтактными выключателями 25. Пластины подготавливаются к загрузке на столе 26 для ручной 15загрузки диска 1. Неподвижный клин 27 осуществляет возврат штоков 24 в исхсдное положение. Измерительная голодовка ссстэпт нзизмерительного ролика 28 со штоком 29 иэлектроконтактного датчика 30. 20Включение и выключение питания датчика 30 происходит прои помощи флажка 22включателя 23 в моменты входа ролика 28 напервую тарелку 12 и схода его с последней,Датчик 30 выдает два сигнала: выше и ннже номинальпого. Три электромагнита 31 запоминающего устройства срабатывают по сигналам от датчика 30 и выдвигают соответствующие штоки 24.Сортировочная система состоит из электро- ЗОвентиля...

Номер патента: 902127

Опубликовано: 30.01.1982

Авторы: Ануфриев, Семочкин, Трофимов

МПК: H01R 39/00

Метки: вала, вращающегося, датчиков, измерительных, передачи, сигналов, токосъемное

...нормалик поверхности контактного кольца, обоймащеткодержателя снабжена регулирующимвинтом с фиксатором пружины, установленным в его нижней части, а щетки расположены относительно друг друга под углом,взятым из соотношения15.-2 У+ф),при этом 80игде А - центральный угол, образованныйвнутренними гранями щеток, град;3 - центральный угол, занимаемый зазором в местах разъема контактного кольца, град;и - количество составных частей контактного кольца, шт.;9 - центральный угол (сектор, занимаемый одной щеткой, град.На чертеже приведена конструктивнаясхема предлагаемого устройства.Предлагаемое устройство содержит коромысло 1, щеткодержатели 2, состоящие изрычага 3 и обоймы 4, пружины 5, щетки 6,фиксаторы 7 пружин, контактные кольца 8и...

Номер патента: 1660218

Опубликовано: 30.06.1991

Авторы: Безлюдова, Осипов, Шворобей

МПК: H05B 6/64

Метки: диэлектрической, пластины, поле, электромагнитном

...содержит заземленную металлическую пластину 1, на которой размещена обрабатываемая диэлектрическая ,пластина 2, на одну из поверхностей которой нанесен металлический проводник 3, выполняющий роль токонесущего проводника полосковой линии, и слой фоторезиста 4, дополнительную заземленную металлическую пластину 5, размещенную на расстоянии от диэлектрической пластины 2, определяемом выражениемь=ь/Кьгде 11 и й- соответственно толщина и эффективная диэлектрическая проницаемасть диэлектрической пластины 2.Способ осуществляют следующим образом,Обрабатываемую диэлектрическую пластину 2, установленную в кассете, образованной заземленной металлической пластиной 1 и дополнительной металлической пластиной 5, размещают в резонансную камеру...