Патенты с меткой «датчик-свидетель»

Номер патента: 1456765

Опубликовано: 07.02.1989

Авторы: Коман, Юхимюк

МПК: G01B 7/06

Метки: датчик-свидетель, диэлектрической, емкостный, напыляемой, пленки, толщины

...дляконтроля толщинынапыляемой диэлектрической пленки; нафиг,2 - сечение А-А на фиг,1.Емкостный датчик содержит основание 1, выполненное в виде цилиндра .из диэлектрика, установленного с возможностью вращения вокруг его продольной оси 2, и размещенные по всейплощади его внешней поверхности свернутые в кольцо. плоские электроды 3 и4, имеющие гребенчатую форму и обраещенные один к другому своими зубцами, которые расположены в промежутках между зубцами противолежащегоэлектрода,Емкостный датчик-свидетель работа"ет следующим образом.Во время вакуумного напыленияосаждаемая пленка образует диэлектрическое покрытиена внешней поверхностицилиндрического основания 1 и на элек"тродах 3 и 4 емкостного датчика, которое изменяет электроемкость...