Способ вакуумирования датчиков абсолютного давления и устройство для его осуществления

(19 1 7/О 4 АНИЕ ИЗОБРЕТ ного да Откачку о суще ствл 5, помещ т мируе ия всем еле мого коридавлений акуумно завари агреву орошкоо ом фил ь олуч ают атериал ежду се ари вани ильтр 5 верстие в ни ают и подверг до т-ры погл разным геттер ра 5. Геттерн спеканием пор ОВАНИЯ ДАТЧИКОВ И УСТРОЙСТВОИЯ заполняюцечатыми колпа сится к конт- технике и поотв и предо яе чувствительн сплавленного ежность работы ьшения остаточбрызг рс,п. ф-л зле мен териал ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(54) СПОСОБ ВАКУУМИ АБСОЛИТНОГО ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕН (57) Изобретение от рольно"измерительно зволяет повысить на датчика за счет уме ления воздуха яют че енный в уса 4. в опор м боксе опорнои камереиэ опорной полоеэ геттерный фиотверстие вакууПосле выравниваной полости и во ают сборку ощения газов ным материаый фильтр 5 ошкообраэного о пространств ками. При эаниппеле 6Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к датчикам, предназначенным для измерения аючолютного давления.11 елью изобретения является повышение надежности работы датчика за счет уменьшения остаточного давления в опорной камере.На фиг.1 показана конструкция датчика абсолютного давления, позволяющая реализовать предлагаемьп способ; на фиг,2 - геттерный фильтр.Вакуумирование и герметизация опорных полостей датчиков абсолютного давления по предлагаемому способу осуществляются следующим образом.1 20 25 30 50 Датчик конструктивно разделенныйна две полости, измерительную - рабочую (ограниченную приемным штуцером и воспринимающим элементом 2)и опорную - вакуумируемую (ограниченную воспринимающим элементом 2,внешним корпусом 3 и вакуумируемымкорпусом 4) помещают в вакуумныйбокс. Предварительно в отверстиевакуумируемого корпуса 4 помещаютгеттерный фильтр 5 и жестко фиксируютниппель б в вакуумируемом корпусе 4 с помощью электронно-лучевойили аргоцно-дуговой сварки, В вакуумном боксе создается давление разряжения порядка 10 - 10 мм рт,ст.и по истечении определенного времени,зависящего от обьема опорной полости,внутреннего диаметра ниппеля . и размеров геттерного фильтра (практически это время составляет от 20 миндо 2 ч), когда давление в опорнойполости выравнивается с давлением вовсем вакуумном боксе, отверстие в ниппеле б заваривается, тем самым полностью замыкается объем опорной полости, Так как между ниппелем 6 и.чувствительным элементом 7 (например,металлоплецочным тензопреобразователем) существует заслон в виде геттерцого фильтра 5, то при сварке обеспечивается достаточная защита измерительной схемы чувствительного элемента 7 от попадания на нее брызграсплавленного металла. Сварка заключительного шва (внутреннего отверстия ниппеля) осуществляется непосредственно в вакуумном боксе длячего может быть использовано подколпачное устройство установки электронно-лучевой сварки,После сварки сборку подвергают нагреву до температуры, соответствующей температуре поглощения газов порошкообразным геттерным материалом Минимальное время выдержки сборкипри такой температуре должно быть неменее времени, при котором датчикбудет окончательно термостабилизиро ван. Данное время будет зависеть от массы и объема датчика, объема гет, -терного устройства и т,д,Устройство вакуумирования датчиков абсолютного давления содержит вакуумируемый корпус 4 (фиг.2 в котором установлены геттерный фильтр 5 и ниппель 6. В свою очередь геттерный фильтр 5 состоит из двух сетчатых колпачков: наружного колпачка 8 и внутреннего колпачка 9, а пространство между колпачками заполнено порошкообразным материалом (геттерным составом 10), представляющим собой состав, например, из титана и магния. Данный состав (в соотношении %: титан 60-65, магний 40-35) помещается между двух сетчатых колпачков и спекается при 560 в 6 С между собой и со стенками колпачков, после чего готовый геттерный фильтр 5 устанавливается в сборкудатчика, В .результате операции спекания геттерный фильтр 5 становится единым монолитным блоком, и за счет этогоисключается рассыпание порошкообразного материала и попадание его вопорную полость на чувствительньпэлемент датчика.Датчики абсолютного давления свведенным в них устройством вакууми рования работают в расширенном темпе-. ратурном диапазоне,Формула и э о б р е т е н и яСпособ вакуумирования датчиков абсолютного давления, заключающийся в откачке через ниппель воздуха иэ опорной камеры датчика, помещенного в вакуумный бокс, о т л и ч а ю:- щ и й с я тем, что, с целью повышения надежности работы датчика эа счет уменьшения остаточного давления в опорной камере, производят откачку воздуха через обладающийгеттерными свойствами фильтр, помещенный в сквозное отверстие корпуса опорной камеры, герметиэируют отверстие ниппеля и нагревают датчик до темпера -1362971 Составитель О. Слюсар рректор М,Демчи хред И.Попович 6391/29 Тираж 776ВКИИПИ Государственного кпо делам чзобретений и113035, Москва, Ж, Рау За исное митета ССС крытий., д. .4/5 кая н водственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Пр туры, при которой происходит адсорбция газов в фильтр,1 2. Устройство для вакуумирования датчиков абсолютно го давления, содержащее ниппель, установленный соосно со сквозным отверстием корпуса датчика со стороны опорной камеры, о т - л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности работы 1 в него введен фильтр, закрепленный всквозном отверстии корпуса междуопорной камерой и ниппелем, причем 5фильтр выполнен в виде сетчатых колпачков, расположенных своими цилиндрическими частями друг в друге, апространство между торцами колпачков заполнено порошкообразным мате риалом, обладающим геттерными свойствами.