Способ изготовления полюсных наконечников

ZIP архив

Текст

(19) би 411 В 5/127, 5/3 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ 1 Щ 11 Я,с .; 4,ДЕТ СТВУ К АВТОРСКОМ иски СР Ю ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(71) Киевский научно-исследовательскиконструкторский институт периферий ноборудования(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛЮСНЫХ НАКОНЕЧНИКОВ(57) Изобретение относится к технике магнитной записи и воспроизведения информации и позволяет упростить технологию изготовления наконечников при уменьшении их магнитного сопротивления. На листе из магнитно-мягкого материала осаждают через маску тонкопленочные площадки 3 из немагнитного материала. После вакуумного напыления на площадки 3 магнитно-мягкого материала на полученную трехслойную заготовку 6 наносят с двух сторон слой фоторезиста. Затем вводят заготовку 6 в полость двустороннего фотошаблона 7, совмещая его рисунок 8 с площадками 3. Формирование конфигурации полюсных наконечников осуществляют двусторонним фототравлением заготовки, для чего ее после экспонирования, проявления и задубливания помешают в серную кислоту. 4 ил.Изобретение относится к технике магнитной записи / воспроизведения.Цель изобретения - упрощение технологии изготовления полюсцых наконечников при уменьшении их магнитного сопротивления.На фиг. 1- - 4 изображены стадии изготовления полюсных наконечников.Способ осуществляют следующим образом.На лист 1 из магнитно-мягкого мате риала, например ленточного пермаллоя, толциной 20100 мкм осаждают (вакуумным напылением) при вакууме 10" мм рт.ст. со скоростью 10 - -100 А/с через маску 2 тонкопленочные площадки 3 из цемагнитного материала, например титана, с вырезом 4 ца одной из сторон при температуре нагрева листа 300 - -400 С (фиг. 1). Затем (фиг. 2) проводят осаждецие 1 вакуумное напыление) цри вакууме 10" мм рт.ст. со скоростью 515 мкм/мин слоя 5 магнит(ю-мягкого материала, например, пермаллоя, толщиной 20 - 100 мкм на тонкопленочные площадки 3 из немагцитного материала с получением трехслойной заготовки 6. Затем заготовку 6 обезжиривают и наносят слой фоторезиста с двух сторон и высу шивак)т его при, комнатной температуре. После этого 1 фиг. 3) полученную заготовку 6 с фоторезистом вводят в полость двустороннего фотошаблона 7 и при помощи, например, микроскопа проводят совмещение тонко(Леночцых площадок 3, видимых сквозь слой 5 магнитно-мягкого материала и фоторсзист с рисунком прозрачного фотошаблона 7. При этом рисунок 8 одной из сторон( фотошаолона 7 предварительно совмещен с рисунком 9 другой стороны фотошаблопа 7 (фг. 4). Затем проводят двустороннее фототравлецие с получением полюсного наконечника из листового и полюсного наконечника из осажденного материалов, разделенных рабочим зазором на стороне тонкопленочной площадки 3, прилежащей к стороне с вырезом 4.Двустороннее фототравление можно, например, выполнять следующим образом. Заготовку 6 с нанесенным фоторезистом экспонируют, проявляют и задубливают в термош кафу.Окончатссьцуо операцию травлеция осуществляют в серной кислоте до полного растворения цезащи(псццых фоторезпс(ом мест заготовки. Фор)(ула изобретенияСпо(об 1:(Готовс(ецг(51 (олюсцх наконечников, заключающийся ц том, что формируют трехслой;ую заготовку путем осаждения ца нижний маН(итцый слой цемагцит- НОГО и БерхцеГО мс(гитцо 0 с,(оев, наносят ца заотовку фоторезист и формирую( конфи гу 1) а пи(0 1л 10(.1 ы х 1 1(коечци кон фототравлецием заготовки, от,(ини)ои(ийея тем, что, с целью упрощения технологии изготовления цолюсцых наконечников при уменьшении их магнитного сопротивления, при формировании трсхслой(н)й заготовки ца ни жц и Й м 111 ц( т 11 ы Й сс( 01 из )1 а(11 т 1(0-м 5(ГКОГ ЛИСтс( Осаж;15(К)Т (ЕРЕ:( Мс(ОКУ ЦЕМИГ- нитныЙ слОЙ В Вцдс 1 ОпкоцлНО 1 цых ц,1 Ощадок, фоторезист наносят с двух сторон заготовки, а црц формировании коцфигура(ии цолюсных пакОцецков Осъп 1 ествл 5 от двустороццес фототравлецис заг(гговки с юмощью двусгоронце(о фотонаб,Опа, рисунок КОТО Р 0 10 С 0 Г 5 Х( С Ц 1(1 10 Т ( ТО Ц К 0 Ц, 1 С Ц ) Ч Ц Ы М И Ц С( О- щадками цем)(гц(Г(цо 0 слоя.

Смотреть

Заявка

3932961, 23.07.1985

КИЕВСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ И КОНСТРУКТОРСКИЙ ИНСТИТУТ ПЕРИФЕРИЙНОГО ОБОРУДОВАНИЯ

АНПИЛОГОВ ОЛЕГ НИКОЛАЕВИЧ, ГАЛАНСКИЙ ВЛАДИСЛАВ МИХАЙЛОВИЧ, КАРЛУКОВ ЛЕОНИД НИКОЛАЕВИЧ, МИРОНОВ СЕРГЕЙ НИКОЛАЕВИЧ, НЕДОСТУП ВАЛЕРИЙ МАРКОВИЧ, ХАРЛАМОВ ОЛЕГ ВЕНИАМИНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G11B 5/127, G11B 5/31

Метки: наконечников, полюсных

Опубликовано: 07.04.1987

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1302319-sposob-izgotovleniya-polyusnykh-nakonechnikov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления полюсных наконечников</a>

Похожие патенты