Способ измерения параметров металлической сетки

(19 1/24 14 С ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ЛЬСТВУ ОМУ СВИ Н АВТ п(54) СПОС МЕТАЛЛИЧЕ ЕТРО ИЗМЕРЕНИЯИ СЕТКИ Ю СУДАРСТ 8 ЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(71) Институт радиотехники и электроники АН СССР(56) 1.М.Ьашагге, Н.Согоц, К.Соцгттп, С,ПашЬ 1 ег, М.СЬагга, Мета 11 дс шевЬ ргорег 1 ев апд йевтп 8 оГ зцЬ- втП 1 шетет т 11 тетв. - 1 птегпат.допа 1 доцгп, оЕ Ьц 1 гагей апд М 1111- шетет Яачев, 1981, ч. 2, Р 2, р. 273-292.Р.7 о 8 е 1, Ь.Ьепге 1. Тгапвгн.вв 1 оп апй гей 1 ест 1 оп о 2 шета 11 тс шевЬ 1 п тле айаг 1 п 2 гагей, - 1 пГгатей Раув., 1964, ч. 4, 11 4, р. 257-262.(57) Изобретение относится к измерительной технике, к оптике дифракционных решеток и может быть использовано для измерения параметров металлической сетки. Целью изобретения является повышение точности измерений параметров сетки за счет точного измерения ширины и периода расположения полосок сетки, Полоски сетки 1 в направлении, параллельном прямой КН, ориентируют перпендикулярно плоскости поляризации излучения 8, Пропускаемое сеткой 1 излучение попадает на приемник 5 и реобразуется в нем в электрический сигнал, регистрируемый на самописце 7 в виде кривой линии. Последователь- Ж но изменяют длину волны излучения с помощью монохроматора 4 и записывают контур полосы пропускания сетки1,Изменяя длину волны излучения в1296833 заданном диапазоне, находят минимум пропускания в виде узкого пика и соответствующую ему длину волны. Затем изменяют угол падения излучео ния так, чтобы он составлял 65 с плоскостью сетки. Непрерывно изменятт монохроматором 4 длину волны из 1Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптике дифракционных решеток, и может быть использовано в метрологии для измерения физических, Физико-химических параметров металлической сетки, подвергающейся, например, воздействию различных температур и окислителей или для контроля технологических процессов гальванотехники, травления, напыления тонких металлических пленок.Цель изобретения - повышение точности измерений параметров сетки путем точного измерения ширины и периода расположения полосок сетки.На фиг. 1 показана схема осуществления предлагаемого способа измерений параметров металлической сетки, на фиг. 2 - контуры полос про" пускания, полученных при нормальйом (9-12) и наклонном падении излучения под углом 65 (9 -12 ) к плоскости различных сеток, имеющих период 10+0,05 мкм и ширину полосок 4,19 мкм - 9 и 9 , 4,00 мкм - 10 и 10, 3,34 мкм " 11 и 11 , 2,65 мкм - 12 и 12Способ осуществляют следующим образом.Исследуемую сетку 1 (фиг. 1), имеющую период я и ширину полосок 2 а, устанавливают на лимбе в кюветном отсеке измерительного канала спектрофотометра между источником 2 излучения, поляризатором 3 с одной стороны и монохроматором 4, приемником 5, усилителем 6, самописцем 7 с противоположной стороны, Полоски сетки 1 в направлении, параллельном прямой КН, ориентируют перпендикулярно плоскости 8 поляризации излучения, От источника 2 излучения через поляризатор 3 направляют пучок лучения в заданных пределах, а затем меряют величину пропускания сетки для различных длин волн. Используя измеренные длины волн по формулам а=1,593 Л -1,1571Р=2,6431 д-,1,341 вычисляют параметры сетки,2 ил. 2излучения перпендикулярно к плоскости сетки 1, установленной как показано на фиг, 1 в позиции 1, Пропускаемое сеткой излучение проходит мо нохроматор 4, попадает на приемник5 и преобразуется в нем в злектри"ческий сигнал, усиливаемый усилителем 6 и регистрируемый на самописце7 в виде кривой линии, Последова 1 О тельно изменяют длину волны излучения с помощью монохроматора 4 и записывают контур полосы пропусканиясетки на самописец спектрофотометра СпекордТК. Получают кривые9 и 9 (фиг. 2), Максимум полосы про"пускания на кривой 9 соответствуетдлине волны , =11,45 мкм. Изменяядлину волны излучения в диапазоне0,26 "1,55, или 2,98-17,75 мкм, 20 находят на -вершине контура минимумнропускания в виде узкого пика и соответствующую ему длину волны 1=11,29 мкм, Затем изменяют угол падения излучения так, чтобы он составлял 65 с плоскостью сетки, а плоскость его поляризации была параллельна плоскости падения, проходящейчерез прямую АВ и нормали ВО, и ВОФ .Непрерывно иэмейяют монохроматором, ЗО 4 длину волны излучения в пределахот 0,431,до 1,11 3 или от 4,90 до12,70 мкм и производят запись кривой 9 . Затем меряют величину пропускания сетки для различных длинволн и находят длину волны 1=9,50 мкм, соответствующую максимуму пропускания. Используя измеренныедлины волн 1 =11,29 мкм и=9,50 мкмпо формулам40 а=1,5933 -1,157 В,;8=2,643 Л ."1,341 Л,вычисляют параметры сетки 2 а=4,14 мкм8=9,97 мкм,3 1296833 4 и э о б р е т е н и я определения Л, изменяют угол падения излучения так, чтобы он составоения параметров ме- лял 65 с плоскостью сетки и плоски, заключающийся кость его поляризации была параллельендикулярно сетке5на плоскости падения и полоскам сетополяриэованное иэ" ки в одном направлении, непрерывно овательно изменяют изменяют длину волны излучения в и для каждой длины пределах от 0,43 Л, до 1,11 Л, и иэт величину пропус- меряют величину пропускания сетки, ходят длину волны 10 находят длину волны Л соответствущую максимуму про- ющую максимуму пропускания, а парану волны 3 соответ- метры сетки вычисляют по формулам: формула а=1,593 Л,157 Л 4гд=2,6433, - 1,34 Л Юб 7 Составитель В.МироновТехред А. Кравчук Корректор А.Тяско актор С.Лиси Тираж 678 ВНИИПИ Государствеиног по делам изобретений 3035, 11 осква, Ж, Раувказ 764/41 Подписноекомитета СССРи открытийкая наб., д. 4/5 но"полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проектна Производст Способ измерталлической сетв том, что перпнаправляют плосклучение, последего длину волныволны определяюкания сетки, насоответствую6пускания, и дли9,ствующую минимуму пропускания, расположенному на вершине контура пропускания, и вычисляют параметры сет ки, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерения параметров сетки, после где а - полуширина полоски сетки; я " период сетки.