Устройство для доводки плоских и плоскопараллельных поверхностей пластин

О П И С А Н И Е637241ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АвтОвскОМЮ СВИДЮтйльСтаю Союз СоввтснхСоцналнстнчаснюИсптблн вт, саид-ву М 557 61) ополннтельн г 51) М. Кл/О 4 присоединением заявк23) Приоритет -Гесударстввнный кеатетСамта Мкккстраа ССОаф делан кзабретаеквткрмткй 43) Опубликовано 15,12.78, Бюллетень % 46 (53) УДК 621.923.5(088.8)4 б) Дата опубликования описания 15.12,78 2) Автор изобретения Н. Ф. Халин аявитель 54) УСТРОЙСТВО ДЛ ОДКИ ПЛОСКИХ И ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫХОСТЕЙ ПЛАСТИН ьнослеУстройство свбженного ген оит из механизматором колебаний 2 одвижно мный цил Нв дне устройс го служчасти которого звк хн е точи ндрический герметичный осудв 3 в суспензии с ва 4, внутреннее кольт сепаратором, звкрепв виде бархатного шликотором расположены с обрабатываемыми; лев съе сосуд Э помощью е и разрхностей10 цо котор лен рвбо остигается тем, что в ройстве направляющиеупругого кольиа с продо на наружной к внутрен лага чий дискка 5,на ом олнены вальн в виде гофра м льны ми ей пове ис облен ами 7 плас Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано в приборостроении при доводке монокристаллических пластин.Известно устройство для доводки пластин, содержащее рабочий диск и сепара 5 тор со сквозными отверстиями для деталей, снабженный перемещающимся по направляющим штоком с независимой регуль ровкой. Однако из-за зазора между цилиндрическими поверхностями направляющих и та штока нельзя обеспечить параллельности торцовой поверхности штока относител опорной поверхности напрввлжошей, а, довательно, н осуществить строго плоско- параллельную обработку поверхностей плас- т тий.Цель изобретения - повышен ти обработки различных по высот мерам, плоскопараллельных пове пластин.Это д пред ностях, в устройство снабжено шпонкой - гайкой, установленной в выполненном в штоке пазу с возможностью взаимодействия с введенным в устройство винтом,размещенным в направляющих, при этом на наружной поверхности кольца выполнена кольцевая канавка, в которой помещено введенное в устройство пружинное кольцо.На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 - ттриспособленне для крепления обрабатываемых пластин; разрез; на фиг. 3 - то же, вид сверху.1 риспособление 6 состоит иэ штока Ь, перемещающегося по направляющим, выполненным в виде упругого опорного кольца 9, шпонки-гайки 10, винта 11 и разрезного пружинного кольца 12. Шпона- У гайка 10, введенная в продольный паэ 13 штока, с винтом 11 фиксируют положение штока по высоте относительно основания кольца 9. Упругое опорное кольцо 9 выполнено с продольными гофрами 14 на на-В ружной и внутренней поверхностях, расположенными симметрично, отверстию под.винт, и с кольцевой канавкой 15 под разрезное пружинное кольцо 12, Кольцо 12, помещенное в канавку 15 заподлицо с на- И ружными гофрами, устраняет произвольное откручивание винта и возможные непродолжительные остановки приспособлений 6 из за зацепления друг эа друга, т.е. обеспечивает надежнуюточнуюдоводИу пластин. 1 йПриспособление 6 с пластинами 7, закрепленными клеем на торцовой поверхности штока 8, устанавливаются на дне цилиндрического сосуда. При включении генератора колебаний приспособления совер- ф шают сложное движение по рабочему диску.Йластины 7, например монокристаллыр рассортированные по толщине, наклеиваются.на поверхность штока 8. Каждый шток перед наклейкой пластины а его поверх- ЗЭ ность, предварительно притертую совместно с опорной поверхностью упругого опор ного кольца, настраивается кольцом 9 на высоту Н, равную толщине заготовки. После доводки одной плоскости пластиныснимают со штока и наклеивают противоположной стороной, Затем процесс полировки повторяется.Ьеэзазорное и бесповоротное соединение штока с упругим кольцом позволяет уменьшить высоту направляющей приспособления, осуществить регулирование расстояния без перекосов между торцовой поверхностью штока и основанием упругого опорного кольца, что обеспечивает повышенную точность обработки плоскопаралдельных поверхностей пластин,Формула и эобрете н ияУстрой тво для доводки плоских и плоскопараллельных поверхностей пластин поавт, св, % 255794, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что, с целью повышения точности обработки различных по высоте иразмерам пластин, направляющие выполнены в виде упругого кольца с продольными гофрами на наружной и внутренней поверхностях, я устройство снабжено шпонкой-гайкой, установленной в выполненномв штоке пазу с возможностью взаимодействия с введенным в устройство винтом,размещенным в направляющих, при этомна наружной поверхности кольца выполнена кольцевая канавка, в которой помещено введенное в устройство пружинноекольцо,0 СССР Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная,Тираж Госудврствени по делам 3035, Москвго комитетазобретенийЖРву П одписноеСовета Министрои открытийшскви нвб., д, 4