Устройство для измерения низкого давления

(19) И 11 5114 С 01 Ь 2 еСР Е ИЗОБРЕТЕНИЯВИДЕТЕЛЬСТВУ ПИ АВТО к, Л м Г ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(71) Киевский институт автоматики им. ХХ 7 съезда КПСС(56) Авторское свидетельство СССР У 1040358, кл. С 01 Ь 21/12, 1983.Кучеренко Е. Т. Справочник по физическим основам вакуумной техники М.: Высшая школа, 1981, с. 124-126. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ(57) Изобретение относится к измерению давления газовой среды в вакуумной технике и позволяет повысить точность измерения давления газа переменного состава. Засасываемый в полость 7 пониженного давления газ или воздух очищают в сухом фильтре 2 На дросселе 3 происходит дозирующий напуск газа в систему измерения путем установления в сечении дросселя постоянной скорости газового потока равной критической. На пути движения газа установлен дополнительный дроссель 4 с таким диаметром отверстия, чтобы на нем перепад давлений не достигал критического. Один и тот же расход газа-натекателя измеряеТся при давлении, равном искомому и при несколько большем давлении ежду дросселями 3 и 4. Мосты 5 и 6 по характеристике сигнала идентичны, но при измерении расхода одного и того же потока газа в условиях разного давления показания их будут отличаться, т.к. в одном из них в отводе тепла от чувствительного элемента участвуют конвенционные потоки. Результирующий сигнал от двух мостов выражает степень разреженности газовой среды в контролируемой полости.1 ил.50 Изобретение относится к измерениюдавления газовой среды в вакуумнойтехнике и может быть использовано ввакуумных установках, например привнепечной обработке стали, вакуумныхплавильных печах и в других отрасляхпромьппленности, использующих средний вакуум для проведения технологических процессов,Целью изобретения является повышение точности измерения давлениягаза переменного состава.На чертеже показана схема предлагаемого устройства.Устройство содержит щтуцер 1 длязабора газа-натекателя, напримервоздуха из помещения, фильтр 2 тонкой очистки газа (воздуха) от пыли,дроссельные диафрагмы 3 и 4, дваэлектрических моста 5 и 6, полость7 измеряемого вакуума, например вакуумпровод, усилитель 8 электрических сигналов, реверсивный двигатель9, шкалу 10 прибора регистратора.давления.Устройство работает следующим образом.В полость 7 пониженного давлениянепрерывно засасывается газ иливоздух из полости поввппенного давления или помещения (через Фильтр).Количество засасываемого газа оченьмало (0,2 - 0,5 л.мин) по сравнениюс объемом откачиваемого газа из системы вакуумирования. Засасываемыйгаэ или воздух тщательно очищаютот пыли и капельной влаги в сухомфильтре 2, Затем газ (воздух) проводит дросселирующее устройство 3,выполненное в виде диафрагмы, соплаили капиллярной трубки, На этом устройстве происходит дозирующий напуск газа в системуизмерения путемустановления в сечении дросселя постоянной скорости газового потока,равной критической (при отношениидавлений до и после дросселя больше.1,52). На пути движения газа натекателя установлено второе дросселирующее устройство 4 с таким диаметром отверстия, чтобы на нем перепад давлений не достигал критического,Таким образом, на газовой трассенате. ателя создаются две ступенидавления - одна на уровне давленияв контролируемой полости 7, другаянесколько выше первой (в зависимостиот степени дросселирования на диаф 5 О5 20 25 30 35 40 45 рагме 4) . Один и тот же расход газанатекателя измеряется дважды при давлении равном (или близком) к искомому и при несколько большем давлении между дроссельными диафрагмами 3 и 4. Термоанемометрические расходомеры в измерительных мостах 5 и 6 имеют проточную и полупроточную камеры, в которых размещены прецизионные термосопротивления, нагреваемые током постоянного напряжения.Проточный и полупроточный каналы датчика размещены в двух разных плечах электрического моста. Остальные два плеча моста укомплектованы постоянными сопротивлениями (К к).Мосты 5 и 6 по характеристике сигнала абсолютно идентичны (при измерении.в одинаковых условиях), но при измерении расхода одного и того же потока газа в условиях разного давления показания их отличаются, так как в одном из них (в полости повышенного давления) в отводе тепла от чувствительного элемента участвуют конвективные потоки. Полученный таким образом результирующий сигнал от двух мостов выражает степень разреженности газовой среды в контролируемой полости, Электрическая схема преобразования этого сигнала в единицы давления выполняется вторичным прибором с усилителем 8. Передвигая двигателем 9 ползунок реохорда для уравновешивания разбаланса мостов связывают сигнал с углом поворота двигателя и далее со шкалой 10. Сигнал для использования в системах регулирования снимается с преобразователя, встроенного во вторичный прибор.Предлагаемое устройство менее чувствительно к составу газовой среды, по сравнению с теплоэлектрическими манометрами, работающими только на эффекте изменения теплопроводности при изменении давления. Формула изобретения Устройство для измерения низкого давления, содержащее теплоэлектрический манометр, приемная камера которого снабжена подводящим штуцером, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью уменьшения погрешности измерения давления газа переменного состава, оно снабжено источником высоСоставитель А, Соколовский Техред Н.Бонкало Корректор А. Обручар Редактор Р. Цицика Заказ 4225/41 Тираж 778.ВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Подписное Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 кого давления, блоком разности сигналов и дополнительным теплоэлектрическим манометром, приемная камеракоторого соединена с источником вы 1249356 4сокого давления и через дроссель - с камерой основного манометра, а электрические выходы манометров подсоединены к блоку разности сигналов.