Интерферометр для контроля формы плоских поверхностей оптических деталей

. РЕСПУБЛИК А 1 04 С 01 В 9/02 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ ИД:ТЕЛЬСТВУ АВТОРСНО ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРМР 1 ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ОПТИЧЕСКИХДЕТАЛЕЙ(57) Изобретение позволяет повыситьточность контроля путем снижения чувствительности интерферометра к вибрациям,и исключения внеосевого падениялучей света на сферическое зеркало.Интерферометр содержит основание,размещенные на нем установочное приспособление, предназначенное для за-крепления и юстировки контролируемойдетали, оптически связанные осветительную систему, систему формирования сферического волнового Фронта.801239515 а узлом ее крепления, сферическое зев,кало, плоскопараллельную пластину,закрепленную горизонтально в установочном узле, регистратор интерференционной картины, установленные наосновании шесть пневмокамер, три изкоторых соединены последовательночерез пневмопровод и на них размещенустановочный узел на поверхностьплоскопараллельной пластины, обращенной к контролируемой детали, нанесенслой прозрачной вязкой жидкости,установочное приспособление размещено над свободной поверхностью слояжидкости на трех других пневмокамерах, каждая из которых выполненас возможностью автономного регулирования давления в ней. В интерферометре также узел крепления системы формирования сферического волновогоФронта выполнен в виде плоскопараллельной пластины с отверстием в центре, расположенной под первой пластиной параллельно ей. 1 з.п. Ф-лы, 1 ил.39515 510 50 55 12Изобретение относится к измери - тельной технике, предназначено для контроля формы плоских поверхностей оптических деталей и может быть использовано в производстве, занятом изготовлением высококачественных оптических систем.Цель изобретения - повышение точности контроля путем снижения чувствительности интерферометра к вибрациям и исключения внеосевого падения лучей света на сферическое зеркало,На чертеже представлена принципиальная схема интерферометра,Интерферометр содержит основание 1, размещенные на нем три последовательно соединенные через пневмопровод пневмокамеры (показана однапневмокамера 2), оптически связанныеосветительную систему 3, систему 4Формирования сферического волновогофронта с узлом 5 ее крепления, сферическое зеркало 6, плоскопараллельную пластину 7 с нанесенным на ееверхнюю поверхность слоем 8 прозрачной вязкой жидкости, установочныйузел 9 для закрепления в горизонтальном положении плоскопараллельнойпластины 7, регистратор 1 О интерФеренционной картинытри другихпневмокамеры (показана пневмокамера 11), каждая из которых выполненас вазможностью автономного регулирования давления в ней, и установочноеприспособление 12, предназначенноедля закрепления и юстировки контролируемой детали 13,Установочный узел 9 размещен напервых трех пневмокамерах, а установочное приспособление 12 - над свободной поверхностью слоя 8 прозрачной вязкой жидкости на трех другихпневмокамерах, каждая из которых .выполнена с возможностью автономногорегулирования давления в ней. Узел 5крепления системы формирования сферического волнового фронта выполнен в виде пласкопараллельной пластины с отверстием в центре, расположенной под пластиной 7 параллельной ей,Интерферометр работает следующимобразом.Осветительная система 3 формируетпараллельный пучок лучей и направляет его в систему 4 формирования сферического волнового фронта. Система 4 формирует из параллельного пучка лучей сферический волновой фронт,15 25 30 35 40 45 центр которого совпадает с фокусомсферического зеркала 6. Последнеепреобразует поступающий на него сферический вопновой фронт в плоскийволновой фронт, распространяющийсяв направлении нормалей к свободнойповерхности слоя 8 прозрачной вязкойжидкости. Свободная поверхностьслоя 8 жидкости делит поступающийна нее волновой фронт на две части по амплитуде. Одна часть отражаетсяот свободной поверхности слоя 8 жидкости и образует опорный волновой фронт, а другая часть проходит эту поверхность, отражается от контролируемой детали 13, закрепляемой в установочном приспособлении 12, и образует рабочий волновой Фронт,1Опорный и рабочий волновые фронты объединяются на свободной поверхности слоя жидкости и интерферируютмежду собой. Интерферирующие волновыефронты проходят оптические элементыинтерферометра в обратном направлениии поступают в регистратор 10 интерференционной картины. Регистрируемаяинтерференционная картина несет в себе информацию о погрешностях Формыконтролируемой детали 13.Получение требуемых параметровнастройки интерферометра (ширина.инаправление интерференционных полос)осуществляют следующим образом. Изменяют давление в одной иэ пневмокамер 11, изменяя тем самым ее объем,что приводит к угловому перемещениюустановочного приспособления 12с контролируемой деталью 13 по отношению к свободной поверхности слоя 8жидкости, а следовательно, и к изменению параметров настройки интерферометра. Одновременно пневмокамеры 11обеспечивают вибраизоляцию контролируемой детали 13, а пневмокамеры 2 -виброизоляцию слоя 8 жидкости,Регистратор 10 интерференционнойкартины выполнен в виде Фотокамеры. Формула изобретения1. Интерферометр для контроля формы плоских поверхностей оптических деталей, содержащий. основание, размещенные на нем установочное приспособление, предназначенное для закрепления и юстировки.контролируемой детали, оптически связанные осветительную систему, систему формирования сферического волнового фронта с узлом12395 8 7 13 11 Составитель .Н.ЗахаренкоКорректор М;Самборская Редактор Н.Тупица Техред О.Гортвай Подписноекомитета СССР,и открытийкая наб., д. 4/5 9 Тираж 670 ИПИ Государственног по делам иэобретениМосква, Ж, Рау аказ 3 130 Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная,ее крепления, сферическое зеркало,плоскопараллельную пластину, закрепленную горизонтально в установочномузле, и регистратор интерференционнойкартины, о т л и ч а ю щ и й с я. 5тем, что, с целью повышения точностиконтроля, он снабжен установленнымина основании шестью пневмокамерами,три из которых соединены последовательно через пневмопровод и на них 1 Оразмещенустановочный узел, на поверхность плоскопараллельной пластины, обращенной к контролируемой детали, нанесен слой прозрачной вязкой 15 4жидкости, а установочное приспособление размещено над свободной поверхностью слоя жидкости на, трех другихпневмокамерах, каждая из которых выполнена с возможностью автономногорегулирования давления в ней. 2. Интерферометр по п. 1, о т л ич а ю щ и й с я тем, что узел крепления системы формирования сферического волнового фронта выполнен в виде плоскопараллельной пластины с отверстием в центре, расположенной под Первой. пластиной параллельно ей.