Кряхнутов

Интерферометр для контроля формы плоских поверхностей оптических деталей

Загрузка...

Номер патента: 1239515

Опубликовано: 23.06.1986

Авторы: Горшков, Иванов, Кряхнутов, Лозбенев, Пуряев, Фомин

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, оптических, плоских, поверхностей, формы

...автономногорегулирования давления в ней. Узел 5крепления системы формирования сферического волнового фронта выполнен в виде пласкопараллельной пластины с отверстием в центре, расположенной под пластиной 7 параллельной ей,Интерферометр работает следующимобразом.Осветительная система 3 формируетпараллельный пучок лучей и направляет его в систему 4 формирования сферического волнового фронта. Система 4 формирует из параллельного пучка лучей сферический волновой фронт,15 25 30 35 40 45 центр которого совпадает с фокусомсферического зеркала 6. Последнеепреобразует поступающий на него сферический вопновой фронт в плоскийволновой фронт, распространяющийсяв направлении нормалей к свободнойповерхности слоя 8 прозрачной вязкойжидкости....