Интерференционный способ регистрации нулевого положения сканирующего зеркала и устройство для его осуществления

,123631 и 4 С 01 В 21/О ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ А ВТОРСНОМУ СВИ мени ин лов АН (72) Г. нтут сверССР) вердых материа В, П. Ноая техника, 1976 ОННЫИ СПОСОБ РЕГИСТЛОЖЕНИЯ СКАНИРУЮ 111 ЕОЙСТВО ДЛЯ ЕГО носитс тимен ои технике змере рам д я объ углового положен жающими поверхно использовано в м тов с отра может быт тями, и трологи астроно ОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ 21) 3729412/24-2822) 21.04.84(71) Ордена Трудового Красного Знасов и Ю. Ф(54) ИНТЕРФЕРЕНЦИРАЦИИ НУЛЕВОГО ПГО ЗЕРКАЛА И УСТОСУЩЕСТВЛЕНИЯ(57) Изобретениерольно-измерително к интерйероме мии, приборостроении и точном машиностроении. Целью изобретения являетсяповышение точности измерений за счетисключения погрешностей от деформации оптической системы. Отражающуюповерхность, например зеркало, облучают измерительным лучом интерферометра, получают интерференционнуюкартину,.преобразуют полученный отнее оптический сигнал в электрическии анализируют с помощью блока пьезоэлементов. Фазу опорного луча интерферометра изменяют не менее чем на21 с частотой, определяемой по формуле 12 а, 3. где Ю - угловая скорость сканирования зеркала, Ъ - длина волны опорного луча, 3 - диаметрзоны анализа, выделяют огибающуюэлектрического сигнала, а момент нулевого положения зеркала фиксируютпо максимальному значению огибающей.2 с.п. ф-лы, 2 ил.12Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, а именно к интерферометрии для измерения углового положения объектов с отражающими поверхностями, и может быть исполь зовано в метрологии, астрономии, приборостроении и точном мапвлностроении.Цель изобретения - повышение точности измерений путем исключения погрешностей от деформации оптической системы.На фиг. 1 представлена схема устройства для регистрации нулевого положения сканирующего зеркала; на Фиг. 2 - график зависимости выходного сигнала Фотоприемника от углового положения сканирующего зеркала.Устройство для регистрации нулевого положения сканирующего зеркала содержит лазер 1, интерферометр с опорным и измерительным плечами, которые образует светоделитель 2, в опорном плече интерферометра имеется зеркало 3, блок ч пьезоэлементов с электродами 5, зеркало 3 установлено на блоке ч пьезоэлементов, управляемьпл источник 6 электрических колебаний, подключенный к электродам 5, Фотоприемник 7, установленный на выходе интерферометра, и экстрематор 8, на входе которого установлен детектор (не показан). Регистр 1 лруется перемещение сканирующего зеркала 9.Способ реализуют с помощью предлагаемого устройства следующим эбра 363 40 ффД 55 зом,Световой ноток лазера 1 делитсясветоделителем 2 на два луча - измерительньгл и опорный, Измерительныйлуч, отразившись от сканирующего зеркала 9, через светоделитель 2 попадает на Фотонриемник 7. Ка него жепопадает и опорный луч, отразнвьписьот зеркала 3 и пройдя через светоделитель 2. При этом Фаза опорноголуча изменяется с частотой колебанийблока -, пьезоэлементов, на которыйподается высокочастотное напряжениеот источника 6 электрических колебаний. В результате на Фотоприемнике 7будет Фиксироваться изменяющаяся счастотой колебаний зеркала 3 интерФеренционная картина - бегущие полось, период которых определяется угломМ наклона сканирующего зеркала 9,Чем больше угол 1, тем меньше периодполос, а следовательно, н модуляцияинтенсивности светового потока, на-. 13 3дающего на фотоприемник 7. На выходе Фотоприемника 7 формируется высокочастотный элеКтрический сигнал 0 (фиг. 2), амплитуда которого зависит от угла о наклона зеркала 9, Детектором экстрематора 8 Формируется низ кочастотный электрический сигнал, уровень которого соответствует огибающей высокочастотных сигналов. В момент прохождения зеркалом 9 нулевого попожения экстрематором 8 будет зафиксировано максимальное значение низкочастотного сигнала (максимум огибающей) и выдан соответствующий сигнал (на другие устройства или индикатор).Формула изобретенияИнтерференционный способ регистрации нулевого положения сканируюшего зеркала, заключающийся в облучении зеркала измерительньи лучом интерферометра, получении интерференционной картины, преобразовании получечного от нее оптического сигнала в электрический и его анализе, о т л ич а и щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерений, Фазу опорного луча интерферометра изменяют не менее чем на 2 с частотой 1 определяемой по ФормулеЬ 3)где Ы - угловая скорость сканированиязеркала;1Ъ - длина волны опорного луча9э - диаметр зонь 1 анализа,выделяют огибающую электрическогосигнала, а момент нулевого положениязеркала Фиксируют по максимальномузначению огибающей.2, Устройство для регистрации нулевого положения сканирующего зеркала, содержащее лазер, интерферометрс опорным и измерительным плечами,фотсприемник, установленный на выходеиптерферометра, и регистратор, связанный с фотоприемником, о т л и ч а ю -щ е е с я тем, что, с целью новьппения ".очности измерений, оно снабженоблоком пьезоэлементов и управляемымисточников электрических колебаний,соединенным с блоком пьезоэлементов,который скреплен с зеркалом опорногоплеча интерферометра, а регистраторвыполнен в виде экстрематора.236313 Щаг 1 Составитель Е. Глазковаактор А. Козориз Техред О.Сопко Корректор Е Сирохман Ужгородул. Проектна венно-полиграфическое предприятие Производ 078/43 ВНИИ п 113035, Тираж 670 ПоГосударственного комитетаСССРделам изобретений и открытийосква, Ж, Раушская наб., д. 4