Способ калибровки шкалы длин волн сканирующего интерферометра

ОПИСАНИЕ.ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 4 ез 4 ОВ Союз Советскнк Соцналнстнческнк Респубпнк(45) Лата опубликования описания 261178и;, 01 В 9/02 Государственный комитетСовета Министров СССРпо делам изобретенийи открытий(54) СПОСОБ КАЛИБРОВКИ ШКАЛЫ ДЛИН ВОЛН СКЛНИРУЮЩЕГО ИНТЕРФЕРОМЕТРА Изобретение относится к спектроскопии и может, в частности, найти применение при интерферометрических измерениях в различных областях науки и техники. 5В интерферометрических измерениях широко используются сканирующие интерферометры Фабри-Перо в качестве высокоразрешающих приборов.Известен способ калибровки шкалы 10 длин волн сканирующего интерферометра по расстоянию между соседними интерференционными порядками сканируемой картины 1,Недостатком способа является 15 низкая точность.Наиболее близким к изобретению по технической сущности и решаемой задачи является способ калибровки шкалы длин волн сканирующего интерферометра, заключающийся в том, что получают основную интерференционную картину, создают дополнительную интерференционную картину и производят сравнение этих картин )21.В этом способе создают дополнительную многолучевую интерференционную картину с помощью интерферометра Фабри-Перо помещенного в общую баро 1зо камеру с основным интерферометром. При изменении давления в барокамере производят сканирование инзерференционных картин в обоих интерферометрах, после этого сравнивают обе интерференционные картины. Увеличение разности хода в дополнительном интерферометре пропорционально отношению расстояний между зеркалами в дополнительном и основном интерферометрах.Недостатком известного способа является недостаточная точность калибровки, а также то, что этот способ калибровки пригоден лишь для интерферометров, в которых сканирование осуществляется изменением давления, и непригоден для интерферометров,в которых используют подвижное зеркало. Кроме того, при достаточно больших расстояниях между зеркалами основного интерферометра дополнительный интерферометр необходимо делать очень большим. Целью изобретения является повышение точности калибровки и расширение области применения способа.Это достигается тем, что дополнительную интерференционную картину создают путем ввода контрольного светового луча между зеркалами калибруе634092 Формула изобретения Иссре 3 уеный сигнал Звйиньи сиен Фиг. гСоставитель Л.ЛобзоваТехред З.Фанта КОрректор Е.Пап ародная едакто П овета Моткрыти кая наб Тираж 830 нного комитетаам изобретений ква, Ж, Рауш писное истров аказ б 747/37 ЦНИИПИ Государств по дел 113035, Мод.4/5 Филиал ППП фПатентфф, г.ужгород, ул, Проектная,мого интерферометра и получения многократного отражения этого луча.На фиг.1 изображена оптическая схема, реализующая предлагаемый способ; на фиг.2 - вид регистрируемой картины.На схеме изображен контрольный све товой луч 1, зеркала 2 и 3 калибруемого интерферометра, опорный луч 4, диафрагма 5.и фотоприемник б.Осуществляется предлагаемый способ следующим образом. 10Контрольный луч 1 вводят между зеркалами 2 и 3 калибруемого интерферометра, Опорный луч 4 формирует дополнительную двухлучевую интерференционную картину в области пересечения с 15 лучом 1При изменении оптической разности хода луча между зеркалами 2 и 3 происходит также сканирование дополнительной интерференционной картины. ДиаФрагма 5 выделяет долю интерФеренционной полосы. Изменение интенсивности света, прошедшего через диафрагму 5, регистрируют Фотоприемником б. Вид регистрируемой картины показан на фиг.2.В качестве источника освещения, обеспечивающего получение дополнительной интерференционной картины, можно использовать стабилизированный по частоте гелий-неоновый лазер. Изменением угла наклона луча 1 можно в широких пределах изменять масштаб калибровочных импульсов, так как их количество в пределах одного интерференционного порядка определяется числом отражений луча 1 между зеркалами 2 и 3.Таким образом, предложенный способ обеспечивает необходимую точность и может быть использован со сканирующими интерферометрами различных типов. Способ калибровки шкалы длин волнсканирующего интерферометра, заключающийся в том, что получают основнуюинтерференционную картину, создаютдополнительную интерференционную картину и производят сравнение этих картин, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью повышения точности калибровки и расширения области применения способа, дополнительную интерФеренционную картину создают путемввода контрольного светового лучамежду зеркалами калибруемого интерферометра и получения многократногоотражения этого луча.Источники информации, принятыево внимание при экспертизе:1, Скоков И.В. Многолучевые интерферометры, М., Машиностроение,1969, с, 95-100,2, Приборы для научных исследований, 1976, Р 3, с. 115.