Устройство для настройки сканирующего интерферометра

П КСАН ИЕЗОБРЕТЕН ИЯВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Соеетскмх Соцналмстнцеских Республик(61) Дополнительное вт. сг,ид-в о 13,07.77 (21) 2508569/18-25 22) Зая присоед нием заявкиесудврстввннмй нвмнтвт СССР ие Авлам нзвбрвтвн н вткрытнй) Заявите 54) УСТРОЯСТВО ДЛЯ НАСТРОИКИ СКАНИРУЮЩЕГО ИНТЕРФЕРОМЕТРАИзобретение относится к оптико-интерференцноннцм устройствам и может быть использовано для автоматической настройки н юстнровкн сканирующих ннтерферометров.Известно устройство для настройки и юстировки интерферометров . 13, включающие в себя электромеханический привод неподвижного зеркала, которым управляет оператор при визуальном наблюдении за состоянием интерференционной картины при настройке н юстнровке интерферометра по полосам равной толщины.Недостатком такого устройства является низкая точность настройки, обусловленная визуальным контролем положения зеркал, н невозможность использованпя его в автономных условиях.Наиболее близким решением к предлагаемому устройству является устройство для настройки сканирующего интерферометра 12, содержащее два фотоприемника с уснлителями н подключенный к ним привод неподвижного зеркала ннтерферометра, в ко. тором информацию о положении зеркал в процессе работы, степени их расстройки по. лучают н используют для настройки непод 2вижного зеркала путем обработки электри.ческих сигналов на выходе фотоприемников в различных точках интерференционной картины.Недостатком устройства является низкая 5 точность и сложность настройки сканирующего ннтерферометра в режиме автоматической, автономной работы.Целью изобретения является повцшеннеточности и упрощение настройки сканирующего интерферометра.Указанная цель достигается тем, что визвестное устройство, содержащее два фотоприемника н подключенный к ним привод неподвнжнбго зеркала ннтерферометра, до.полннтельно введены фотопрнемннк с усн лнтелем н два синхронных детектора, прнэтом опорные входы синхронных детекторов обьедннены и подключены к выходу дополнительного усилителя, сигнальные входы де.текторов подключены к выходам остальных усилителей, а выходы детекторов подключены к приводу.Такое выполнение устройства позволяетповысить точность и упростить настройку сканирующего интерферометра.1 Ю 2 О 3 за формула изобретения Функциональная схема устройства приве.дена на чертеже.Устройство содержит источник излучения , подвижное 2 и неподвижное 3 зеркала интерферометра, светоделитель 4, двухкоординатный привод неподвижного зеркала 5, фотоприемцик 6 и усилитель 7 опорного тракта, последовательно включенные фотоприемник 8, усилитель 9, синхронный детектор 1 О и усилитель мощности 11 трактавертикального отклонения, а также пследовательно включенные фотоприемник 12, усилитель 13, синхронный детектор 14 и усилитель мощности 15 тракта горизонтальногоотклонения.При этом фотоприемники 6, 8 и 12 вплоскости изображения интерференционнойкартины расположены под углом 120 другкдругу, опорные входы синхронных детекто ров 1 О и 14 объединены и подключены к выходу усилителя 7, сигнальные входы этихдетекторов подключены соответственно квыходам усилителей 9 и 13, а выходы детекторов через усилители мощности 11 и 15подключены к приводу 5,Устройство работает следующим образом,Пучок излучения источника 1, предварительно расширенный до заполнений зеркал 2 и 3 интерферометра направляется ца светоделитель 4, которым он делится на две части. Одна часть излучения отражается от светоделителя и падает на подвижное зеркало 2, а вторая часть проходитчерез свето- делитель и падает на неподвижное зеркало 3.При последующем отражении от зеркал 2 и 3 первая часть проходит через светоделитель, а вторая отражается от него и направляется в одну сторону с первой частью, Обе части излучения рекомбинируют и создают интерференционную картину, Если интерферометр расстроен, т.е. зеркала 2 и 3 имеют угол взаимного расположения, отличный от 90, то интерференционная картина имеет вид полос равного наклона, количество которых или их ширина характеризует степень расстройки интерферометра, а расположе ние полос в направление расстройки, В процессе сканирования излучения равномерным перемещением подвижного зеркала 2 полосы непрерывно перемещаются в плоскости наблюдения в направлении, перпендикулярном расположению полос. Фотоприемники 6, 8, 12 трактов отклонения и опорного расположены в плоскости изображения интерференционной картины. Переменная интерференцйоцная картина сопровождается изменением освещенности на фотоприемнике по сицусоидальному закону. Вследствие определенного взаимного расположения фотоприемников в плоскости полосы пересекают их ие одновременно, а со сдвигом во времени, Г 1 оэтому возникающие на фотоприемниках электрические сигналы оказываются взаимно сдвинутыми по фазе. Величина сдвига зависит от ширины полос, а знак - от направ. ления их смещения. Сигналы всех трех фотоприемников усиливаются усилителями напряжения 7, 9, 3 и поступают на синхронные детекторы 10, 14 с фильтрами нижних частот, причем сигналы трактов отклоне. ний - на сигнальные входы синхронных детекторов, а опорный сигнал - на опорные входы синхронных детекторов, 1-а фильтрах нижних частот синхронных детекторов выделяются управляющие сигналы, величина которых определяется шириной интерференционцых полос, а знакнаправлением смещения. Управляющие сигналы усиливаются выходными усилителями 11, 5 и цодаются на двигатели отклонений двухкоординатного привода неподвижного зеркала и обеспечивают соответствующую подстройку зеркала с целью уменьшения расстройкн интерферометра.Управляющие сигналы усиливаются усилителями мощности 1, 15 и подаются на двигатели двухкоординатного привода, который, изменяя положение зеркала, обеспечивает соответствуюгцую подстройку интерферометра в процессе работы.Таким образом данное устройство обеспечивает высокую точность настройки в автоматическом режиме и может быть использовано в автономных коцструкциях. Устройство для настройки сканирующего интерферометра, содержащее два фотоприемника с усилителями и подключенный к ним привод неподвижного зеркала интерферометра, отличаюшийся тем, что, с целью повышения точности и упрощения настройки, в него дополнительно введены фотоприемник с усилителем и два синхронных детектора,при этом опорные входы синхронных детекторов объединены и подключены к выходу дополнйтельного усилителя, сигнальные входы детекторов подключены к выходам остальных усилителей, а выходы детекторов подключены к приводу.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР123329, кл. 6 01 В 9/02, 1958,2. Патент Франции2098666,кл, б 01 В 9/02, 1970.662796 7 льА уго нннцк Те НИИПИ Гпо дела035, Москвал ППП кйа Ф Редактор И. ШубЗаказ 2680/42 осударст м нзоб а, Ж - тентэ,оставитред О. Лраж 8 б 5венногоретений5, РауУжго омитетоткр ская н д, ул. едев Корректор Подпнсно СССР ибд 4/5 Проектная