Патенты с меткой «широкопольный»

Номер патента: 247412

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Глазков, Ивакин, Шадурский

МПК: H01L 21/00

Метки: объектив, растровый, широкопольный

...Однако поле, которое обеспечивает каждая элементарная линза растра, не превышает 0,5 Х 0,5 мм в пространстве изображений. Это затрудняет внедрение растров в производство твердых схем и отдельных полупроводниковых приборов, размеры которых достигают 1 Х 1 мм и больше.Предлагаемый широкопольный растровый объектив обеспечивает качественное изображение на большом поле за счет того, что каждая из ячеек линзового растра включает в себя несколько элементарных линз, расположенных одна от другой в ячейке на расстоянии, равном рабочему полю, рисуемому элементарной линзой.Строгое равенство расстояний между отдельными элементарными линзами обеспечивает качественную стыковку частей целого изображения, полученного по частям,На чертеже...

Номер патента: 972253

Опубликовано: 07.11.1982

Авторы: Егорова, Стиденкина

МПК: G01J 3/26

Метки: интерферометр, сканирующий, широкопольный

...оптическаясхема широкопольного сканирующего интерферометра.Все оптические элементы лежат в однойплоскости, На входе интерференционногоустройства расположен светоделитель 1,состоящий из двух плоскопараллельных пластин равной толщины, На одной из двух внутренних плоскостей нанесено светоделительное покрытие. Плоскопараллельная пластина без покрытия служит для компенсациидлины хода в стекле пучков лучей верхнегоканала. Плоские зеркала 2 - 4 удалены от 15светоделителя таким образом, что длинахода пучков в воздухе от светоделителядо клиньев 5 и 6 одинакова для обоихканалов.Между зеркалами 3 и 4 установлена пара одинаковых клиньев, ориентированныхвершинами в противоположные стороны,Внутренние, обращенные друг к другуграни клиньев...