Способ определения дефектов в соединении

СО 103 СОВЕТСНИХОЭИЛамеп 4 ИЖРЕСПУБЛИК це аи ЭШ С 01 И 19/08 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ:,. н двтоснов свдетвъстви ГООУДАРСТЮННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(54) (57) 1. СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ДЕФЕК-ТОВ В СОЕДИНЕНИИ, выполненном в виде подложки и нанесенной на ее поверхность пленки, заключающийся в том,.что вводят под пленку газ под давлением и определяют места вздутий пленки, по которым судят о наличиидефектов в соединении, о т л и ч а -ю щ и й с я тем, что, с целью повышения надежности определения дефектов в соединениях с металлическимипленками путем исключения повреждения пленки, используют атомарный газ,а введение его под пленку осуществляют диффузией,2, Способ по п.1, о -. л и ч а ющ и й с я тем что в качестве ато 1 е марного газа используют водород, 1126846- Изобретение относится к испытательной технике, а именно к способам определения дефектов в соединениях.Известен способ определения деФектов клеевого соединения; заключающийся в том, что соединение вакуумируют при температуре, превышающей на 100 температуру стекОлования клея, охлаждают сэединение до исходной температуры и фиксируют места выпучизания, по которымсудят о наличии дефектов в соединении 1 еНедостатком этого способа является ограниченность его использованияиз-за коробления соединения послеего нагрева и охлаждения.Наиболее близким к изобретениюпо технической сущности и достигаемому результату является способ определения дефектов в соединении, выполненном в виде подложки и нанесенной на ее поверхность пленки,заключающийся в том, что вводят под 2 Бпленку газ под давлением и определяют места вздутий пленки, по которымсудят о наличии дефектов в соединении. Газ вводят с помощью шприца прокалыванием пленки в различныхее местах 1,21,Недостатком этого способа является низкая надежность определениядефектов поскольку прокалывание пленки шприцем нарушает ее целостность,к тому же возможно прокглывание встороне от дефектного участка.Цель изобретения - понышение надежности определения дефектов всоединениях с металлическими пленками путем исключения повреждения цело 40стности пленки,Для достижения поставленной цели согласно способу определения дефектов в соединении, выполненном в виде подложки и нанесенной на ее поверхность пленки, заключающемуся в том, что вводят под пленку гаэ под давлением и определяют места вздутий пленки, по которым судят о наличии дефектов в соединении, используют атомарный гаэ, а введение его под пленку осуществляют диффузией.При этом в качестве атомарного газа используют водс род,Способ осуществляют следующим образом. На поверхность подложки наносят одним из известных способов металлическую пленку, Со стороны металлической пленки на соединение воздействуют под давлением атомарным водородом, который диффундирует по всей поверхности металлической пленки и проникает под нее на границу раздела металлической пленки с подложкой,Атомарный водород обладает повышенной проникающей способностью через поры металлических материалов без их разрушения . В местах дефектов соединения пленки с подложкой атомарный водород накапливается и рекомбинирует в молекулярный, При этом парциальное давление атомарного водорода остается низким, а накопение молекулярного водорода в местах дефектов соединения вызывает вздутия пленки, Определяют места взцутий по всей поверхности металлической пленки и по ним судят о наличии дефектов в соединении. При отсутствии дефектов в соединении атомарный водород не рекомбинирует в молекулярный и не вызывает вздутий пленки, что указывает.на хорошее соединение металлической пленки с подложкой,П р и м е р . На поверхность кремниевой подложки наносят методом термического вакуумного напыления слой медной пленки, толщиноймкм, Подложку с пленкой устанавливают в стеклянную камеру и воздействуют на пленку атомарным водородом под парциальным давлением 3 Па, Атомарный водород получают диссоциацией молекулярного водорода в элект- рическом разряде с помощью генератора высокой частоты ГВЧ-бб, максимальная ь:ошность которого составляет 70 Бт, а рабочая частота 40 МГц. Диапазон рабочих давлений в установке определяется возможностью получения высокочастотного разряда, в котором происходит диссоциация молекулярного водорода,он составляет 30 Па, Для отделения атомов водорода от заряженных частиц расстояние от разрядника до рабочего объема, в котором размещается подложка с пленкой,составляет 0,2 м, Соединение выдерживают и атмосфере атомарного водорода в течение 5 мин После воздействия атомарного водорода на медную пленку и его диффузии под пленку определяют места вздутий пленСоставитель В.СвиридовТехредА.Бабинец Корректор С,Шекмар Редактор Л.Апексеенко Закаэ 8683/32 Тираж 822 ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Подписное филиал ППП "Патент", г. ужгород, ул Проектная, 4 ки, по которым судят о наличии дефектов в соединении,Йэобретение позволяет повысить надежность определения дефектов в соединениях с металлическими плен 126846 4ками путем обеспечения ввода атомарного газа под пленку по всей ее поверхности и исключения поврежденияцелостности пленки за счет диффузионного проникновения атомарного пазачерез поры пленки.