Шлюзовое устройство для вакуумных установок

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 09) 01) 15 Р С 23 С 13/08 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(46) 23.05,84. Вюл. Яф 19 (72) Н.З. Руденко и В.Н. Щелкунов (71) Физико-технический институт низких температур АН УССР (53) 621.793.14,002.52(088.8) (56) 1. Патент Англии В 1423353, кл. С 7 Р, 1976.2. Авторское свидетельство СССР В 1008279, кл. С 23 С 13/08, 1982 ,(прототип).(34 Л 57) ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК, содержащее полый корпус с замком на одном из торцов,два фланца с уплотнениями, размещенные со стороны торцов полого корпуса,шток с держателем иэделий, расположенным внутри полого корпуса, и вакуумный ввод возвратно-поступательного и вращательного перемещения штЬка, установленный на одном иэ фланцев, о т л и ч а ю щ е е с я тем,что, с целью упрощения конструкции,другой фланец выполнен с возможностьюзацепления и расцепления со штокомпри загрузке - выгрузке иэделий вполом корпусе.Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к элементам вакуумных систем, и может найти применение для ввода объектов в камеру с разреженным пространством или извле чения их из нее без нарушения вакуума.Известно шлюзовое устройство для вакуумных установок, содержащее полый корпус, фланцы с уплотнениями, шток с держателем изделий и приводы перемещения фпанцев 1 .Недостатками устройства являются большие габариты и повышенная металлоемкрсть конструкции ввиду наличия значительного количества нагруженных элементов, возможность шлюзования объектов только определенной формы и размеров, потребность в сложном технологическом оборудовании гидропри" воде), Кроме того, из-за большого количества герметичных вводов и значительных фоновых тепловых нагрузок при работе устройства в условиях низких температур, его конструкция отличается многоэлементностью, а значит сложностью.Наиболее близким по техническойсущности к предлагаемому является шлюзовое устройство для вакуумных установок, содержащее полый корпус с замком на одном из торцов, два фланца с уплотнениями, размещенные со стороны торцов полого корпуса, шток с держателем изделий, размещенный внутри полого корпуса, и вакуумный 35 ввод возвратно-поступательного и .вращательного перемещения штока, установленный на одном из фланцев 21,Недостатком известного устройства является сложность конструкции ввиду 40 ее многоэлементности из-за большого количества герметичных вводов, приводов со штоками и т.д.Цель изобретения " упрощение конструкции. 45Цель достигается тем, что в шлюзо вом устройстве для вакуумных установок, содержащем полый корпус с замком на одномиз торцов, два Фланца50 с уплотнениями, размещенные со стороны торцов полого корпуса, шток с держателем изделий, расположенным внутри полого корпуса, и вакуумный ввод возвратно-поступательного и вращательного перемещения штока, уста 55 новленный на одном из Фланцев, другой фланец выполнен с возможностью зацепления и расцепления со штоком при загрузке - выгрузке изделий вполом корпусе,Такое конструктивное решение поз-,воляет значительно упростить конструкцию устройства, так как для обеихфланцев используются один привод иодин штокФланец с уплотнением соединен соштоком шлицевым соединением. Кольцевая канавка фланца с уплотнениемснабжена буртиковыми и продольиымипрорезями.На Фиг.1 приведена конструктивнаясхема устройства; на фиг.2 и 3 - конструкция сечения фланца.Устройство содержит полый корпус1, закрепленный в вакуумной камере2 с помощью фланцево-болтового соединения 3 через уплотнительную прокладку 4. Полый корпус 1 сообщается скамерой 2 через загрузочный проем 5.С внешней стороны полый корпус 1герметизируется съемным Фланцем 6с уплотнением 7. Держатель 8 изделийустановлен на штоке 9, торец которого заострен и снабжен двумя шлицами10 фиг. 1 и 3). Со стороны вакуумнойкамеры 2 полый корпус 1 герметизируется флаяцем 11 с уплотнением 12.На торце фланца 11 (фиг,2) выполненыкольцевая канавка 13, ограниченнаябуртиком 14, и продольные прорези 15.Фланец 11 удерживается на штоке 9 спомощью шлицевого соединения, состоящего из отверстия 16 под шток 9,продольных прорезей 17 и проточки 18с выступами 19. Для удержания фланца11 полый корпус 1 снабжен замком,размещенным в выступе перпендикулярноего стенкам, состоящим из шариков20 и прижимного винта 21, На рабочемторце пологс корпуса 1 выполнен кольцевой паз 22, в котором установленуплотняющий поршень 23. Полость паза22 сообщена трубопроводом 24 черезредуктор 25 с баллоном 26 сжатогогаза. Рукоятка 27 расположена снаруживакуумной камеры 2 и служит для соз-дания вращательного и возвратнопоступательного движения штока 9.Патрубок 28 установлен снаружи насъемном Фланце и предназначен для вакуумирования полого корпусаУстройство работает следующимобразом. Выводят держатель 8 изделия из вакуумной камеры 2 во внутреннюю полость корпуса 1 до упора уплотнения93729 а11 на штоке 9, при этом шлицы 10 вхо-"дят в проточку 18 до упора с выступами 19. Затем стравливается давлениеиз кольцевого паза 22, и фланец 11)освобождается от прижима уплотняюще"го поршня 23, Вращением штока 9 почасовой стрелке и подачей его от себя выводят фланец 11 иэ зацепления сзамком, при этом шарики 20 по продольным прорезям 15 выходят из кольцевойканавки 13. Загрузочный проем 5 освобождается и держатель 8 изделияустанавливают в необходимом положениив рабочей зоне. камеры 2.:Установка фланца с уплотнением наодном штоке с держателем изделий ивыполнение его съемным дают возможность значительно упростить конструкцию устройства (уменьшить общее количество входящих элементов); отказаться отот сложнои в изготовлениииплунжерной пары (направляющей и штока привода возвратно-поступательногоперемещения); уменьшить его металлоемкость; повысить качество исследований, проводимых с объектом в вачкуумнои камере, путем уменьшения количества герметичных стыков в 2раза, что снизит натекание в рабочую,зону и сокращение фоновых тепловыхнагрузок (в 2 раза) при использованииустройства в условиях низких температур,3 10 12 фланца 11 с уплотняющим поршнем 23 через загрузочный проем 5 с помощью рукоятки 27 и штока 9. При этом шарики 20 по продольным прорезям 15 на торце фланца 11 попадают в кольцевую 5 канавку 13. Вращением штока 9 против часовой стрелки поворачивают фланец 11 до упора, при этом шарики 20, скользя по кольцевой канавке 13, упираются в буртики 14. После этого в 10 полость 22 по трубопроводу 24 через редуктор 25 из баллона 26 подается газ под необходимым давлением, поршень 23 выдвигается и врезается в уплотнение 12, герметизируя корпус 1. 15 Затем с помощью рукоятки 27 поворачивают шток 9 по часовой стрелке до входа шлицев 10 в продольные прорези 17 фланца 11. Движением штока 9 на себя отсоединяют его от фланца 11. 20 После того, как давление в корпусе 1 сравнивается с наружным при помощи патрубка 28, фланец 6 отсоединяется от камеры 2, и держатель 8 изделия извлекается из полого корпуса 1. 25В вод держателя 8 изделия в вакуумную камеру 2 осуществляется в обратной последовательности. Именно держатель 8 изделия вводится в полый корпус 1, который затем герметизируется ,30 с помощью фланца 6 и уплотнения 7. Патрубок 28 подсоединяется к вакуумнасосу, и полый корпус 1 откачиваетсядо необходимого давления. Затем спомощью рукоятки 27 выдвигают шток359 с одновременным его проворачиваниемдо совпадения шлицев 10 с продольнымипрорезями 17 отверстия 16 - до упорас фпанцем 11. Вращением рукоятки 27ч40по часовои стрелке фиксир;-: фпанец Упрощение конструкции шлюзового устройства, технологии изготовления, уменьшение его металлоемкости дает возможность снизить расходы на изготовление устройства, а уменьшение натекания и фоновых тепловых нагрузок в рабочую зону - снизить эксплуатационные расходы.1093729 оставитель В. Оехред Л. Иикеш горов едакт каз 3381/2 Подписнного комитета СССРний и открытийаушская. наб., д. 4/ ЮЮюЕеш еиал ППП "Патент"г, Ухгород, ул. Проектная Тирах 900 ВНИИПИ Государстве по делам изобрет 035, Москва, 3-35, Р