Электродуговой испаритель металлов

СОВХОЗ СОВЕТСКИСОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИК 96963 А 1 5 ц 5 С 23 С 1 ЕНТ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНАВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 529834/210,12,820,10,92, Бюл. Юнститут элект 40 оники и .С,Хави У.А.Ари" А.Иойд Сидельниковрское свидетельсткл. В 23 К 9/1 б,ое свидетельство кл. С 23 С 13/08,о ССС0-92ССР1972,(21) 3 (22) 3 (4 б) 3 (71) И 9 ова (72) И. Х. Э нов и В,О. (5 б) Авто Н 592058,Авторск И 4 б 11 б 3,(54) (57) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬИЕТАЛЛОВ содержащий протяженный рас Изобретение относится к области полуцения защитных покрытий в вакууме и может найти применение в электротехнике, электронике и машиностроении.Известен электродуговой испаритель металлов, содержащий катод с токоподводом,рабочий уцасток которого огра" ницен экранами, анод, поджигающий электрод и источники электропитания и управления дуговым разрядом.Недостатком известного испарителя является ненадежность работы, обусловлейная низкой надежностью стабилизации дугового разряда из-за возможности перемещения катодных пятен дуги к токоподводу.Наиболее близким техническим реше-: нием к изобретению является электро- дуговой испаритель металлов, содержащий протяженный расходуемый катод с токоподводами, выполненный из испаряемого материала, анод, поджигающий дуемый катод с токоподводами, выпол" ненный из испаряемого материала, анод, поджигающий электрод и источникэлектропитания с переключателем токоподводов, о т л и ц а ю щ и й с я тем, цто, с целью упрощения конструкции . испарителя и повышения надежности его работы, анод выполнен в виде элек" троизолированных секций, размещенных равномерно по длине катода и подклю- .ценных к переклюцателю токоподводов, причем токоподводы катода подключены к отрицательному полюсу источника электропитания. электрод и источник электропитания спереключателем токоподводов.Недостатком указанногоиспарителяявляется ненадежность работы из-за возможностй перехода катодных пятен дугина токоподвод, что нарушает стабиль. ность горения дуги. Кроме того, наличие датчиков положения катодных пятендуги, обеспечивающих поочередное переключение токоподеодое катода,:сущест"венно усложняет конструкциюиспарителяи также влияет на надежность работы ис-парителя.Целью изобретения является упрощение конструкции испарителя и повышение надежности его работы,Поставленная цель достигается тем,цто в электроругоеомиспарителе металлов содержащем протяженный расходуе)мый катод с токоподводами, выполненный из испаряемого материала, анод,10969 поджигающий электрод и источник электРопитания с переключателем токоподводов, анод выполнен в виде электроизолированных секций, размещенных равно мерно по длине катода и подключенных к переключателю токоподводов, причем токоподводы катода подключены к отрицательному полюсу источника электропитания. 10Предлагаемый электродуговой испаритель схематически представлен на чертеже,Испаритель состоит из расходуемого катода 1, на торцах которого размещень 15 втулки 2 и держатель 3 для кцепления симметричных относительно друг друга токоподводов 4 и 5, выполненный, из изоляционного материала. Для ограничения области перемещения катодных пятен по поверхности катода служат экраны б. Анод выполнен в виде секций электроизолированных 7, закрепленных на кронштейне 8, которые имеют токо" подводы 9, соединенные с переключате 25 лем 10 токоподводов, секции анода имеют прорези 11 для истечения испаряемого материала на подложку 12.Дуговой разряд на катоде 1 возбуждается поджигающим электродом 13, а 30 горение дуги поддерживается источником электропитания 14. Для ограничения тока короткого замыкания цепь питания поджигающего электрода введено ограничивающее сопротивление 15, а для стаЬильности горения дуги в цепь питания дугового разряда введено нагрузочное сопротивление 1 б.Электродуговой испаритель работает следующим образомС помощью контакт О ного поджигающего электрода 13 осуществляется поджиг дугового разряда между расходуемым катодом 1 и крайней секцией 7 анода, токоподвод которой соединен переключателем 10 токопод 63водов с положительным полюсом источника электропитания 14, После возбуждения дуги переключатель по заданной программе осуществляет поочередное переключение секций анода, что обеспечивает линейное перемещение катодных пятен дуги по поверхности расходуемого анода.Эродированный в микропятнах дуги материал катода поступает к подложке 12 через прорези 11 секций анодаДля повышения надежности горения дугового разряда и соответственно надежности работы испарителя переключатель токоподводов выполнен таким образом, что в люЬой момент времени имеется потенциал на одной из секций анода, при этом отключение предыдущей секции осуществляется только после подачи потенциала на последующую секцию анода. Такая программа переключения токоподводов секций анода иск" лючает колебания тока дуги и повышает стабильность горения разряда. Наличие симметричных токоподводов, подключенных к отрицательному полюсу источника электропитания, обеспечивает эквипотенциальность катода (вся поверхность катода имеетодинаковый потенциал) . что способствует группиро" ванию катодных пятен на катоде в области секции анода, а плавное перемещение пятен осуществляется переключением секций секционированного анода, что исключает наличие каких-либо датчи" ков положения катодных пятен дуги и соответственно упрощает конструкцию испарителя. Секции анода, таким образом, осуществляют стабилизацию разряда в выделенной области поверхности расходуемого катода, что исключает хаотическое перемещение катодных пятен дуги и повышает надежность испарителя,1096963 ектор О.Кравц едактор Е. Гиринск Техред И.Иоргенталлефе е писн Производственно-издательский комбинат "Патент". г.ужгород, ул. Гагарина,Заказ 45711ВНИИПИ Госуда Тираж твенного комитет 113035, Москва, по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР