Устройство для осаждения слоев

(50 С 30 В 2 Ретений и опаътийНИЕ ИЗОбРЕТЕНИЯ О ч госуаю ственный номитет сссРПО ДЕЛАМ ИЗОБ ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ,(56) 1. Авторское свидетельство СССРФф 796246, кл, С 23 С 13/08,. 1978(54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯСЛОЕВ по авт. св, М 796246, о т л иающее ся тем, что, сцельюпо вышения качества осажденных слоев за счет уменьшения осаждения на стенках реактора и обеднения газообразных реагентов по его длине, оно снабжено уплотнением, расположенным между наружной и внутренней трубами со стороны зоны демпфирования, на внутренней трубе по длине подложкодержателя выполнены отверстия, а один из концов трубок для подачи газа-разбавителя размещен по внутренней трубе.1059032 4Изобретение относится к устройствам для осаждения слоев на подложкуразличными способами, преимущественно при пониженном давлении эпитак-,сия, диффузия, пиролиз и др,) и можетбыть использовано в промышленйостиполучения микросхем, счетнорешающейи запоминающей технике.По основному авт. сн, Р 796246известно устройство для осажденияслоев на подложку различными способаОми, преимущественно при пониженномдайлении, которое содержит вакуумнуюкамеру с зоной демпфирования, состоящую из реактора, выполненного в видедвух коаксиально размещенных труби камеры загрузкивыгрузки, нагреватель, охватывающий вакуумную камеру,подложкодержатель, трубку для подачиинертного газа, размещенную в зоне ва.- куумного демпфирования, трубки для по 2 Одачи реагентов в реактор,размещенныепод угломк оси внутренней трубы реакгора, один конецкоторой расположен вкамере загрузки-разгрузки,Подложкодержатель выполнен в виделодочки с подложками и размещен вцентре рабочей зоны вауумной камеры 1,Недостатками известного устройстваявляются интенсивное осаждение слоя со 3стороны камеры загрузки-выгрузки иподачи газообразных реагентов, егообеднение, в результате, чего осаждениепо,длине неравномерно, осыпание при.вдвижении лодочки с подложками и возникновение дефектности. Все это приводит к снижению качества осаждаемыхслоев.Цель изобретения - повышение качества осаждаемых слоев за счет умень 1 щения 1 осаждения на стенках реактора 4 Ои обеднения газообразных реагентовпО его длине.Указанная цель достигается тем,что устройство для осаждения слоев,снабжено уплотнением; расположенным 45между наружной и внутренней трубамисо стороны зоны демпфирования, навнутренней трубе по длине подложкодержателя выполнены отверстия, аодин иэ концов трубок для подачи 5 Огаза разбавителя размещен но внутренней трубе.На чертеже представлено предлагаемое устройство, общий вид, н разрезе.Устройство для осаждения слоеввключает вакуумную камеру 1 с зонойдемпфирования, внутри которой раз".мещена наружная труба 2 и внутренняятруба 3 реактора, Внутренняя труба 3уплотнена по наружной трубе 2 в зоне,демпфирбйания, а полость между внут 60ренней 3 и наружной 2 трубами соединена с камерой 4 загрузки-выгрузки,Наружная труба 2 реактора уплотненана вакуум в нодоохлаждаемом корпусевакуумной системы 5. Внутренняя тру- Я ба 3 реактора выполнена по длине больше, чем наружная. и своим концом входит н камеру 4 загрузки-выгрузки. Трубки б ввода реагентов направлены под углом к внутренней трубе, а одна из этих трубок 7 для напуска газараэбанителя соединена с внутренней трубой 3. Труба 3 уплотнена по трубе 2 уплотнением 8 иэ термостойких материалов, чем предотвращается попадание непрореагированшей парогазовой смеси в вакуумную систему,Подложкодержатель, выполненный в виде лодочки 9 с подложками, размещен в центре рабочей зоны вакуумной камеры 1. На стенке внутренней трубы 3 вокруг подложкодержателя на его. длину выполнены отнерстия 10.с Устройство работает следующим образом.При разогретой печи до установившегося режима работы лодочку 9 помещают н трубу 3 в зону, ограниченнуюотверстиями 10, герметизируют камеру.1 и производят откачку до эаданного давления, затем через трубку бподают газы-реагенты, а через трубку7 - гаэ-разбавитель и выдерживаютустройство в таком режиме заданноевремя процесса осаждения. По окончании процесса производят подачу только газа-разбанителя, затем прекращают откачку, заполняют камеру инертным газом до атмосферного давления,открывают камеру 1 для смены лодочки,одновременно осуществляется продувка азотом навстречу, н сторону загрузочного окна,Выполнение отверстий на стенкевнутренней трубы вокруг подложкодержателя на его длину и соединениеполости между внутренней и наружнойтрубами с камерой загрузки-выгрузкипозволяет подавать реагент непосредственно над подложками, а соединениеодной иэ трубок с внутренней трубойпозволяет подавать гаэ-раэбанительвдоль подложек, н результате происходит лучшее перемешинание реагентов,устраняются застойные зоны, исключается обеднение потока и осаждениереагентов на пути выдвижения лодочки,происходит распределенная подача реагентов, Все это .приводит к болеераЬномерному осаждению слоев, устранению дефектности и тем самым к повышению качества осаждаемых слоен,Уменьшается объем подачи парогазовой смеси через отверстия распределенного газового ввода и воэможность осаждения продуктов реакциив отверстиях и их сдувания на поверхность обрабатываемых пластин,Известное устройство позволяетполучить равномерность по пластине, Составитель А, ДомбровскаяРедактор Г, Безвершенко Техред А,Ач Коррек тор А. Тяско Подписное Заказ 9723/2 б Тираж 370ВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб. д.4/5 Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 номерность от партии.к партии +5,а предлагаемое устройство позволяетполучить равномерность по пластине 34, равномерность в партии 3-4и равномерность от партии к партии3-4.