Четырехзондовая головка для измерения удельного сопротивления материала

СОЮЗ СОВЕТСЙИХШйццЮЕВЮРЕСПУБЛИН 69 (И 1 6 Н 01 ь Я 31 ИТЕТ СССР И 0 ТНРю(ТИЙ ТОРСИОМ У ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ИОГЮ ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ ОПИСАНИЕ ИЗЙ ЙВ У 6 ВВЕ 1 ЕПЬСТ(56:) 1. Авторское свидетельство СССР В 504321, кл. Н 05 К 1/181974.2Веч.Ьс 1. 1 вааг.1966, 37,М 7, 961-962 ( прототип 1(54) (57) ЧЕТЫРЕХЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА ДЛЯ ИЗМЕРЕНЩ 1 УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ МАТЕРИАЛА, содержащая корпус, зонды и токосъемники, установленные на корпусе, и прижимную систему,о т л и ч а ю щ а я,с я тем, что,с целью повышения точности измереНияи технологичности конструкции, прижимная система выполнена в виде двухравноплечих .изолирующих рычагов,расположенных симметрично относительно токосъемников и опирающихсясвоими плечами на середины смежныхтокосъемников, и четырехплечегорычага, два противоположных плечакоторого шарнирно установлены накорпусе с возможностью взаимодейст,вия двух его других йротнвоположныхплеч.с серединками изолирующих, рыча гов, а смежные токосъемнккн установленц взаимно. перпендикулярно. . фИзобретение относится к технической физике, метрологии и стандартизации. и может быть использовано вметаллургии, электротехнической и электронной промышленности, научно-исследо+вательских учре,денияхН и МВиССО 5при определении удельного сопротивления материалов (например, полупроводниковых).Известна конструкция зондовогоустройства, содержащая корпус, зонды 1 Ои прижимную систему (.1.Недостатком данной конструкцииявляется то, что невозможно разместить зонды с малым шагом и сложноевыполнение прижимной системы. 15Наиболее близкой к предлагаемойпо технической сущности являетсячетырехзондовая головка для измерения удельного сопротивления материала, содержащая корпус, зонды с токосъемниками, установленные на корпусе, и прижимную систему 2).Недостатком известной конструкцииявляется то, что усилие на каждый.иэ четырех зондов обеспечивается25с помощью четырех самостоятельныхпружин-токосъемников, т.езависитот неровности контролируемой поверхности, точности регулировки и постоянства упругих свойств пружин,Цель изобретения - повышениеточности измерения и технологичностиконструкции.Поставленная цель достигается, тем, что в четырехэондовой головкедля измерения удельного сопротивления материала, содержащей корпус,зонды и токосъемники, установленныена корпусе, и прижимную систему,прижимная система выполнена в видедвух равноплечих изолирующих рычагов, расположенных симь)етрично,относительно токосъемников и опирающихсясвоими плечами на середины смежныхтокосъемников, и четырехплечегорычага, два противоположных плеча 45которого установлены на корпусе шарнирно с возможностью взаимодействиядвух его других плеч с серединамиизолирующих рычагов, а смежные токосъемники установл зны взаимно перпендикулярно.На фиг. 1 приведена четырехэондовая головка для измерения удель-. ного сопротивления материала, общий вид; на фиг. 2 - основание поверхностно-контактной системы с расположенными на нем элементами рычажноконтактной системыЧетырехзондовая головка содержит корпус 1, нажимную пружину 2, основание 3 .поверхностно контактной системы, точечные зонды 4, держатель 5 поверхностно-контактной. системы, гайку 6, отсчетную шкалу 7, токосъемники 8-11, равноплечие изолирующие рычаги 12-13, четырехплечий рычаг 14, электровводы 15-18, контролируемую поверхность 19.При установлении головки на контролируемой поверхности 19 материала так, что ось симметрии зондов перпендикулярна поверхности и проходит через выбранную точку на поверхности, а на шкале 7 усилий фиксируется заданное усилие на каждый зонд, все элементы прижимной системы приходят во взаимодействие, Усилие, развиваемое прижимной пружиной 2 и прикладываемое через держатель 5 к основанию 3 поверхностно-контактной системы, далее через четырехплечий рычаг 14, изолирующие .рычаги 12-13 . и токосъемники 8-11 равномерно распределяется между зондами, обеспечивая равное и контролируемое усилие на каждый зонд.Таким образом, использованиЕ предлагаемой эондовой головки для определения удельного сопротивления материала обеспечивает по сравнению с известными повышение точности определения удельного сопротивления (обеспечение равного усилия. на каждый зонд)при температуре отличной от комнатной (нормальной ), определение удельного сопротивления материала при Установке зондовой головки на неплоской поверхности,1035683 ия 1 оставитель Е. Гаврилоехред А.Бабинец Тиго Коррект сно 4 Тираж 703ВНИИПИ Государственн по делам изобретени 3035, Москва, Ж, Р тная Патентф. ул. жг илиал Редактор К. Вол Заказ 5845/5.Подпиго комитета СССРи открытийуыская наб д. 4/