Устройство для измерения удельного сопротивления резисторных материалов при изготовлении микросхем

ииГи 11 А ОП ИГРАНИ-Е"- ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик(23) Приоритет Государстеенный комитет Совета 1 йиниотроо СИР оо делам иэооретений и открытий(45) Дата опубликования описанияао.от. 7,2) Авторы изобретения ешкин и А. А. Афанасьев(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ РЕЗИСТОР НИХ МАТЕРИАЛО ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ МИКРОСХЕМОднако и это устройство не обеспечивает необходимой точности измерений.Цель изобретения - повышение точности измерения - достигается тем, что устройство для измерения, преимущественно удельного сопротивления резистор ных материалов при изготовлении микросхем, содержащее основание с окном для визуального наблюдения и держатели с расположенными в них зондами, снабжено координатными столиками, расположенными по периметру окна, причем один из держателей зондов закреплен на основании, остальные держатели - на дополнительных координатных столиках, а зонды в держателях установлены под углом к измеряемому объекту с возможностью перемещения вдоль своей оси и с возможностью изменения угла наклона к измеряемому объекту.На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, вид сбоку; на фиг, 2 - то же, вид сверху; на фиг. 3 - расположение зондов по прямой линии с межзондовым расстоянием Я. На основании 1 из электрон атериала с окном посредине еподвижный кронштейн 2 и тр ых столика 3, на которых жоляционного закреплены и координатстко закрепИзобретение относится к электроизмерительной технике, преимущественно для измерения удельного сопротивления проводниковых, полупроводниковых и резисторных материалов при изготовлении микросхем.Известно устройство для измерения удельного сопротивления, содержащее зонды, размешенные в одной плоскости параллельно друг другу, направляющие для зондов, выполненные в оптически прозрачной пластине, установленной в поле зрения измерительного микроскопа, с оптической осью которого ,о совмещен центр системы зондов. Направляющие определяют неизменное межзондовое расстояние. Микроскоп установлен для наблюдения области измерения сопротивления образца 11.В этом устройстве при параллельном рас положении зондов в одной плоскости межзондовое расстояние ограничивается толщиной зонда и изоляционной перегородкой между ними, что нЕ позволяет сделать данную микроголовку с межзондовым расстоянием менее 200 МКМ.йоНаиболее близко к предлагаемому устройство для измерения, содержащее основание с окном и держатели.с расположенными в них зондами. 25 ень 29 (53) УДК 621,396,63лены кронштейны 4. На нем с помощью кронштейна 2 шарнирно и упруго установлен держатель 5 из электроизоляционного материала. На координатных столиках 3 с помощью кронштейнов 4 шарнирно и упруго установлены держатели 6. В каждый из держателей 5 и 6 впрессована металлическая втулка 7 с внутренней резьбой, по которой перемешается регулировочный винт 8 с головкой и гайкой 9 для подсоединения наконечников проводов измерительной схемы. На концах винтов, обращенных внутрь окна основания 1, установлены цанги 10, в которых закреплены игольчатые зонды 11.Для регулирования в отверстия кронштейнов 2 и 4 ввернуты опорные винты 12. Для перемещения кронштейнов по одной оси имеются регулировочные винты 13, для перемещения их по другой оси - регулировочные винты 14. Винты 13 и 14 закрепляют фикс ируюши м и ви нта ми 15.Регулировку и подготовку устройства к началу измерений удельного сопротивления выполняют следующим образом.Установку заостренных концов на одном уровне, с соблюдением требуемых межзоп- довых расстояний, зависящих от размеров образца, по прямой линии или по квадрату производится при помощи регулировочп. х винтов 8, 13, 14, опорных винтов 12 и измерительного микроскопа, обеспечивающего требуемую точность установки. Отрегулированную микроголовку закрепляют основанием в микроманипуляторе, не входягцем в комплект микроголовки. Измеряемый образец размещают на столике микроманипулятора, с помощью которого обеспечивается контактирование зондов микроголовкп с поверхностью образца. Наконечники проводов из 18872 мерительной схемы с помощью гаек 9 подсоединяют к токовым и потснциальным зондам, Через токовые зонды пропускают ток и измеряют падение напряжения между потенциальными зондами. Объемное удельное 5 сопротивление подсчитывают по формуле: где У - напряжение, В;Э - ток, Л;С - поправочный коэффициент;д - толщина слоя, см. 1 О Форлула изобретения 3 О Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1. Патент ГДР М 73092, 21 Е 29/01, 1970. 2, Лвторское свидетельство СССРЛо 473383, Н 01 С 17/00, 1970. Устройство для измерения удельного сопротивления резисторных материалов при изготовлении микросхем, содержащее основание с окном для визуального наблюдения и держатели с расположенными в них зондами, 20 оттияающееся тем, что, с целью повышенияточности измерения, оно снабжено координатными столиками, расположенными по периметру окна, причем один из держателей зондов закреплен на основании, остальные держатели - на координатных столиках, а зонды в держателях установлены под углом к измеряемому объекту с возможностью переменения вдоль своей оси и с возможностью изменения угла наклона к измеряемому объекту.ЦНИИ одпи каз 4277/илиад П Тираж 992Патент, г. Ужгород,ги Проектная