Способ измерения переходного сопротивления

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик р 11991 330(22) Заявлено 01,11. 77 (21) 2540496/18-21с присоединением заявки Мо 511 М. Кл з С 01 й 27/08 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытийДата опубликования описания 230183(54) СНОСОВ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕХОДНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ Изобретение относится к способамизмерения параметров пленочных схем,а именно к измерению переходного со-.противления между двумя пленочнымиконтактирующими слоями,Известен способ измерения контактных сопротивлений с помощью трех зондов, два иэ которых установлены неподвижно и подсоединены к источникутока, а третий передвигается междуними и служит для измерения распределения падения напряжения между неподвижными зондами, по которому графически определяют переходное сопротивление контакта 11. Недостатками известного способа является сложность, так как требуется специальное устройство для перемещения зонда, и невысокая точность измерений переходного сопротивления, обусловленная тем, что измерения вклю. чают падение напряжения как на переходе, так и на участках проводника.Наиболее близок по технической сущности и достигаемому результату способ измерения переходного сопротивления между двумя пленочными конгактирующими слоями, согласно которояу используют четыре зонда, два из которых - для подачи тока, а два других - для измерения напряжению (2) .Недостатком этого способа является невысокая .точность измерений, связанная с тем, что измеряется не толь" ко падение напряжения на переходном .слое между пленочными проводниками, но и падение напряжения на участках самих проводников между зондами. Кроме того, расчет переходного сопротив" ,ления по полученным результатам измерений трудоемок..Цель изобретения - повышение точ"ности измерения переходного сопротивления.Поставленная цель достигается тем,что, согласно способу измерения пе 20 реходного сопротивления между двумяпленочными контактирующими слоями,ос-нованному на измерении тока и напряжения с контактирующих слоев, выполняют проводящие дорожки из материалаконтактирующих слоев эа одно целоес ними и расположенные преимущественно под углом 90 или 180 друг к другу и с них производят измерение напряжения,На чертеже показана схема для измерения переходного сопротивления,991330 ФормУла изобретения аз 124 62 Тираж 70 ВНИИПИ Подписноероектная,4 Филиал ППП "Патент", г.ужгоро между двумя пленочными контактирующими слоями.На подложке 1 имеются пленочные проводники 2 и 3, имеющие между собой контактирующие слои, переходное сопротивление между которыми измеря ют. От пленочных проводников 2 и 3 выполняют проводящие дорожки 4 и 5 г:оответственно эа одно целое с про водниками 2 .и 3 и из того же материала. Дорожки 4 и 5 расположены друг 10 по отношению к другу под углом 180 О,На проводники 2 и 3 устанавливают зонды б и 7, которые подключены к источнику 8 тока. Значение тока, протекающего по проводникам 2 и 3 и . переходу, измеряется амперметром 9. На проводящие дорожки 4 и 5 установлены зонды 10 и 11 для измерения падения напряжения в области контактирующих слоев пленочных проводников 2 и 3 с помощью высокоомного вольтметра 12.Способ измерения переходного сопротивления между двумя пленочными контактирующими слоями осуществляется следующим образом.Через пленочные проводники 2 и 3 при помощи зондов 6 и 7 пропускают заданный ток, значение которого измеряют амперметром 9. Вольтметром 12 при помощи зондов 10 и 11 измеряют ЗО падение напряжения между двумя пленочными контактирующими слоями. Полученные результаты измерений йозволяют простым делением вычислить значение переходного сопротивления между дву" 35 мя пленочными контактирующими слоями.Проводящие дорожки 4 и 5 могут быть выполнены друг по отношению к другу под углом, например, 900 в случае, если пленочные проводники 2 и 3 расположены друг по отношению к другу под углом, например, 90 фПолученное предлагаемымспособом значение переходного сопротивления между двумя пленочными контактирующи" ми слоями имеет более высокую точ" ность, так как уменьшается погрешность измерений падений напряжения за счет исключения из результата падения напряжения на участках пленочных проводников вблизи контактирующих слоев. Упрощается также обработка результа" тов измерений. Способ измерения переходного сопротивления между двумя пленочными контактирующими слоями, основанный на измерении тока и напряжения с контактирующих слоев, о т л и ч а ю - щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерения переходного сопротивления,выполняют проводящие дорожки из матвриала контактирующих слоев эа одно целое с ними и расположенныепреимущественно под углом 90 или 180 О друг к другу и с них производят измерение напряжения.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1, Смирнов В,И. Теория конструкции контактов в электронной аппаратуре. М., Советское радио, 1974, с,135- 138.2, Са 11 а В,Т;, Огесппосезе Н.М., Чегдага Х.С. М 1 сгое 1 ес 1 гоп 1 сз апд Ве 11 аЬШу, Чо 1. 7, 1968, 185-212 (прототип).