Преобразователь давления
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз СоаетскикСоциалистическихРеспублик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ: (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 25. 09. 78, (21) 2666 т 02/18"10 11 М Кп 3 О 01 Ь 9/06 с присоединением заявки Й 9 -Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(54) ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ Изобретение относится к устройст.вам измерения давления.Известны устройства, в которых.термокомпенсация производится применением методов схемнойкомпенсацнн 1),Однако введение дополнительных пассивных элементов в схему измерения ведет к снижению чувствительности.Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к изобретению является преобразователь давления, содержащий полупроводниковую мембрану с размещенными на ней тензорезисторамн, образующую вместе с основанием вакуумную ячейку 2.Недостатком известного устройства является низкая точность, ограниченный температурный диапазон измерений и сложность в виду наличия контура автоматического.регулирования температуры. Бель изобретения - повыаение точ ности и расширение рабочего темпера турного диапазона измерений.Укаэанная цель достигается тем, что преобразователь давленияснабжен позистором, расположенньж на мембране в месте размещения тензореэисторовНа чертеже изображен преобразователь давления.Преобразователь содержит, полупроводниковую пластину 1,мембрану преобразователя давления 2, тенэометрнческую схему 3, основание 4, вакуумную ячейку 5, диэлектрическую пленку б, познстор 7, источник питания 8, схему обработки 9.указанные элементы соединеныв следующим образом.Мембрана преобразователя 2 сформирована на полупроводниковой пластине 1. Полупроводниковая пластина 1 соединена с основанием 4 и образует с ним вакуумную ячейку 5. Тензометрнческая схема 3 оформирована на мембране 2. Диэлектрическая пленка б покрыэает полупроводниковую пластину 1 и прикреплена к ней, например, электростатичбски. Поверх ди электрической пленки б сформирован позистор 7 над тенэометрической схемой 3. Выход источника питания 8 соединен со входом тензометрической схеви 3 и с поэистором 7. Выход измерительной схеиа 3 соединен со входом схеве обработки 9.974167 Преобразователь давления, содержащий полупроводниковую мембрану с 10 миразмещенными на ней тензореэисторами, образующую с основанием вакуумную ячейку, о т .л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повьыения точности и расширения температурного диапазона измерений, он снабжен поэис тором, расположенным на мембране вместе размещения тензореэисторов1 б Составитель едактор А.Гулько Техрвд М.КошКозлова Корректорюа ащйПодписноекомитета СССРоткрытийская наб, д.4/.Ференц аэ 8682/57 ВЯИИПИ по дел 113035, МТираж 887осударстввнногом изобретений исква, Ж, Рауш ППП Патент, г,ужгород, ул.Провктн ил Устройство работает следующим об 7разом,Напряжение питания с выхода источника питания 8 подается на входтензометрической схемы 3 и на поэистор 7. При,воздействии на мембрану2 измеряемого давления на выходетензометрической схемы 3 появляетсясигнал, пропорциональный величинеизмеряемого давления,Ток протекающий через поэисторныйэлемент, нагревает вго. Это приводитк увеличению сопротивления поэистора,и,:следовательно, уменьшению тока.Близкая к релейной зависимость сопротивления поэистора от температурыпозволяет стабилизировать температуру позистора и поверхности преобразователя, находящегося под ним.Использование предлагаемого датчика по сравнению с известным, обеспечивает повышение точности измерения в 3-4 раза, расширение рабочеготемпературного диапазонаот -50до +100 С), увеличение надежности датчика эа счет возможности замены;позисторного элемента, сформированного на диэлектрической пленке. Формула изобретения Источники инФормации,принятые во внимание при экспертизе 1, Авторское свидетельство СССР Р 226909кл. 6 01 Ь 9/04, 13.05,66. 2. Патент ГДР Р 110343,кл . 42 к 7/05, 1975 (прототип).
СмотретьЗаявка
2666702, 25.09.1978
ОПЫТНОЕ КОНСТРУКТОРСКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ БЮРО "КРИСТАЛЛ" С ОПЫТНЫМ ПРОИЗВОДСТВОМ ЛЕНИНГРАДСКОГО ОРДЕНА ОКТЯБРЬСКОЙ РЕВОЛЮЦИИ И ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ИНСТИТУТА ИМ. ЛЕНСОВЕТА
ЛУНЕВ МИХАИЛ ИЛЛАРИОНОВИЧ, КОКОВИНА ВЕРА НИКОЛАЕВНА, ЖУКОВ ВЛАДИМИР АНАТОЛЬЕВИЧ, ЗАПОЛЬНОВ МИХАИЛ КОНСТАНТИНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01L 9/06
Метки: давления
Опубликовано: 15.11.1982
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-974167-preobrazovatel-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Преобразователь давления</a>
Предыдущий патент: Грузопоршневой манометр
Следующий патент: Датчик давления
Случайный патент: Шагающее транспортное средство