Способ изготовления мембран интегральных преобразователей давления

Номер патента: 1027549

Опубликовано: 07.07.1983

Авторы: Беклемишев, Ваганов

МПК: G01L 9/04

Метки: давления, интегральный

...взаимную изоляцию контактных.площадок с присоединенными к ним электрическими выводами и поэтому должно ,быть достаточно большим, чтобы исключить смыкание последних в процессе микропайкиЦель изобретения - уменьшение пбперечных габаритов преобразователяПоставленная цель достигаетсятем, что на поверхности крышки, прилегающей к пластине, со сторонынаружной боковой поверхности выполнены глухие канавки соответственночислу контактных площадок с выводами, причем полости канавок заполнены связующим материалом.В предлагаемой конструкции минимальное расстояние между краями со- О седних контактных площадок определяется минимальной толщиной стеноккрышки, разделяющих полости, и может составлять всего несколько де-,сятков микрон. Это позволяет умень...

Номер патента: 1785334

Опубликовано: 20.04.1996

Авторы: Козин, Круглов, Михайлов

МПК: G01L 9/06

Метки: давления

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ, содержащий кремниевую пластину, в которой выполнена мембрана со сформированными на ней тензорезисторами, проводники и контактные площадки, размещенные на пластине, и гибкую контактную матрицу, соединенную с контактными площадками, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, он дополнительно снабжен компенсационными резисторами, сформированными на одной из сторон матрицы, причем на противоположной стороне матрицы напротив резисторов нанесены введенные элементы жесткости в виде прямоугольных металлических площадок, перекрывающих контуры компенсационных резисторов.

Номер патента: 539239

Опубликовано: 15.12.1976

Авторы: Белоглазов, Папков, Стучебников, Суровиков

МПК: G01L 11/00

Метки: давления

...так и тангенциальные 15 напряжения. Поскольку изменение сопротивления тензорезистора под действием продольных и поперечных напряжений имеет разный знак, то результирующая чувствительность тензорезистора уменьшается по сравнению со 20 случаем воздействия напряжения только водном направлении (вдоль или поперек тензорезистора). Для повышения чувствительности предлага емого преобразователя давления при заданной его прочности в нем рабочая часть мембраны выполнена в виде прямоугольника с сопряженными с меньшими его сторонами полукругами, ориентированного в направле нии максимальной тензочувствительности,539239 г Подписно. 1 зд. Ла 1837 1 ираак 102 каз 2758 ЦНИИПИ ипографпгп пр. (.апупопа, 2 причем па одной стороне полупроводниковой мембраны...

Номер патента: 974167

Опубликовано: 15.11.1982

Авторы: Жуков, Запольнов, Коковина, Лунев

МПК: G01L 9/06

Метки: давления

...следующим образом.Мембрана преобразователя 2 сформирована на полупроводниковой пластине 1. Полупроводниковая пластина 1 соединена с основанием 4 и образует с ним вакуумную ячейку 5. Тензометрнческая схема 3 оформирована на мембране 2. Диэлектрическая пленка б покрыэает полупроводниковую пластину 1 и прикреплена к ней, например, электростатичбски. Поверх ди электрической пленки б сформирован позистор 7 над тенэометрической схемой 3. Выход источника питания 8 соединен со входом тензометрической схеви 3 и с поэистором 7. Выход измерительной схеиа 3 соединен со входом схеве обработки 9.974167 Преобразователь давления, содержащий полупроводниковую мембрану с 10 миразмещенными на ней тензореэисторами, образующую с основанием вакуумную ячейку,...

Номер патента: 1011924

Опубликовано: 15.04.1983

Авторы: Гуменчук, Сажин, Фадеев, Федосеев, Юрченко

МПК: F15C 3/14

Метки: давление, давления, перемещения, пневматический, силы

...воздуха на иглу и соответственно на сильфон и приводит к деформации послед 55 него в налравлении к чувствительному элементу.Бель изобретения - повышение чувствительности преобразователя. Указанная цель достигается тем, чтов пневматическом преобразователе давления, силы, перемещения в давление, содержащем корпус со штуцером, отверотие которого соединено через дроссельс каналом питания, .упругий чувствительный элемент, например мембрану, камера с одной стороны которого сообщенас входным каналом, а полость корпусас другой стороны соединена с атмосферой,первый сильфон, на подвижном торце которого установлено сопло, расположенноепротив Мембраны, и индикатор, связанный с внутренней полостью первого сильфона, в полости корпуса установлен...