Способ изготовления печатных плат

11951765 ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советск ихСоциалистическихРеспублик(53) УДК 621.396. .6,049 (088.8) Опубликовано 15.08.82. Бюллетень30Дата опубликования описания 15.08.82 пе делам вэвврвтений и аткрмтийТомский ордена Октябрьской Революции и ордена Трудового КрасногоЗнамени политехнический институт им. С. М. Кироваи Ордена Ленина институт проблем управления.(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЕЧАТНЫХ ПЛАТ Изобретение относится к электронной промышленности, преимущественно радиотехнике, вычислительной технике, а именно к технологии изготовления печатных плат аддитивным способом.Известен способ изготовления печатных плат, заключающийся в том, что поверхность подложки сенсибилизируют водным раствором хлорида олова (11) избирательно экспонируют, затем активируют водным раствором хлорида палладия (11) и проводят химическую металлизацию в растворах, содержащих медь и восстановитель 1.Однако указанный способ обладает рядом недостатков. Процесс окисления олова наиболее чувсгвителен к излучению к длиной 253 нм в присутствии кислорода воздуха, Поэтому для его реализации необходимы кварцевые фотошаблоны и не могут быть использованы широкоприменяемые в настоящее время вакуумные устройства. Однако даже в случае применения кварцевых фото- шаблонов полного окисления олова достигнуть не удается, так как поверхность диэлектрика микропористая и некоторые частицы двухвалентного олова оказываются экранированными, что приводит к осаждению меди и в неэкспонированных участках.Наиболее близким к изобретению является способ получения рисунка печатных плат, включающий нанесение на подложку адгезива с наполнителем из двуокиси титана, нанесение на поверхность подложки раствора неорганической соли каталитического металла хлорида палладия (1), сушку и 10экспонирование УФ-излучением через фото- шаблон. После экспонирования подложку промывают в воде для удаления невосстановленного хлорида палладия (11) и обрабатывают водным раствором вещества, например, глицином или лимонной, щавелевой, 15 этилендиаминотетрауксусной кислртой, дляудаления оставшихся ионов каталитического металла с неэкспонированных участков подложки. На экспонированные участки осаждают металл из растворов химического меднения 21.Однако указанный способ получениярисунка довольно трудоемок. В технологическом процессе в качестве соли каталитического металла используют дорогостоящие соли палладия, золота, платины. Область951765 формула изобретения Составитель В. Милославская Редактор С. Тимохина Техред А. Бойкас Корректор А. Гриценко Заказ 5716/78 Тираж 862 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул, Проектная, 4применения печатных плат с наполнителем из двуокиси титана ограничена диэлектрическими свойствами Т 10 г.Целью изобретения является упрощение и удешевление процесса.Поставленная цель достигается тем, что согласно способу изготовления печатных плат, включающему нанесение на подложку раствора, содержащего неорганическую соль металла, экспонирование и обработку в растворе, содержащем соль меди и восстанови- тель, в качестве неорганической соли металла используют комплексные оксалаты трехвалентного титана, например МТ Х Х (Сг 04)г2 НгО, где М - аммоний, калий, рубидий, натрий.Пример 1. Стеклотекстолит (марки 15 СТЭК,5) после обезжиривания, набухания, травления, нейтрализации и промывки в воде сушат на воздухе. Затем подложку в течение 15 мин выдерживают в водном растворе ХН 4 Т(Сг 04 )2 НгО (0,02 М), в который добавляют 3 мл/л смачивателя ОП(0,2/О). После сушки образцы при комнатной температуре на воздухе поверхность подложки экспонируют через фото- шаблон лам пой ДРШна расстоянии 25 см в течение 1 О мин. Затем поверхность 25 подложки пром ывают дистиллированной водой в течение 1 мин для удаления соли с неэкспонированных участков. Полученное изображение усиливают 20 мин в растворе следую и е го состава:Сц 504 5 НгО 20 г/лТрилон Б 15 г/лКХаС Н 40 б 45 г/лТиосемикарбазид 1 О г/лМаОН 35 г/лСНгО 25 мл/лРН 13,2Температура 25 СНа экспонированных участках по рисунку схемы осаждается ровный слой меди. В неэкспонированных местах осаждение меди не происходит.40Примеры 2 - 4. То же, что в примере 1,- только вместо ИН 4 Т 1(Сг 04) г 2 Н 40 использУют К Т 1(Сг 04)г 2 НгО или Ха Х Х Т(Сг 04)г2 НгО или йб Т 1(Сг 04)гХ Х 2 НгО. Качество слоя меди, осаждаемого по рисунку схемы, практически не зависит от того, какой комплексный оксалат трехвалентного титана применяется для активирования поверхности. При использовании указанного раствора химического меднения получаются слои меди толщиной до,0 мкм за 12 ч,Данный способ прост в экспериментальном выполнении, не требует специального сложного оборудования и затемненного помещения, В пособе не испольщуются соли серебра и другие соли дорогостоящих металлов.Изобретение целесообразно использовать в аддитивной технологии производства печатных плат, а также для получения фотографических изображений в практической фотографии, например при контактном копировании технической документации,Использование изобретения позволяет сократить число технологических операций, удешевить технологию изготовления печатных плат, значительно сократить выбросы медьсодержащих растворов травления, поэтому его применение является особенно полезным в радиоэлектронной промышленности. Способ изготовления печатных плат, включающий нанесение на подложку раствора, содержащего неорганическую соль металла, экспонирование и обработку в растворе, содержащем соль меди и восстанови- тель, отличающийся тем, что, г целью упрощения и удешевления процесса, в качестве неорганической соли металла используют комплексные оксалаты трехвалентного титана, например М Т 1(Сг 04) г 2 НгО, где М - аммоний,. калий, рубидий, натрий,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент США Мо 3562005,кл, Н 05 К 3/18, опублик, 1971.2, Заявка Великобритании Юа 369564,кл, б 03 С 1/72, опублик. 1974 (прототип),