Резистивный материал
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 911630
Авторы: Карабанов, Рябов, Соломенников
Текст
.К АВТОРСКОМУ СВИДВТВЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик 911630(61) Дополнительное к авт, свид-ву(22) Заявлено 18,02,90 (21) 2982451/18" 21 РЦМ,Кл з с присоединением заявки НоН 01 С 7/00 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(23) Приоритет -Опубликовано 07,03 Я, Бюллетень Мо 9 Дате опубликования описания 0703.82 РЙ УДК 621. 315,(54) РЕЗИСТИВНЫЙ МАТЕРИАЛ Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использованодля изготовления резисторов с поло"жительным температурным коэффициентом сопротивления (ТКС).Известен резистивный материал,который используют для изготовлениярезисторов с большим положительньвеТКС, (поэисторов). Это титанат барияи аналогичные ему материалы (1).Однако технология изготовлениярезисторов из них не совместима стехнологией микроэлектроники.Наиболее близким к предлагаемомУпо технической сущности является резистивный материал на основе керметов с положительньва ТКС, содержав(ийдиоксид кремния (310) (2).Однако величина ТКС у этих материалов незначительна и составляетвеличину порядка 10 1/оС.,Цель изобретения - увеличение температурного коэффициента сопротивления.,Поставленная цель достигаетсячто резистивный материал на основедиоксида кремния (ЗхО) с положительным температурным коэфФициентом сопротивления, дополнительно содержитокись хрома (Сгй,О) при следующем.,количественном соотношении компонен тов, вес.ЪгДиоксид кремния 8101 20"80Окись хрома Сг,103 ОстальноеНа чертеже показана зависимость ТКС резистора от состава исходной смеси.Прн изменении содержания двуокиси кремния в реэистивном материале 20-80 ТКС имеет положительную величину.В зависимости от состава величина ТКС измеряется в широких пределах. Для состава, содержащего 15 СгО г ве" личина ТКС равна 10 1/оС, а для состава с 30 СгоОк - 55 1/оС. При содержании СгОг более 90 величина ТКС становится отрицательной.Температурная зависимость сопротивления аналогична температурной зависимости сопротивления позисторов. Удельное сопротивление резистивнога материала в области низких температур составляет 10-10 ь Ом см,что позволяет изготовлять микрорезнсторы для микроэлектронных схем.Ниже приведены конкретные примеры изготовления реэистивных материалов ;предлагаемого состава с различньм. т го 7 Ю аю ираж 7 Подписное иал ППП фПатент", г од, ул.Проектная содержанием-компонентов и их харак" теристики.Технология изготовления реэистивного слоя проста и полностью свмвстима с технологией микроэлектроники.Исходные компоненты рвзистивного материала предварительно тщасельно перемешивают, затем прессуют и помещают в тигель иэ тугоплавкого материала (Ио 1 А 6109). Нанесение реэистивного материала осуществляется мв й ааеазе Р 83,0% (70) СГ 10 (30)83,0 (85) - Сй 10 (15) 81 О (50) - Сг 1 О (50) 8 ЗО (30) - СгО (70) формула изобретения 25Резистивный материал на основе диоксида кремния (8109) с положительнне температурным коэффициентсрю сопротивления, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью увеличения 36 ;температурного коэффициента сопротивления, он дополнительно содержит окись хрома (Сь 10) при следующем количественном соотношении компонентов, вес ВНИИПИ Заказ 1140/4 тодом электронно-лучевого испарения, который обеспечивает .наибольшую чистоту процесса испарения и сохранение ствхиомвтричвости резистивного мате" риала при испарении.Использование предлагаемого реэистивного материала позволит создать микрореэисторы с большим положительным ТКС для микросхем, исполь" эуемых в раэличнйх устройствах авто" матикиТКС, Температурный1/фС диапазон, фС Диоксид кремния (83.0) 20-80Окись хрома(Сг 10) Ьстальное Источникиинформации,принятые во внимание прн экспертизе1. Шефтель И.Т.Тврморвзисторы.И.,Наука 1973.2. Технология тонких пленок,т,2. Под ред. Л.Майсепла и Р.Глзнга.
СмотретьЗаявка
2882451, 18.02.1980
РЯЗАНСКИЙ РАДИОТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ
СОЛОМЕННИКОВ ГЕННАДИЙ ВЛАДИМИРОВИЧ, КАРАБАНОВ СЕРГЕЙ МИХАЙЛОВИЧ, РЯБОВ ЮРИЙ ТИМОФЕЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01C 7/00
Метки: материал, резистивный
Опубликовано: 07.03.1982
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-911630-rezistivnyjj-material.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Резистивный материал</a>
Предыдущий патент: Резистивный материал
Следующий патент: Термистор и способ его изготовления
Случайный патент: Схват промышленного робота