Электроннооптическая система

Номер патента: 839412

Авторы: Братов, Вяль, Макаров, Морозов

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН ОН 01 У 37 04 ИСАНИЕ ИЗОБРЕтнТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ КА С 2 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(54)(57) ЭЛЕКТРОННООПТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА, содержащая источник заряженных частиц, систему электронных линзи устройство изменения апертурыпучка, выполненное в виде пластиныс отверстиями, о т л и ч а ю щ а яс я тем, что, с целью упрощенияконструкции и повышения оперативности настройки и юстировки, по ходупучка симметрично относительно плоскости пластины установлены последовательно включенные электромагнитные отклоняющие системы.839412 Составитель В,ГаврюшинРедактор Е, Зубиетова Техрбд М. Надь КорректорИ,Демчик Заказ б 290/1 Тираж 701 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к областиэлектронной микроскопии и может бытьиспользовано в различных электроннозондовых устройствах,Известны электроннооптическиесистемы (ЭОС), в которыхапертура 5пучка задается с помощью неподвижной пластины-диафрагмы с центральным отверСтием (1). Их недостаткомявляется однорежимность по сечениюпучка, что заметно снижает функцирнальные возможности прибора.Указанный недостаток устраненв ЭОС, снабженных подвижными диафрагмами с рядом различных отверс тий 2 . Однако использование подвижных диафрагм сопряжено со значительным усложнением конструкцииприбора в целом и требует большихзатрат времени на настройку и юстировку ЭОС.Целью изобретения является упрощение конструкции и повышение оперативности настройки и юстировкиэлектроннооптической системы,Поставленная цель достигается тем,что в электроннооптической системе,содержащей источник заряженных частиц, систему электронных линз и устройство изменения апертуры пучка,выполненное в виде пластины с отверстиями, по ходу пучка. симметрично относительно плоскости пластины установлены последовательно включенные электромагнитные отклоняющие системы.Па приведенном чертеже представлена схема электроннооптическойсистемы.Электроннооптическая системасодержит: источник 1 заряженныхчастиц, например, электронную пушку, одну или несколько предварительных электронных линз 2, устройство для изменения апертуры пучка, которое состоит из пластины 3 сотверстиями, неподвижно установленной относительно оптической оси ЭОСи электромагнитных отклоняющих систем 4,5, установленных симметричнопо обе стороны пластины 3 относительно плоскости пластины, конечную формирующую линзу б и исследуемый образец 7.Электроннооптическая система работает следующим образом.Пучок заряженных частиц, сформированный электронной пушкой 1, ипредварительными линзами 2, попадает в устройство изменения апертуры пучка, где первая электромагнитная отклоняющая система 4 направляет пучок в одно из отверстий пластины 3, вторая электромагнитная отклоняющая система 5 возвращает пучок на оптическую ось системы, далее пучок, сформированный конечнойформирующей линзой б попадает на исследуемый образец 7. Смена и юстировка задающих апертуру пучка отверстий в пластине осуществляетсяизменением величины тока в отклоняющих электромагнитных системах, включенных последовательно.Описанная конструкция электроннооптической системы позволяет существенно повысить оперативность настройки и юстировки колонны ЭОС,так как смена задающих апертурупучка отверстий в пластине осуществляется только переключением токав отклоняющих электромагнитных системах. Исключение из состава колонны ЭОС системы механизмов перемещения пластины с отверстиями относительно оптической оси позволяет упростить конструкцию системы,"охранить целостность магнитопроводов и не нарушать тем самым симметрию магнитного поля линзы,

Смотреть

Заявка

2775750, 04.06.1979

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ М-5912

МАКАРОВ К. А, БРАТОВ О. П, ВЯЛЬ Л. Ф, МОРОЗОВ В. И

МПК / Метки

МПК: H01J 37/04

Метки: электроннооптическая

Опубликовано: 07.02.1983

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-839412-ehlektronnoopticheskaya-sistema.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Электроннооптическая система</a>

Похожие патенты