Позитивный фоторезист
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
1111 ВШ 95 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(43) Опубликовано 07.03,81. Бюллетень(45) Дата опубликования описания 07.03.8 Государственнын комитет-в-мн-С0- " В СЛ3 112 1Изобретение относится к позитивнымфоторезистам, используемым в фотолитографическом процессе изготовления микросхем и фотошаблонов,Известен позитивный фоторезист, включающий светочувствительный продукт наоснове нафтохинондиазида, фенолформальдегидную смолу и растворитель - диоксан 1,Недостатками известного фоторезиста 10являются неудовлетворительно низкая щелочестойкость, низкие адгезионные свойствафоторезистивной пленки и наличие в нейдефектов в виде трещин и проколов.Целью изобретения является повышение 15щелочестойкости, адгезионных свойств фоторезистивной пленки и уменьшение плотности дефектов.Поставленная цель достигается тем, чтопозитивный фоторезист, включающий светочувствительный продукт на основе нафтохинондиазида, фенолформальдегидную смолуи диоксан, дополнительно содержит пластификатор-уретановый эластомер общей формулы 1 25 где К - полиокситетраметиленгликоль- О -- (СН,), - О - -,; т = 2 - 5,при следующем соотношении компонентов,вес. %:Светочувствительныйпродукт на основенафтохинондиазида 6,5 - 7,5Фенолформальдегиднаясмола 10,5 - 12,5Уретановый эластомерформулы 1 2 - 5Диоксан ОстальноеВ качестве светочувствительного продукта на основе нефтохинондиазида используют 1,2-нафтохинондиазид(2) -5-сульфоэфирноволака.В качестве уретанового эластомера формулы 1 используют синтетический каучукуретановый полифуритный литьевой ТУ38103 - 137 - 72 (СКУ - ПФП) - продуктвзаимодействия диизоцианата с простымили сложным олигоэфиром,П р и м е р. Для получения фоторезистасмешивают фенолформальдегидную смолу,светочувствительный продукт - 1,2-нафтохинондиазид(2) - 5-сульфоэфир новолака,уретановый эластомер и диоксан, Смесьвыдерживают 12 ч в месте, защищенномот актиничного излучения.811195 3Перед применением фоторезист отфильтровывают. 4Показатели полученных фоторез истов приведены в таблице. Содержание компонента, вес, 00 Время стойкости фото- резистивных пленок в 10 й-ном растворе КОН, сек Величина разрешающей способности,л/мм 1,2-нафто- хинон-диазид (2)-5- .сульфоэфир новолака Адгезионные свойства, гсlммфенолформальдегиная смола уретановыйэластомер диоксан 10,5 10,5 10,5 12,5 12,5 12,5 6,5 6,5 6,5 7,5 7,5 7,5 81 80 78 78 77 75 где К - полиокситетраметиленгликоль - О -- (СН), - О -- ; т=2 5,Использование в предлагаемом фоторезисте пластификатора - уретанового эластомера - позволяет повысить адгезионные 5 свойства, щелочестойкость фоторезистивных пленок и снизить плотность дефектов. при следующем соотношении компонентов,внес, ,:Светочувствительныйпродукт на основенафтохинондиазида 6,5 - 7,5Фенолформальдегиднаясмола 10,5 - 12,5Уретановый эластомерформулы 1 2 - 5Диоксан ОстальноеИсточники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Справочник Химические материалы,Технические условия, т. 111, Соли и основания, светосоставы, НПО, 002.008, МЭП,1974 г,Формула изобретенияПозитивный фоторезист, включающий 10 светочувствительный продукт на основе нафтохинондиазида, фенолформальдегидную смолу и диоксан, отличающийся тем, что, с целью повышения щелочестойкости, адгезионных свойств фоторезистив ной пленки и уменьшения плотности дефектов, он дополнительно содержит пластификатор - уретановый эластомер общей формулы 1 20 О О ф С - 2 пх - В-СО О С - В - Ь 1.1- С г О Составитель Т. ПономареваТехред А. Камышникова Корректор Р, Беркович Редактор 3, Бородкина Заказ 635/3 Изд, Мя 259 Тираж 530 ПодписноеНПО Поиск Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж.35, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 1 2 3 4 5 6 Прототип 500 400 400 500 400 400 400 25 30 35 25 30 35 10 0,1 0,1 0,1 0,09 0,12 0,10 0,5 180 в 2 240 в 2 280 в 3 180 в 2 220 в 2 280 в 3 10 - 15
СмотретьЗаявка
2648496, 24.07.1978
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ М-5191
КАРПЕНКО ЭДУАРД СЕМЕНОВИЧ, ПОСТОВИТ НИНЕЛИЯ АНТОНОВНА, ТЕРЕХОВА ГАЛИНА ВЛАДИМИРОВНА
МПК / Метки
МПК: G03C 1/68
Метки: позитивный, фоторезист
Опубликовано: 07.03.1981
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-811195-pozitivnyjj-fotorezist.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Позитивный фоторезист</a>
Способ изготовления эпоксидных смол в щелочной среде на основе многоатомных фенолов и соединений, образующих в условиях реакции продукты конденсации, содержащие эпоксидные группы
Номер патента: 110740
Опубликовано: 01.01.1957
МПК: C08G 59/06
Метки: группы, конденсации, многоатомных, образующих, основе, продукты, реакции, смол, содержащие, соединений, среде, условиях, фенолов, щелочной, эпоксидные, эпоксидных
...с целью расширения сырьевой базы, в качестве компонентов, образующих эпоксид, применяют концевые замешенные глицериндигалоидгидрины или их эпсксисоединения и их про. изводные. Отв. редактор И, В, МакаровСтандартгиз. Поди. к пец. 17/1 1958 г. Обуви 0,125 и. л. Тираж б 50. Цена 25 кап. Типография Комитета по делам изобретений и огекпытпй пои Совете Министров ,Москва, Неглинная, 23. Зак. 2094.Отверждение клеющей смеси происходит без давления нагреванием при 200 в течение 2 час,П р им ер 2. Смесь из 136 вес,ч. воды; 223 вес, ч. технического едкого натра (92,5%-ного), 595 вес. ч.4,4-диоксидифенила,2-пропана и 745 вес. ч. смеси, состоящей из 1,2 дихлорбутанолаи 1,3-дихлорбутанола, нагревают при перемешивании до 90, после чего в течение...
Способ получения светочувствительной пленкообразующей кремнеорганической смолы
Номер патента: 208948
Опубликовано: 01.01.1968
Авторы: Воронков, Жеглова, Лукевиц
МПК: C08G 77/20
Метки: кремнеорганической, пленкообразующей, светочувствительной, смолы
...их согидролизе с органилтриалкоксисиланами. Для получения светочувствительных покрытий триалкоксисилилметиловый эфир 3-(2-фурил)акриловой кислоты или его смесь с органилтриалкоксисиланом в эфирном растворе обрабатывают водой в присутствии щелочных катализаторов или без них.П р и м е р. В трехгорлую колбу с механической мешалкой, капельной воронкой и обратным холодильником помещают раствор 10 вес. ч. триметоксисилилметилового эфира 3-(2-фурил) акриловой кислоты в 60 об. ч, диэтилового эфира и при интенсивном перемешивании прикапывают к нему 2,8 об, ч. воды, После перемешивания реакционной смеси час, затем ированного в течение отой, отдеад Мд 304. ают 4 вес.ч,на 18 нцент иваю й кис т его получ пленко лы ги неорга зом с и 1 ийся ствител...
7-фтор-5-оксибензо-1, 4-диоксан в качестве промежуточного продукта в синтезе соединения, обладающего местноанестезирующей активностью
Номер патента: 639886
Опубликовано: 30.12.1978
Авторы: Даукшас, Каминскас, Мартинкус, Рукшенас
МПК: C07D 319/18
Метки: 4-диоксан-2, 7-фтор-5-оксибензо-1, активностью, качестве, местноанестезирующей, обладающего, продукта, промежуточного, синтезе, соединения
...3,98 с (ОСНЗСНЗО), 6,40 м (Аг - Н), Кристаллическое вещество белого цвета, растворимое в воде и этаноле, нерастворимое в эфире.Найдено, %: С 116,12; Х 6,35,С 9 Н 19 С 1 ОЗ.Вычислено, %: С 16,29; М 6,43.Смесь 20 г (0,092 моля) гидрохлорида 7- амина-метоксибензо,4-диоксана, 8 г (0,2 моля) едкого патра, 60 мл воды и 60 мл оензола перемешивают 5 мин, органический слой отделяют, водный слой экстрагируют бензолом, бензольпый слой обьединяют с бензольным экстрактом, промывают водой, отгоняют бснзол, а остаток перегоняют в вакууме, Выход 7-амино-метоксибензо,4- диоксана 15,8 г (95% от теоретического); т. кип, 175 - 1"С/2 мм; Л 1, 292 нм; 18 3,49 (в этаноле); в ИК-спектре содержится полоса поглощения 1 НЗ-группы в области 2990 см в . Это...
Способ выделения фенолов из продуктов переработки каменноугольных смол
Номер патента: 1710542
Опубликовано: 07.02.1992
Авторы: Бессараб, Савиных, Семенов, Стахина, Томсон
МПК: B01D 3/36, C07C 39/04
Метки: выделения, каменноугольных, переработки, продуктов, смол, фенолов
...повышению выходацелевого продукта.При снижении температуры ниже 95 С 25отгон фенолов прекращается, нагреваниевыше 100 С после отгона фенолов не приво- .дит к их дополнительному отгону,Изменение соотношения толуол:водаприводит к отгону избытка воды или толуола, не влияя на выход фенолов, так как тройной азеотроп фенолы: вода . толуолполучается только при соотношении вода:толуол 1:2,35Выделение фенолов по прототипу требует более высоких температур, применения острого пара и дает значительно меньший выход фенолов.Изобретение иллюстрируется следую щими примерами.П р и м е р 1, 70 г генераторной смолы состава, указанного выше, помещают в круглодонную колбу, добавляют при перемешивании 20 г толуола, затем 10 г воды, 45 убирают мешалку,...
Способ изготовления пигментной светочувствительной бумаги или пленки
Номер патента: 9216
Опубликовано: 31.05.1929
Автор: Моисеенко
МПК: B32B 33/00, G03F 7/04
Метки: бумаги, пигментной, пленки, светочувствительной
...не подвергающиеся порчепри хранении.Способ заключается в том, чтоочувствленную и высушенную пигментную пленку покрывают со сто.роны пигментного слоя тонким изолирующим слоем парафина, или воска,или коллодия, или смолы (шеллак ипроч,), или каучука, а пигментнуюбумагу в обеих сторон такими жеизолирующими, слоями. Для пленкиэтот слой может быть непрозрачным, для бумаги же необходим прозрачный слой, После печатания пленку или бумагу обрабатывают бензином или иным соответствующимрастворителем, отмывающим изолиРуощий слой,Видоизменение описанного способа состоит в том, что пигментнуюбумагу предварительно пропитанную изолирующим веществом, после очувствления покрывают изолирующим слоем лишь со стороны пигментного слоя. 1. Способ...
Предыдущий патент: Волноводно-оптический модулятор
Следующий патент: Бессеребряная светочувствительнаякомпозиция
Случайный патент: Установка для бжига сырьевой смеси