Стол вакуумный

(54) СТОЛ ВАКУУМНЫЙ Изобретение относится к станкостроению.Известен стол вакуумный, выполнен- . ный в виде плиты с присосами,. соединенными с .вакуумной магистралью иуплотни- тельным кольцом, размещенным в пазу рабочей поверхности плиты 11Недостатком этого устройства является низкое качество обработки вследствие изгиба обрабатываемой пластины 10 по периметру,Цель изобретения - повышение качества обработки.Укаэанная цель достигается тем, что уплотнительное кольцо выполнено из 15 .пористого материала и между его наружным диаметром и стенкой паза имеется зазор, в котором под давлением циркулирует жидкость.На чертеже изображен вакуумный 29 стол.Стол выполнен в виде плиты 1 с присосами 2, расположенными по концентрическим окружностям, и с кольцевой канавкой 3, соединенной соответствен-". 25 но с источником подачи воды и ее сливом, причем внешний диаметр. канавки 3 на 1-2 мм меньше диаметра обрабатываемой детали 4. В канавке 3 размещено ,кольцо 5, выполненное из пористого 30 материала, например микропористой керамики, внешний периметр которого образует зазор с внешним периметром канавки 3.Вакуумный стол работает следующим образом.Обрабатываемая деталь 4 укладывается на присос стола, после чего каналы подключаются к вакуумной магистрали, а в канавку 3 производится подача воды под давлением. После полного заполнения канавки 3 водой плита 1 поме-щается в зону обработки станка. При использовании вакуумного стола,например, на станке химико-механической полировки подупроводниковых пластин в зону обработки подается суспензия, представляющая собой смесь химически активных жидкостей с абразивным порошком,Наличие расположенного на стальнойплите 1 уплотнительного элемента значительно ограничивает область распространения микрочастей между базовойповерхностью детали 4 и плитой 1.указанная область распространениямикротечей; в данном случае составляет не более 1-2 мм, что практически определяется величиной перекрытия795866 Формула изобретения Составитель Е. Щеславскаяедактор С.Тараненко Техред Ь,Ач Корректор С, Юекмар 18 Тираж 779 ВНИИПИ Государствеиногпо делам иэобретени 13035, Москва, Ж, Ра Подпискомитета СССРи открытийская наб., д. 4/5 Заказ 9558 ППП "Патент", г, ужгород, ул. Нроектна л(Фдиаметром детали 4 (полупроводниковой пластины) внешнего диаметра канавки 3Предложенное конструктивное выполнение вакуумного стола позволяет исключить проникновение обрабатывающего материала, в частности полировальной суспензии, в укаэанные микротечи. Это обусловлено тем, что благодаря подаче воды под давлением в канавке 3 и пористом кольце 5 создается избыточное давление, препятствующее этому йроникновению, В случае же попадания суспензии в микро- течи, что практически не исключено, последняя вымывается в канавку 3,а затем через канал,б удаляется в зону слива..Величина зазора (0,3-0,4 мм). между внешними периметрами пористого кольца 5 и канавки 3 определяется тем, что при закреплении тонких деталей в зоне контакта базовой поверхности детали с канавкой не должны возникать искрив ления обрабатываемой поверхности, т.енарушения геометрии пластины,обуславливающие впоследствии возникновение дислокаций, что снижает процент выхо да годных иэделий.Кроме того, в зазоре указанной величины образуется циркулирующий под давлением поток воды, достаточный для вымывания обрабатывающего материала, в том числе абразивных частиц, проникающих в отдельных случаях в микротечи между базовой поверхностью деталии плиты. Размещение .в канавке пористого кольца полностью препятствует дальнейшему проникновению суспензии, чтообусловлено возникновением нулевогодавления на границе между внешним периметром кольца и внутренним периметром зазора, так как избыточное давление, создаваемое водой в канавке,по величине равно избыточному давлению, создаваемому .в пористом кольце. Стол вакуумный, выполненный в виде 15 плиты с присосами, соединенными с вакуумной магистралью и .Уплотнительнымкольцом, размещенным в пазу рабочейповерхности плиты, о т л и ч а ю -щ и й с я тем, что, с целью повыше ния качества обработки, уплотнительноекольцо выполнено из пористого материала и между его наружной поверхностью и стенкой паза имеется зазор,в котором под давлением циркулируетжидкость. Источники информации,.принятые во внимание при экспертизе1. Белоусов А.П. Проектирование,приспособлений, "Машиностроение",1964, с.75.