Катодный блок

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК ПАТЕНТУ Союз Советских Социалистических Республик(31) 20184/7 3 . (33) ВеликобританияОпубликовано 1509,80.Бюллетень Мо 34 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытийДата опубликования описания 15,09.80(72) Авторы изобретения ИностранцыКеннет Берроуз и Роберт Хискатт (Великобритания) Иностранная Фирма"Триплекс Сейфти Гласс Компани Лимитед" (Великобритания)(54) КАТОДНЫЙ БЛОК Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может .найти применение, например, при получении металлоокисных покрытий на различных подложках.Известен катодный блок преимущественно для устройств для нанесения электропроводящих пленок методом распыления, содержащий металлический катод, многослойный электростатический экран, окружающий катод со всех сторон, за исключением рабочего участка поверхности катода 1).Однако этот блок обладает невысокой надежностью работы за счет возникновения электрического пробоя между катодом и электростатическим экраном.Цель изобретения - повышение надежности работы катода за счет предотвращения воэможности возникновения электрического пробоя между катодом и электростатическим экраном.Для этого катодный блок преимущественно для устройств для.нанесения электропроводящих пленок методом распыления, содержащий металлическйй катод, многослойный электростати ческий экран, окружающий катод со всех сторон, за исключением рабоче 2о участка поверхности катода, снабжен трубопроводом, один конец которого введен в зазор между стенкамиэлектростатического экрана, а дру гой, конец соединен с системой подачинейтрального газа.На фиг. 1 приведена схема конструкции катодного блока, на фиг. 2 разрез катодного блока, на фиг 3 - 1 О схема размещения трубопровода икатодных блоков.Катодный блок преимущественнодля устройств для нанесения электропроводящих пленок методом распыле ния содержит трубопровод 1,. один ко"нец которого введен в зазор междустенками 2 и 3, образующими Мнбгослойный электростатический экран,окружающий металлический катод 4 2 О со всех сторон, кроме рабочегоучастка поверхности катода 4. Второйконец трубопровода 1 соединен с системой подачи нейтрального газа.Катодный блок функционирует сле,дующим образом.Несколько катодных блоков размещены в вакуумной камере (не показайа) . Трубопровод 1 подсоединен ковсем катодным блокам. Напыление ме О талла производится на подложку 5,764619 Формула изобретения г Тираж 1074 одписно з 6318/ НИИПИ Фииал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 которая таКже находится в вакуумной камере и расположена над катодными блоками, При напылении металла катод 4 нагреваетсяДля охлаждения катода 4 его внутренняя полость заполняется водой, подаваемой по трубе 6 или : 7. Однако из этих труб является наполняющей, а вторая - отводящей охлаждающую воду.По трубопроводу 1 подается нейтральный газ. Трубопроводов может быть несколько. Для получения большей однородности потока в полости между стенками 2 и 3 могут быть расположены дополнительные перего-. родки 8, 9.Для прямоугольного катода 4 с раз-, мерами 7,5 60 см общая скорость потока газа через электростатический экран приблизительно равна 15 л/с при давлении 0,05 мм рт.ст. Промежуток между стенками 2 и 3 может быть выбран в пределах от 3 до 5 мм. Рабочее напряжение катодного блока выбирается в пределах от 2 до 5 кВ.-2 Давление в вакуумной камере 5 х 10 мм рт.ст.Наличие нейтрального газа между стенками 2 и 3 устраняет возможность пробоя между катодом 4 и стенками 2и 3, образующими электростатическийэкран,Катодный блок преимущественнодля устройств для нанесения электропроводящих пленок методом распыления,содержащий металлический ка 1 од, многослойный электростатический экран,окружающий катод со всех сторон,за исключением рабочего участка поверхности катода, о т л и ч а ю -щ и й с я тем, что, с целью повыше ния надежности работы катода за счетпредотвращения возможности возникновения электрического пробоя междукатодом и электростатическим экраном,он снабжен трубопроводом, один конец 20 которого введен в зазор между стенками электростатического экрана, а другой конец соединен с системой подачинейтрального газа. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Заявка ФРГ Р 2149606,кл. С 23 С 15/00, 1971 (прототип).