Магниторазрядный насос
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(22) Заявлено 21) 2679921/18-25 рнсосдиненпем заявки Лс Государственный комнт 3) Приоритет3) Опубликовано 30,0 3) УДК 621,521(45) Дата опубликования описания 30.04.80(72) Авторы изобретени Е. Слуцкий и М, Л. Либма 71) Заявитель пециальное конструкторское бюро аналитического прибо строения научно-технического объединения АН СССРНИТОРАЗРЯДНЫИ НАСО Изобретение относится к электровакуумной технике, а более конкретно - к высоковакуумным магниторазрядным насосам, предназначенным для вакуумирования объемов в электровакуумных и радиоэлектронных системах, в масс-спектрометрической аппаратуре, при измерении высокого вакуума, в космической технике и технике электрофизических исследований.Известно устройство магниторазрядного насоса, где подачу высокого напряжения на электрод обеспечивает высоковольтный ввод 11,Известен магниторазрядный насос, содержащий герметичный корпус, систему электродов, по крайней мере один электроввод и магнит с магнитопроводом 21.Распыление материала катода, происходящее в процессе работы магниторазрядного насоса, может приводить к образованию проводящих пленок на поверхности изоляторов, что существенно снижает электрическую прочность последних. охранение электрической прочности изо оров электровводов достигается с помо ю системы экранов, предотвращающих мое попадание распыляемого материала поверхность изоляторов. Однако, так как электроввод находитсяв магнитном поле рассеяния, то в области сго расположения может возникать разряд, способствующий напылению проводящего 5 слоя на изолятор.Данное обстоятельство особенно критпчпо для малогабаритных насосов, так как попытки выноса элсктровводов нз активной зоны разряда приводят к значительному 10 увеличению размеров и массы насоса,Целью изобретения является исключениеэлектрических пробоев и утечек по поверхности изолятора электроввода.Поставленная цель достигается тем, что 15 стенка магнптопровода выполнена с отвсрстием, в котором размещен электроввод.На фнг. 1 представлен продольный разрез насоса; на фпг 2 - продольный разрез электроввода; на фнг. 3 - поперечный раз рез насоса.В герметичном корпусе 1 (фиг. 1) смонтирована система электродов 2, закрепленная на высоковольтных электровводах 3.Изоляторы 4 (фиг. 2) электровводов защищены от прямого попадания распыленного титана пз активной зоны электродов экранами 5 лабирннтной конструкции. Корпус насоса помещен в магнитное поле магнита, состоящего из днполсй 6 (фиг. 3) (1 ч н 5),Редакт Корректоры; Л. Корогод и Р. Беркович Заказ 762/10 Изд. М 290 Тираж 857НПО Поиск Государственного комитета СССР по делам изоб 113035, Москва, Ж, Раушскаи наб., д, 4/5 Подписно ений и открытиипография, пр. Сапунова, 2 изготовленных из магнитотвердого материала и магнитопровода 7, изготовленного из магнитомягкого материала.Предлагаемое устройство представляет собой магниторазрядный насос, у которого 5 зона размещения изоляторов высоковольтных вводов пересекается стенками магнитопровода, для чего в них имеются отверстия. При такой конструкции магнитное поле 10 замыкается через стенку магнитопровода. Таким образом, ликвидируется магнитное поле в зоне изолятора и поэтому не возникает разряд в области изоляторов вводов и соответственно исключается возможность электрических утечек и пробоев из-за отсутствия напыления.Предлагаемое устройство позволяет повысить надежность и ресурс работы магниторазрядного насоса. 20 Формула изобретения Магниторазрядный насос, содержащий герметичный корпус, систему электродов, по крайней мере один электроввод, и магнит с магнитопроводом, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью исключения электрических пробоев и утечек по поверхности изолятора электроввода, стенка магнитопровода выполнена с отверстием, в котором размещен электроввод.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Васильев Г. А. Магниторазрядные насосы, М., Энергия, 1970, с, 81.2. Конструкторская документация на масс-спектрометр МХ 6202, чертеж 1 Г 2.969.000 по ТУ 1 ГЗ 394,000 завод электронных микроскопов г. Сумы, 1971 (прототип).
СмотретьЗаявка
2679921, 31.10.1978
СПЕЦИАЛЬНОЕ КОНСТРУКТОРСКОЕ БЮРО АНАЛИТИЧЕСКОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОГО ОБЪЕДИНЕНИЯ АН СССР
СЛУЦКИЙ МИХАИЛ ЕФИМОВИЧ, ЛИБМАН МАРКУС ЛЬВОВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01J 41/06
Метки: магниторазрядный, насос
Опубликовано: 30.04.1980
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-731493-magnitorazryadnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Магниторазрядный насос</a>
Способ откачки магниторазрядным насосом
Номер патента: 940262
Опубликовано: 30.06.1982
Авторы: Королинский, Озеров, Пушкина, Слуцкий, Яковлев
МПК: H01J 41/00
Метки: магниторазрядным, насосом, откачки
...насос доакен обладать значительными габаритами н весом,а ресурс его работы оказывается невысоким,Цель изобретения - уменьшение габаритов и веса насоса и увеличение ресурса его рабаты.20 Поставленная цель достигается тем,что в известном способе, включающемпредварительную обработку электродовнасоса электрическим разрядом в инертном газе в магнитном поле, предварите940262 3льную обработку проводят в магнитном поле, соответствующем началу режима насыщения скорости откачки,а эксплуатацию насоса осуществляют в магнитном поле, уменьшенном в 1,5-2 раза по сравнению с магнитным полем чри предвари-тельной обработке. 0 0 1,0;1,0 1,0 7 5 7 бразом обеспечив ти откачки и ре я на. единицу ма способ реализова сс-спектрометро редназначенных д ваний....
Способ определения индукции магнитного поля в зазоре магнитопровода
Номер патента: 1688211
Опубликовано: 30.10.1991
Авторы: Смирнов, Фойда, Чигирин
МПК: G01R 33/07
Метки: зазоре, индукции, магнитного, магнитопровода, поля
...поля; измеряемое с индукцией В и дополнительное с индукцией Вц, создаваемое индукционной катушкой 3, намотанной на датчик 1 Холла, при 30 протекании тока чере".катушку 3 от источника питания.Выходной сигнал датчика 1 Холла, пропорциональный сумме величин В+Вк, поступает на преобразователь 5 на 35 пряжение - код, Аналого-цифровое преобразование в преобразователе 5 происходит по сигналам, поступающим на вход преобразователя 5 с выхода блока 14 управления. Аналоговый сигнал датчика 1 Холла преобразуется в число импуьсов, которые поступают с преобразователя 5 на счетный вход реверсивного счетчика б, считающего в прямом направлении 45 Б=Б 1,К(В+В ),где Б - чувствительность датчикаХолла;1 - ток питания датчика Холла;иК - коэффициент...
Способ очистки магниторазрядных насосов систем индикации водорода
Номер патента: 786689
Опубликовано: 07.11.1991
Авторы: Егоров, Козлов, Козуб, Кузнецов
МПК: H01J 41/12
Метки: водорода, индикации, магниторазрядных, насосов, систем
...водорода, включающий выдержку электродного блока насоса в вакууме под напряжением, одновременно с подачей напряжения, корпус. насоса подвергают ударному воздействию,Выдержку насоса под повышенным напряжением производят следующим образом. При уменьшении первоначальной чувствительности магниторазрядного насоса системы индикации водорода в несколько раз из-за возрастания шумов тока при давлении не хуже 10 6 мм рт.ст. насос кратковременно выводят из работы, Затем при снятой с насоса магнитной системе к нему подключают источник питания с повышенным напряжением, превышающим рабочее значение в два-три раза. Включают в сеть источник повышенного напряжения и плавно или ступенчато поднимают напряжение до необходимого значения и оставляют его...
Магниторазрядный насос
Номер патента: 930433
Опубликовано: 23.05.1982
Авторы: Агафонов, Ахманов, Нойсс, Островка
МПК: H01J 41/12
Метки: магниторазрядный, насос
...биметаллических пластин.Такое решение позволяет частям анода автоматически перемещаться при изменении температуры в насосе относительно катодных пластин как в плоскости параллельной пластинам, так и в плоскости перпендикулярной им. Результатом первого перемещения является смещение мест интенсивного распыления катода и увеличение срока службы, а во втором случае - удлинение разрядных пучков в анодных ячейках и повышение быстроты действия насоса.На чертеже схематически изображена конструкция магниторазрядного насоса.Насос состоит из герметичного корпуса 1, катодных пластин 2, анода 3, биметаллических пластин 4 и изоляторов 5. Магнитная система насоса расположена вне корпуса и механически связана с корпусом (система не показана).Насос...
Магниторазрядный насос
Номер патента: 940263
Опубликовано: 30.06.1982
Авторы: Бинунский, Крупальников, Пакулин, Цирлин, Шерешевской
МПК: H01J 41/00
Метки: магниторазрядный, насос
...набора кольце- кого и магнитного полей. Кольцевые об- вых постоянных магнитов 4, обращенных ласти, расположенные в центральных плъ друг к рругу одноименными полюсами и скостях шайб, не участвуют в разряде и разделенных шайбами 5 иэ магнитомягконе подвергаются распылению. Своей тор- го материала (например, Армко). Внутри цовой частью полость между анодом и ка- магнитов с шайбами установлены примытодом, где существует разряд и происхо- кающий к ним цилиндр 6 и проходящий по дит откачка газа, открыта к откачивае оси стержень 7. Цилиндр 6 соеринен с35мому обьему, так что вакуумная проводи- катодом 3 торцовым кольцом 8, а стермость от этого обьема к области откачки жень 7 - с анодом 1 риском 9. Все в отличие от насосов с ячеистым анодом...
Предыдущий патент: Способ изготовления угольных реплик
Следующий патент: Блок микроканальных пластин
Случайный патент: Роторная машина