Раствор для травления пьезоэлементов из кристаллического кварца

(23) Приоритет Опубликовано 15.02.80 Бюллетень МбДата опубликования описания 15.02,80(7) Заявитель Московский ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени государственный университет им, М. В, Ломоносова(54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ПЬЕЗОЭЛЕМЕНТОВ ИЗ КРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КВАРПА 0,05-0,10,01-0,05Остальное,домногослой. Изобретение относится к получению составов для травления пъезокварца и может быль использовано при изготовлении пьезоэлемен тов из кристаллического кварца в радиоэлектронной промышленности.Известен раствор для травления кристалли.ческого кварца, содержащий насыщенный вод. ный раствор бифторида аммония и концентри. рованной плавиковой кислоты в соотношении 3;1 11.Недостаток раствора - невысокая скорость травления пьезоэлементов при его использо. вании (0,081 мкм/мин), а также его агрессивность. Время устойчивости многослойных покрытий в растворе 74 мин.Цель изобретения - повьпцение скорости травления и снижение агрессивности раствора,Цель достигается использованием раствора из кристаллического кварца, включающим плавиковую кислоту, бифторид аммония,хинолин, каптакс и воду при следующем соотношении компонентов вес,%:Плавиковая кислота 15-25 Бифторид аммония 15-25 ХинолинКаптаксВодаСкорость травленияповышается0,15 мкм/мнн, время устойчивости5ных покрытий в растворе 20 ч,Хинолин и каптакс снимают агрессивиостьраствора по отношению к металлическомупокрытию и фоторезистной пленке и повыша.ют качество поверхности травления и четкостиконтура фигур травления,Верхний предел концентраций хинолина икаптакса определяется растворимостью их вводном растворе. (для хинолина 0,1%, длякаптакса 0,05%). Нецелесообразно использо.вать концентрации хинолина и каптакса ниже0,05% и 0,01%, так как их ингибирующеедействие резко снижается.При использовании раствора получаютсяпьезоэлементы с разрешением2 мкм и хорошей сохранностью металлических покрытий/715609 4растворяют ийрсиланом и затем наносилась защитнаяолученному маска из позитивного кислотостоикого фата.плавиковой резиста в форме группы пьезоэлементов.г каптакса. Предлагаемый состав раствора для трав.соотношение 5 ления пьезоэлементов из кристаллическогокварца позволяет одновременно получать25 целую серию пьезоэлементов, обеспечивает25 гладкую границу среза пьезоэлемента, не0,1 разрушает нанесенные на пьезоэлемент метал005 10 лические электроды. Защитная маска фото.Остальное резиста при использовании предлагаемогов указанном раствора сохраняется на поверхности кварцаустойчивости 20 - 22 ч, и подтравливание кварца при этомтворе 20 ч, не наблюдается. Готовые изделия имеют за.нилось. Нели 15 данные геометрические параметры с точностьюрая четкие, до 2 мкм. Травление происходит при комнатрастворяют ной температуре. 15-25 15-25 0,05 - 0,1 0,01 - 0,05 Остальнре Составитель С, Лотхова Техред М.Петко Корректор В. Синицкая Редактор А. Павлюкааавеаюю амЕж. -Заказ 9622/7 Тираж 725 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытийФилиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 3Пример.81500 г бифторида аммония. К праствору добавляют 1,53 л 45%кислоты 2,3 мл хинолина и 1,3При этом получают следующеекомпонентов, вес.%:Плавиковая кислотаАммоний бифторидХинолинКаптаксВодаСкорость растворения кварцарастворе 0,15 мкм/мин, времямногослойных покрьггий в расМеталлическое покрытие сохрапротравились на 150 мкм. КП р и м е р 2. В 1 л воды540 г бифторида аммония. К полученномураствору доливают 640 мл 45% плавиковойкислоты и 2,1 мл хинолина. После чего добавляют 1,2 г каптакса. При этом получаетсяследующее соотношение компонентов, вес.%:Плавиковая кислота 15Аммоний бифторид 23,3Хинолин 0,1Каптакс 0,05Вода Остальное./Скорость растворения кварца 0,067 мкм/мин,время устоВпвости более 22 ч, Металлическое покрытие сохранилось, 1 Цели протравились на 100 мкм, Края рисунка четкие,11 эавлению подвергались кварцевые пластины среза ЕУВ/+5 размером 19,8 х 24 х 0,2 ммс нанесенным рисунком металлических элек.тродов. Металлические покрытия толщйнойвихром 0,05 мкм/серебро 0,2 мкм, После" нанесения электродов пластины покрывалисьгидрофобизующим веществом - фенилтри 20 Формула Изобретения Раствор для травления пьезоэлементов изкристаллического кварца, содержащий плавико.вую кислоту, бифторид аммония и воду,25 о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с цельюповышения скорости травления и сниженияагрессивности раствора, он дополнительносодержит хинолин и каптакс при следующемсоотношении компонентов, вес.%:ЗО Плавиковая кислотаБифторид аммонияХинолинКаптаксВода Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Харивуло И, Г. и Литинская Н, М.,Алмазы, 1970, 3, Р 4, 27-31 (прототип),