Устройство для пространственной ориентации образцов в вакууме

ОП ИСАЙ ИЕИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОИЖОММ СВИДВТИЗЬСТВУ Ееоз СееетекихСОФ 1 алмстнческихРеса ублетк(22) Заявлено 01.03.78 (21) 2583148/18-21 51 05 К 13/О с присоеди ием заявкиГевударетввнный квтетвт ссср ав делам нзвбрвтвннй(1) Заявитель Восточно-Сибирский технологический институт 4) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОСТРАНСТВЕН ОРИЕНТАЦИИ ОБРАЗЦОВ В ВАКУУМ Оно содержит юстируемую плошадку 1,представляющую собой плоский цилиндр с глухими отверстиями для прикрепления образцов. Эта площадка опирается на шаровой шарнир 2, являющийся оконцовкой трубчатой тяги 3. Боковая поверхность юстируемой площадки является посадочным местом для сильфона 4. Другой конец сильфона приварен к круглой шайбе 5, вынесенной на конец трубки 6. Трубка соединена с флан цем 7, которым предлагаемое устройство пристыковывается к вакуумной системе. Шайба, трубка и фланец вытягиваются из единой болванки. Внутри трубчатой тяги проходит стержень 8, соединенный с помощью Изобретение относится к вакуумной технике и может применяться для образцов, находящихся в вакуумном объеме.Известно устройство для передачи движения в вакууме, имеющее задающие и передающие элементы, сильфон, который обеспечивает герметичность и возможность прогрева 11.Однако это устройство не может быть применено для юстировки образцов, так как не позволяет обеспечить необходимой точности.Из известных технических решений наиболее близким к изобретению по технической сущности является устройство для пространственной ориентации образцов в вакууме, содержащее юстируемую плошадку для образцов, сильфон, размещенный между юстируемой площадкой и втулкой с фланцами и стержень для перемещения юстируемой площадки 12.Недостатками известнога устройства являются низкая точность юетировки и малая надежность работы.Цель изобретения - повышение точности юстировки и надежности работы устройства. Достигается это тем, что устройство дляпространственной ориентации образцов в вакууме содержащее юстируемую площадку для образцов, сильфон, размещенный между юстируемой площадкой и втулкой с фланцами и стержень для перемещения юстируемой площадки, снабжено толкателем, кинематически соединенным со стержнем для перемещения юстируемой площадки и размещенным в сильфоне.На чертеже изображено устройство в раз- О резе.699689 Формула изобретения Составитель Л. Бесполова Редактор Т, Клюкина Техред О, Луговая Корректор Г. Назарова Заказ 7245(60 Тираж 944 Подписное ЦН И И ПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб д, 4/5 Филиал ППП Патента, г. Ужгород, ул. Проектная, 4резьбы с толкателем 9. Кулачок толкателя проходит через прорезь в трубчатой тяге, которая исключает проворачивание толкателя относительно трубчатой тяги и ограничивает ход толкателя вдоль оси трубчатой тяги. Трубчатая тяга через резьбу на ее внешней поверхности соединена с втулкой 10. Втулка своим выступающим ступенчатым ободком вставлена в ступенчатое отверстие во фланце. Разрезная накидная шайба 11, приваренная своими краями к фланцу, не дает втулке передвигаться относитель но фланца в осевом направлении. Втулка на другом конце имеет маховичок 12, Стержень, проходящий внутри трубчатой тяги, зафиксирован в осевом направлении относительно этой тяги при помощи ступенчатого выступа на его конце и шайбы 13, приваренной к трубчатой тяге. Конец этого стержня имеет маховичок 14.Устройство работает следующим образом.Пеоедвижение юстируемой площадки 1 20 в осевом направлении достигается вращением втулки 10. При этом необходимо придерживать трубчатую тягу 3 от проворачивания относительно фланца 7. При вращении втулки 1 О последняя навинчивается на трубчатую тягу 3 и перемещает ее относительно фланца 7. Трубчатая тяга 3 передвигает юстируемую площадку в осевом направлении. Наклоны юстируемой площадки 1 достигаются вращением стержня 8. При вращении стержня 8 толкатель 9 навинчивает- зе ся на стержень 8 и передвигается в осевом направлении относительно трубчатой тяги 3. Толкатель 9 своим кулачком наклоняет юстируемую площадку 1, Поворотом трубчатой тяги 3 можно поставить кулачок толкаИ теля 9 под любым азимутальным углом.Предложенная конструкция юстировочного устройства позволяет перемещать образцы на 20 - 25 мм и обеспечивать установление нормали к поверхности образца в любом заданном направлении на 0 - 15 от оси системы. Использование данной конструкции дает возможность повысить надежность работы устройства и точность юстировки. Данная конструкция обладает также большей жесткостью и более устойчива к вибрациям. Уменьшение площади поверхностей, обращенных в вакуум, уменьшает время прогрева системы для обезгаживания. Уменьшение откачиваемого объема и времени прогрева уменьшает в целом время откачки. К преимуществам данного юстировочного устройства следует также отнести малое количество элементов, надлежащих контролю на герметичность (два сварных соединения силь- фона и вакуумное уплотнение фланца). Устройство для пространственной ориентации образцов в вакууме, содержащее юс тируемую площадку для образцов, сильфон размещенный между юстируемой площадкой и втулкой с фланцами и стержень для перемещения юстируемой площадки, отличаю- и(ееся тем, что, с целью повышения точности юстировки и надежности работы устройства, оно снабжено толкателем, кинематически соединенным со стержнем для перемещения юстируемой площадки и размещенным в сильфоне.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1, Вакуумные системы и их элементы, Под ред. В. Д. Лубенец. М.; Машиностроение, 1968, с. 100.2. Эмбах Г. Л. Практические сведения по вакуумной технике. М.-Л.: Энергия, 1966, с. 148 (прототип).