Испаритель для нанесения сложных соединений материалов

1 ц 659642 ОПИСАНИИ ИЗОБР ЕТ ЕН И Я бова боветскйх Социалистических Республик(43) Опубликовано 30.04,79. Бюллетень ЛЪ 16 (53) УДК (45) Дата опубликования описания 30.03.79 по делам изобретений и открытий93,148) 2) Авторыизобретения Ю. М. Буккер, А. С. Валеев, А. А. Ванин, Г. В. ЕвдокиИ. Ш. Фишель и В. А. Хрусталев1) Заявитель 54) ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ОЖНЫХ СОЕДИНЕНИЙ МАТЕРИАЛО 2 ства заключаетулирования пропонент сплава в Изобретение относится к тонкопленочной технологии и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности для получения композиционных покрытий с заданным составом при вакуумном осаждении.Известно устройство, в котором получение покрытий из композиционных сплавов достигается за счет испарения компонент сплава из отдельных источников; оно обеспечивает получение сплавов практически с любым процентным содержанием компонент за счет регулирования скорости испарения каждой компоненты 11.Недостаток устройста состоит в том, что в связи с невозможностью совмещения диаграмм испарения нельзя получать сплавы с одинаковым процентным содержанием на различных участках поверхности осаждения.Из известных технических решений наиболее близким по технической сущности к изобретению является испаритель для нанесения сложных соединений материаловв, содержащий тигель, разделенный на коаксиально расположенные секции, число которых равно числу испаряемых компонент, и фокусирующий электрод-прожектор с размещенным в цем нагревателем-катодом 2. Недостаток этого устрося в невозможности регцентного содержания компроцессе испарения.Цель изобретения - регулирование процентного содержания компонент сплава в процессе пспарения. Достигается это благодаря тому, что в испарцтеле для нанесения сложных соединений матерцалов, содержащем тигель, разделенный на коаксиально расположенные секции, число которых равно числу цспаряемых компонент, и фокусцрующпй электрод-прожектор с размещенным в нем нагревателем-катодом, ко аксиальцо расположенные секции тигляэлектрически изолированы одна от другой и находятся под различными потенциалами относительно нагрсвателя-катода, потенциал которого отличен от потенциала корпуса.На чертеже представлена конструкцияцспарителя.На нижней плите 1 на изоляторах 2 крепится верхняя плита 3, на которой установлен фокусирующий электрод-прожектор 4. Нагреватель-катод 5, выполненный в виде кольца, размещен внутри фокусцрующего электрола-прожектора. Один вывод нагреватель-катода соединен с верхней зо плитой, второй изолирован, Секции 6 и 7тигля располагаются вн три фокусирую- щего электрода-прожектора, Секция 6 за. креплена на нижней плите на стойке 8, а секция 7 установлена на держателях 9 и стойках 10, которые укреплены на нижней плите а изоляторах 11.При такой конструкции устройства а а реватель-катод и фокусируюгций электрод-прожектор подается регулируемое напряжение постоянного тока величиной от 0 до - 2000 В, секция 6 тигляаходится под потенциалом корпуса, а па секцию 7 тигля поступает регулируемое напряжение постоянного тока величиной от 0 до +1000 В. Отношение скоростей испарении компонент сплава определяется величиной напряжения, поданного на секцию 7 тигля, а абсолютно величины скоростей испареия компонент при их постоянном отношеии - напряжением смещения нагревателя-катода относительно корпуса.Изобретение повышает точность процентного состава осаждаемых сплавов по всеи поверхности осаждения, обеспечивает возможность регулирования процентного содержания компонент сплава в процессе испарения и получепя сплавов л 1 обых материалов, что дает новый технико-экоомическип эффект.Ф ор мул а изобретенияоИспаритель для нанесения сложных сосаений материалов, содержащий тигель,разделеыйа коаксиально расположенныс секции, число которых равно числу. ис 1 О паряемых компонент, и фокусирующийэлектрод-прожектор с размещенным в немнагревателем-катодом, о т л и ч а ю щ е е с ятем, что, с целью регулирования процентного содержания компонент сплава в процессе испарения, коаксиально расположенные секции тигля электрически изолированы одна от другой находятся под различными потенциалами относительно напревателя-катода, потенциал которого отличен от потенциала корпуса.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент США3603285, кл. С 23 С13/00, опублик. 1975.2. Авторское свидетельство СССР433252, кл. С 23 С 13/00, 1976.