Раствор для травления пленок окисла железа
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Союз СоветскихСоциалистицеснихРеспублик ОП ИСАНИ Е ИЗОБРЕТЕН ИЯ ВТОРС Дополнительное. к аявлено 09.10.7 цщд.в 179962/2 0 с присоединением заявка М(43) Овубликовано 25.09.77 Зюллетеиь И Гаеударствеенвй еоиататСовета Меиастраа СССРю делам азебретенейа еткрнткЯ,0 46) Дата опубликовани описания 24.10.7(7 итал ИСЛА ЖЕЛЕЗА Р ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ПЛЕНО едь х ко ром - хлористу ношении исхБромисты й Изобретение относится к веществам, используемым при изготовлении изделий электронной техники, а именно полупрозрачных фогошаблонов с маскирующим покрытием из окисла железа.Известен раствор для травления пленок окисла железа, например,. при получении рисунка фотошаблона, содержащий солянув кислоту, воду, гайогенид калия и соединение меди с хлором 1) .Однако при использовании этого раствора скорость травления ограничена и точнос воспроизведения рисунка фотошаблона недостаточна. стая ВодаСоляная кислогаРаствор готовигсРастворяют в во растворяют в соляной кимедь, после чего оба рас рремешиваютть Порядок операпий при получении железоокисного рельефа на стекле с использованием предлагаемого раствора следующий: нанесение позигивного фоторезиста иа пленкуокисла жрлоза, осажденную на стекляннувподлови; гермообработка фоторезистивногопокрытия; экспонирование через эталонный фогошвблон; прэявление н промывка;сушка на воздухе; избнрагелъное травлениепленки окисла через фогорезисгивнув зааигную маску; промывка; удаление фогорезисга н промывка. спользованн зто го аленин ее привелг:ны примерь а.мого гравигеля прн и лл Бель изобретения - увеличение скорости травления.и повышение точности воспроизведения рисунка фогошаблона.Это достигается тем, что раствор лля трава.ния пленок окисла железа, например прн получении рисунка фогошаблона, содержащий соляную кислоту, волу, галогенил калия н соединение меди с хлором, в качес ве Галогеиида калия сел ржиг бромисгый ка.ий, е я кафу.сгве согдиец пяя мс.ли с хлори следующем соотпонентов, т,3281, 1-1620 -80Ос гальное.едувщим образом,ромисгый калий,слоге хлористуеогво а сливают н пеРаствор для травления пленок жислв железа, например при получении рисунка фо 5тошабпона, содержащий солянув кислоту, воду,галогенид калия и соединение меди с хлором; о т л я ч а ю а н й с я тем, что;с цеаьЮ увеличения скороститравленияи повышения точности воспроизведения ри сунка фотошаблона, в качестве галогенидакалии он содержит бромистый калий, а вкачестие соединения меди с хлором- хлощстую медь при следу 3 ошем соотношенииисходных компонентов, г: Бромистый калийХлористая медьВодаСоляная кислота 3 - 251, 1-1620 - 80Ос тальное,Источники информации, принятые во внимание нри экспертизе: 1, Патент фРГ М 3 102517,кл,480 1/00," 28,0961,573510полупрозрачных фотошаблонов путем фотолигографической обработки пиролигическнхпленок Ре О, )сажденных нв стеклепрн 140-200 С,Пример 1.НС, 119 - 100КВг - 3Со С - 1,1Н - .20Пример 2,Нфд 119 - 100КВГ - 14СНЕ, - 2,5Н Ь - 45ФоТемпература осаждения пленки 170 С;скорость травления 40 А/сек; мяннмальный размер штриха 3 мкм.Пример 3,НСЕ., - 100КВг - 2520Си Сй - 16Н 0 - 802оТемпература осаждения пленки 200 С;скорость травления 30 А/сек; минимальныйразмер штриха 3 мкм. 4 формула изобретенияСоставитель 3. ЛякишевРедактор О, Стенина Техред 3, фанта Корректор А. ЛвнидаЗаказ 3717/21 Тираж 1130 Подписное 1 И 1 ИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, У 35, Рвушская нвбд. 4/5 Филиал ПП 11 Патент, г, Ужгород, ул. Проектная, 4
СмотретьЗаявка
2179962, 09.10.1975
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8657
РАСНЕЦОВА БЕТТИ ЕФИМОВНА, КОЛМАКОВА ГАЛИНА ЯКОВЛЕВНА, КЕГЕЛЕС ШЕЙВА ЛЕЙБОВНА
МПК / Метки
МПК: C23F 1/00
Метки: железа, окисла, пленок, раствор, травления
Опубликовано: 25.09.1977
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-573510-rastvor-dlya-travleniya-plenok-okisla-zheleza.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Раствор для травления пленок окисла железа</a>
Предыдущий патент: Состав защитного покрытия при химикотермической обработке
Следующий патент: Способ многоцветной окраски тонкопленочного металлического покрытия
Случайный патент: Устройство записи световым лучом в регистрирующих приборах