Электролит для осаждения палладия

О П И С А Н И Е р 72539ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик(5) М. Кл,- С 250 3/5 сударственныи комитетсвета Министров СССРоа делам изаоретеннйи открытий Опуб овано 15.09.77, Бюллетень Кеубликования описания 04.09.77 К 621,357,7: : 669.234(088 2) Авторы изобретения. П, Достанко, П. П, Гойденко, Л. К. Кушнер и Ю. Д, Чистяк Минский радиотехнический институт71) Заявител ЕНИЯ ПАЛЛАДИ Оридилаждени Изобретение относится к области гальваностегии, в частности к электролитическомуосаждению палладия; оно может быть использовано в радиотехнической и электронной промышленности,Известны сульфаматный, аминохлоридныйи бромидный электролиты палладирования1). Однако микротвердость покрытий, полученных из этих электролитов, недостаточная(310, 260 и 220 кг/мм соответственно).Наиболее близким к описываемому изобретению по составу компонентов являетсяэлектролит для осаждения палладия, содержащийхлористый палладий, сернокислый аммонийи сахарин 2), Электролит содержит такжесоляную кислоту и аммиак, Из указанногоэлектролита получают полублестящие покрытия микротвердостью 250 кг/мм,Предлагаемый электролит отличается отизвестного тем, что, с целью повышения микротвердости и степени блеска покрытия, ондополнительно содержит мочевину и 2,2-дипиридил при следующем содержании компонентов, г/л:Хлористый палладиСернокислый аммонМочевинаСахарин2,2-ДипиПроцесс ося ь при рН 6 - 8, комнатной температуре и катодной плотности тока 0,5 - 1,5 А/дм.Описываемый электролит позволяет получать блестящие покрытия толщиной до 30 мкм,5 воспроизводимые по качеству, однородные,обладающие высокой износостойкостью. Кроме того, покрытия, полученные из предлагаемого электролита, имеют высокую адгезию смедью, никелем, коваром, серебром и други 10 ми металлами, применяемыми в микроэлектронике,Микротвердость осадков 330 - 340 кг/мм 2,что значительно превышает микротвердостьосадков, полученных из известных электроли 15 тов, Общая отражательная способность покрытий - 73/о, зеркальная отражательнаяспособность -45%. Переходное сопротивление при нагрузке на контакт 50 г 0,003 м.Вследствие высокой плотности и мелкой зер 20 нистости осадки являются коррозионно-стойкими в серу- и влагосодержащей среде. Коррозионные испытания показывают, что покрытия толщиной 3 - 5 мкм защищают от коррозии. Износостойкость палладиевых покрытий25 толщиной 4 мкм при режиме постоянного тока; напряжение 150 В и ток 100 мА, составляет 120000 переключений по сравнению с80000 переключений для покрытий из известного электролита.ЗО П р и м е р 1. Осаждение палладиевого поТолщина осадка, мкм Плотность тока, А/дмв 1515,816,1 330 340 345 150 85 70 0,5 1,0 1,5 Составитель В. БобокТехред И, Михайлова Корректор Т, Добровольская Редактор Н, Корчеико Заказ 2223/19 Изд.742 Тираж 671 Подписное НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 крытия на корпуса интегральных схем проводят из электролита следующего состава, г/л;Хлористый палладий 10 Моч евина 100 Сернокислый аммоний 20 Сахарин 0,3 2,2-Дипиридил 0,03. рН электролита 7; температура 20 С; катодная плотность тока 1 А/дм, время осаждения 11 мин. Толщина полученной пленки 2 мкм.Покрытие равномерно по толщине, имеет однородную структуру, мелкокристаллическое, обладает хорошей адгезией, Оно хорошо смачивается легкоплавкими припоями, позволяет подсоединять проволочные выводы методом термокомпрессии и ультразвуком.П р и м е р 2, Осаждение палладия проводят из электролита, содержащего, г/л:Хлористый палладий 30 Мочевину 70 Сернокислый аммоний 40 Сахарин 0,6 2,2-Дипиридил 0,02. рН электролита 8.Из данного электролита в зависимости от плотности тока получают покрытия микро- твердостью ЗЗО - 345 кг/ммз (см, таблицу). Прим е р 3, При осаждении из электролита, содержащего, г/л:Хлористый палладий 20 Мочевину 120 5 Сернокислый аммоний 30Сахарин 0,8 2 2-Дипиридил 0,03,при рН 6,5 и плотности тока 1,2 А/дмз в течение 20 мин получают покрытие толщиной 10 4 мкм. Общая отражательная способностьего 73/о, зеркальная отражательная способность 45 в/о. Электролит для осаждения палладия, содержащий хлористый палладий, сернокислый аммоний и сахарин, отличающийся тем, что, с целью повышения микротвердости и 20 степени блеска покрытия, он дополнительносодержит мочевину и 2,2-дипиридил при следующем содержании компонентов, г/л:Хлористый палладий 10 - 30 Сернокислый аммоний 20 - 40 25 Мочевина 50 - 130Сахарин 0,3 - 0,8 2,2-Дипиридил 0,02 - 0,03. Источники информации,30 принятые во внимание при экспертизе 1. Вячеславов П. М. и др, Гальванотехника благородных и редких металлов, Л., Машиностроение, 1970, с. 150 в 1.35 2. Авторское свидетельство Мя 224243, кл.С 25 Р 3/50, 1967.