Промывочный состав

н) 565638 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК ПАТЕНТУ Союз СоветскиХ Социалистических Республик(22) Заявлено 03.03,75 (21) 2113540/10 51) М. Кл, С ОЗС 5/30 иоритет - (32) 04.03.74 23) Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретенийи открытий) Авторы изобретения Иностранцы Такезо Сано и Акихиро фурута(Япония) Иностранная фирма митомо Кемикал Компани Лимитед1) Заявитель 4) ПРОМЫВОЧНЫЙ СОСТА Изобретение относится к фотографическим способам и процессам.Известны промывочные составы на основе водных растворов щелочей с гидроокисным натриевым основанием, а также неиногенные поверхностно-активные соединения в составе 7% раствора едкого калия 11.Недостатком известных составов является токсичность и малая эффективность процесса.С целью уменьшения токсичности с одновременным увеличением эффективности процесса предлагаемый промывочный состав содержит алюминат щелочного металла концентрации 0,01 - 5 вес. %.Такой состав обеспечивает промывку после экспозиции фоточувствительных полимерных пластин с поверхностным слоем из фоточувствительной полимерной композиции. При промывке происходит удаление с неэкспонированных частей пластины фоточувствительной полимерной композиции.Особенно эффективен этот состав для промывки смол с низким кислотным числом, например таких, как ненасыщенные полиэфиры в высокой степени полимеризации.В качестве примеров водорастворимых алюминатов щелочных металлов можно привести такие соединения, как алюминат лития, алюминат натрия, алюминат калия и так далее. В промывочный состав водорастворимыеалюминаты щелочных металлов входят в количествах примерно от 0,01 до 5 вес. %. Если концентрация алю мин ата ниже указанного дела (0,01 вес. %), то промывочные свойства существенно ухудшаются. Если концентрация алюмината превышает 5 вес, %, то это мало сказывается на эффективности раствора по сравнению с той, которой обладает состав с 10 5 вес. % и менее.При необходимости в промывочный составможет входить любое поверхностно-активное вещество в количестве примерно от 0,01 до 5 вес. %. В присутствии поверхностно-актив ного соединения эффективность промывки резко увеличивается, особенно в тех случаях, когда компонентом смолы в фоточувствительной полимерной композиции является ненасыщенный полиэфир с низким кислотным числом.20 Практическое использование и предпочтительные варианты применения предлагаемого промывочного состава иллюстрируются в приведенных ниже примерах, в которых части процента являются весовыми.25 П р и м е р 1. На поверхность железной пластины ЗООХ 400 мм наносят фоточувствительную полимерную композицию, в состав которой входят ненасыщенный полиэфир - продукт конденсационной полимеризации фума565638 25 Формула изобретения Составитель Л. ТепловаТекред М. Семенов Корректор Л. Котова Редактор Т, Янова Заказ 1657/7 Изд. Юе 595 Тираж 585 НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 45Подписное Типография, пр. Сапунова, 2 ровой кислоты, изофталевой кислоты и диэтиленгликоля в молярном отношении 2:1:3 и обладающий кислотным числом 30 (65 ч.), триэтиленгликольдиметакрилат (35 ч,), бензоинметиловый эфир (1 ч.), и гидрохинон (0,1 ч.), образуя слой толщиной 0,6 мм, В результате образуется фоточувствительная полимерная пластина,На полученный слой фоточувствительной полимерной пластины накладывают негатив, который сверху прижимают стеклянной пластиной. При экспозиции пластину освещают десятью ультрофиолетовыми флюорисцентными лампами в течение 3 мин. Экспонированную поверхность подвергают душевой промывке (примерно 2 мин) однопроцентным водным раствором алюмината натрия. Раствор подают через 40 сопел под давлением 3,5 кг/см. Промывочный состав объемом 50 л используют для двадцатикратной обработки, причем осадок эффективно отделяется фильтрованием.П р и м е р 2. На поверхность железной пластины ЗООХ 400 мм наносят в виде слоя толшиной 0,8 мм фоточувствительную полимерную композицию, состоящую из сополимера метилметакрилата и метакриловой кислоты 7:3 в молярном отношении (70 ч.),триэтиленгликольдиметакрилата (ЗО ч.), бензоинметилового эфира (0,3 ч.), гидрохинона (0,03 ч.) и ацетона (100 ч.). Пластину выдерживают в течение ночи для выпаривания ацетона, в ре. зульт 4 те образуется ,фоточувствительная полимерная пластина,На поверхность фоточувствительной ,полимерной пластины помещают негатив, а сверху - стеклянную пластину. При экспозиции пластину освещают десятью ультрафиолетовыми флюорисцентными лампами в течение 3 мин. Экспонированную поверхность подвергают (примерно в течение 2 мин) душевойпромывке однопроцентным водным растворомалюмината натрия, причем этот промывочныйсостав подают через 40 сопел под давлением5 3,5 атм. Промывочный состав используют дляпромывки 20 пластин, при этом он имеет хорошую эффективность,Сравнительный пример. Фоточувствительную полимерную пластину приготовляют и10 экспонируют способом, описанным в примере 1. Экспонированную поверхность фоточувствительной полимерной пластины подвергают душевой промывке однопроцентным водным раствором карбоната натрия, причем раз 15 брызгивание раствора осуществляется через40 сопел под давлением 3,5 атм. Более трехминут требуется для завершения промывки,отмечается прилипание смолистых веществ наэкспонированных участках поверхности.20 Таким образом, промывочные свойства промывочного состава недостаточно удовлетворительны, Остаток отделяется с трудом и промывочный состав остается мутным. Промывочный состав на основе водных щелочных растворов, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью уменьшения токсичности с одно временным увеличением эффективности процесса, он содержит алюминат щелочного металла концентрации 0,01 - 5 вес, . Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Обзоры по электронной технике вып. 2 (86) Б. В. Малин, Т. И. Эрез Основы фотолитографии в производстве интегральных схем, М., 1973, с. 24 - 25.