Автоколлимационный способ контроля качества отражательных реплик диффракционных решеток

ОП ИСАНИ Е ИЗОБРЕТЕНИЯ Р 1558242 Союз Советских Социалистических РеспубликТЕЛЬ СТВ свид-ву2333789/1 51) М. Кл. 6 02 В 5/18 аявлено 16.02,76 ( присоединением за Гасударстаенныи комитет Совета Министров СССР по делам изобретений и откоатии) Прорнгет Опубликовано 15.05,77. Бюллетень МеДата опубликования описания 01.08.7 53) УДК 535,421(088 2) Авторы изобретени) Заявител РОЛЯ ИОНН 54) АВТОКОЛЛИМАЦИОНН АЧЧСТВА ОТРАЖАТЕЛЬНЫХ Р РЕШЕТИ СПОСОБ КПЛИК ДИФРК Х быть отрашеток. твляс нее ража 161) Дополнительное к а Изобретение относится к технологическим процессам контроля деталей спектральных оптических приборов и может быть использовано для контроля качества отражательн(х реплик дифракционн(х решеток, имеющих в(- пуклую форму.Известны способы контроля вогнутых отражательных дифракционных решеток, когда на них направляют расходящийся пучок лучей и используют в качестве объектива саму вогнутую решетку.Известный автоколлимационн(й способ контроля плоских дифракционных решеток в параллельном пучке является наиболее близким к предлагаемому изобретению.Однако известные способы не могут использованы для контроля выпуклых жательных реплик дифракционных ре Контроль качества таких реплик осущес ется путем проверки качества снятых вторичных реплик в виде вогнутых от тельных решеток.Для упрощения контроля и повышения точности измерения реплик выпуклой формы в известном автоколимационном способе контроля отражательных плоских дифракционн(х решеток путем измерения расстояния между спектральными линиями с применением вспомогательного объектива, входную спектральную щель смещают из фокальной плоскости в 5 10 15 20 75 направлении от объектива и направляют на реплику сходящийся пучок лучей с числовой апертурой от 0,05 до 0,2, вершину реплики совмещают с оптической осью объектива и наклоняют ее на угол от 5 до 45 к этой оси, после чего передвигают реплику вдоль оптической оси до получения резкого автоколлимационного изображения.На чертеже показана схема, поясняющая предлагаемый способ.Входную спектральную щель 1 смещают из фокальной плоскости в направлении от вспомогательного объектива 2. Щель освещают при помощи источника 3, имеющего линейчат(й спектр излучения, через конденсор 4, Расходящийся световой поток, выходящий из щели 1, преобразуют объективом 2 в сходящийся и направляют на выпуклую реплику 5 дифракционной решетки. Числовая апертура сходящегося пучка лучей от 0,05 до 0,2. Вершину реплики 5 совмещают с оптической осью объектива 2 и наклоняют к этой оси на угол ь. Величину угла наклона выбирают в пределах от 5 до 45, так чтобы обеспечить получение автоколлимационного хода лучей в соответствии с формулой 2 з 1 па=лКЛ, где а - угол между нормалью к решетке и оптической осью объектива, равный тр; Х - длина волны источника излучения; К в порядок спектра; Ж - число штрихов на 1 мм проверяемой решетки,558242 тавитель В. ВанториТекред М. Семенов едактор И. Шубинаказ 1999/18ЦНИИП рректор Н, Аук Изд, Мв 455 сударственного коми по делам изобретен 35, Москва, Ж, РПодппспоистров СССР Тираж ета Совета М ий и открытий аушская наб.,Типография, пр. Сапунова 3После этого реплику 5 передвигают вдоль оптической оси объектива до получения резкого автоколлимационного изображения спектральных линий. Измерение ширины этих линий производят, например, с помощью микроскопа 6. Для удобства наблюдения щель 1 и ее спектральное изображение разносят по высоте. Подбир ают две спектр а льны е л и н и и, соответствующие пределу разрешения, и измеряют расстояние между ними с помощью микроскопа 6 (или путем фотографирования полученных спектров). По измеренному расстоянию вычисляют разрешающую способность реплики, исходя из которой определяют качество дифракционной решетки.Величина аббераций поперек щели в плоскости резкого автоколлимационного изображения спектра для одного из возможных вариантов выполнения схемы, реализующей предложенный способ при числовой апертуре лучей, направляемых на выпуклую реплику, равной 0,1, не превышает 0,01 мм. Указанная величина аббераций получена при установке в схему выпуклых реплик дифракционных решеток с У=75 - 200 штр/мм и радиусом кривизны 250 мм.Применение предложенного способа позволяет упростить контроль качества выпуклых реплик дифракционных решеток, который ранее производился путем проверки качества снимаемых с них вторичных вогнутых реплик и улучшить качество получаемого автоколлимационного изображения спектра. В результа те этого повышается точность измерения разрешающей способности, исходя из которой определяется качество дифракционных решеток, и уменьшается процент выхода брака при изготовлении вторичных реплик.10 Формула изобретения Автоколлимационный способ контроля качества отражательных реплик дифракционных 15 решеток путем измерения расстояния междуизображениями спектральных линий через вспомогательный объектив, о т л и ч а ю щ и йся тем, что, с целью упрощения контроля и повышения точности измерения реплик вы пуклой формы, входную спектральную щельсмещают из фокальной плоскости в направлении от объектива и направляют на реплику сходящийся пучок лучей с числовой апертурой от 0,05 до 0,2, вершину реплики совме щают с оптической осью объектива и наклоняют ее на угол от 5 до 45 к этой оси, после чего передвигают реплику вдоль оптической оси до получения резкого автоколлимационного изображения,