Испаритель для нанесения многокомпонентных пленок

Номер патента: 544711

Авторы: Вигдорович, Долидзе, Ухлинов, Якашвили

ZIP архив

Текст

) Заявлено 30,07.75 (21) 2164584/21 51) М.Кл. С 23 С 1 с присоединением заявкиГосударственный комите Совета Министров ССС по делам изобретенийи открытий(23) ПриоритетОпубликовано 30.01.77, Бюллетень4 Дата опубликования описания 15.02.77 53) УД 1 К 621,52:139,23, Долидзе, Д. В. Якашвили, В. Н, Вигдорович и Г. А. Ухлинов 1) Заявител Институт кибернетики АН Грузинской СС(54) ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ НАНЕСЕН МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ ПЛЕНО 1Изобретение относится к технологии получения тонких пленок и может найти применение в микроэлектронике для получения пленок сплавов и соединений заданного состава.Получение тонких пленок сплавов и соединений методом резистивного испарения в вакууме связано со значительными трудностями в связи с тем, что при испарении исходного материала происходит его разделение на отдельные компоненты, улетучивающиеся с различными скоростями, определяемыми их парциальными упругостями паров. На поверхности подложки при их конденсации получается пленка, имеющая сложно изменяющийся состав по толщине.Известны устройства для получения пленок сплавов заданного состава одновременными испарениями составляющих из разных источников.Однако применение этих устройств связано со значительными трудностями, вызванными необходимостью регулирования и поддержания испарения отдельных компонентов для получения на подложке пленки материала заданного состава.Известен испаритель, содержащий тигель, разделенный перегородками из материала тигля на коаксиально расположенные секции, число которых равно числу испаряемых компонент, и нагреватель, поддерживающий заДля обеспеданного сосения секций с требуемым лений па ов данную температуру испарения.чения стабилизации конденсата затава на подложке поперечные сечтигля выбраны в соответствии5 соотношением парциальных дав РкомпонентИзвестный испаритель содержит секции, поперечные сечения которых должны с высокой точностью соответствовать требуемым соотно шениям парциальных паров компонент, чтозатрудняет применение этого устройства в связи со сложностью его изготовления с требуемой точностью.Целью изобретения является получение пле нок заданного состава.Это достигается тем, что в испарителе длянанесения многокомпонентных пленок, содержащем тигель из тугоплавкого материала и нагреватель, тигель выполнен в виде пакета 23 закрытых с одного конца капиллярных трубокс диаметром, обеспечивающим подавление конвективного перемешивания расплава.На чертеже показан предлагаемый испаритель.25 Нагреватель 1 состоит из коаксиально расположенных цилиндрических печек, пространство между которыми занимает тигель 2. Такая конструкция нагревателя обеспечивает равномерный подогрев тигля до нужной тем- зО пературы. Тигель представляет собой связку644711 Формула изобретении Составитель П, Лягни Корректор Л, Брахнина Техред Л, Гладкова Редактор Е, Караулова Заказ 126/15 Изд.156 Тираж 1124 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 с одного конца запаянных трубочек диаметром, при котором конвективное перемешивание расплава подавлено.При включении нагревателя сплав нужного состава, помещенный в тигель, расплавляется и при достижении определенной температуры начинает испаряться. Спустя некоторое время после начала испарения (время переходного процесса), в расплавах устанавливается стационарное состояние, обеспечивающее их,конгруэнтное испарение. Испаритель для нанесения многокомпонентных пленок, содержащий тигель из тугоплавкого материала и нагреватель, отличающийсяся тем, что, с целью получения пленок заданного состава, тигель выполнен в виде пакета закрытых с одного конца капиллярных трубок с диаметром, обеспечивающим по давление конвективного перемешивания расплава.

Смотреть

Заявка

2164584, 30.07.1975

ИНСТИТУТ КИБЕРНЕТИКИ АН ГРУЗИНСКОЙ ССР

ДОЛИДЗЕ ГИЗО ФЕДОРОВИЧ, ЯКАШВИЛИ ДЖЕМАЛ ВЛАДИМИРОВИЧ, ВИГДОРОВИЧ ВАЛЕНТИН НАУМОВИЧ, УХЛИНОВ ГЕРМАН АЛЕКСАНДРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: C23C 13/12

Метки: испаритель, многокомпонентных, нанесения, пленок

Опубликовано: 30.01.1977

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-544711-isparitel-dlya-naneseniya-mnogokomponentnykh-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Испаритель для нанесения многокомпонентных пленок</a>

Похожие патенты