Способ получения покрытий из тугоплавких металлов и их карбидов

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ и) 533672 Союз Советских Социалистических Реслт 6 ликГосударственный комитет Совета Министров СССло делам изобретенийи открытий 53) УДК 621,793,1) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ТУГОПЛАВКИХ МЕТАЛЛОВ И ИХ КАРБИДОВталла на дополнительщей температур на ратуры осаждения посколь в по о пер крытии. ед оса- нцтельое васа галоокрытия с ма высокой чисто покрытии,ой смеси,Изобретение относится к области получения покрытий из тугоплавких металлов и их карбидов термическим разложением парогазовой смеси на нагретой подложке.Известен способ получения покрытий из тугоплавких металлов в протоке парогазовой смеси восстановлением газообразных галогенидов металлов, заключающийся в том, что по длине изделия постепенно повышают температуру в направлении потока парогазовой смеси 11.Существенным недостатком этого способа является получение покрытий с повышенным содержанием примесей и недостаточной чистотой поверхности, особенно на изделиях, расположенных со стороны входа парогазовой смеси.Наиболее близким к предлагаемому техническому решению является способ получения покрытий пз тугоплавких металлов и их карбидов путем восстановления водородом газообразных галогенидов металлов па нагретой подложке 2. Недостатком этого способа также является наличие сравнительно высокого количества примесей кислорода, азота, углерода - в случае получения карбидных покрытий.Предлагаемый способ отличается от известного тем, что перед осаждением покрытия проводят предварительное восстановление- 40 о/, галогенида мен й подложке, имею100 - 200 С ниже темпекрытия,5 Это отличие позволяет в не ко разуменьшить содержание примесейСпособ заключается в том, чтждением основного покрытия на допол ной подложке проводят предварительн 10 становление 10 - 40% общего количествгенида металла.В процессе предварительного восстановления галогенида ооразуются слои металла или карбида с повышенным содержанием приме сей. Вследствие пониженной температуры образование покрытий в этой зоне идет с малыми скоростями. Скорости же окисления и нитрирования тугоплавких металлов цлц карбидов достаточно высоки. Здесь же улавли ваются твердые частицы окислов, оксцгалогенидов, углерода, являющиеся источником шероховатости поверхности покрытых изделий.После этого очищенную парогазовую смесьподают в зону, где размещены покрываемые 25 изделия.Способ позволяет получать плым содержанием примесей итой поверхности.Снижение скорости образования30 обусловленное обеднением парогазов533672 Формула изобретения Составитель Л. КазаковаРедактор Е. Шепелева Техред В. Рыбакова Корректор Е. Хмелева Заказ 2358/11 Изд х 1 о 144 Тираж 1068 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Лс,-35, Раушская наб., д. 4/5Типография, нр Сапунова, 2 незначительно влияет на производительность процесса, поскольку требуемые толщины покрытия невелики.П р и м е р 1. На внутреннюю поверхность труб Я 25 мм из сплава ВМ 1 Д наносили молибденовое покрытие из смеси МоРв с водородом, Покрываемые изделия нагревали до 900 С. Исходную парогазовую смесь предварительно пропускали над поверхностью медной трубки, нагретой до 750 С, после чего ее направляли для нанесения покрытия на изделия.Скорость потока парогазовой смеси выбиралась с таким расчетом, чтобы на медной трубке восстанавливалось 10 - 40% фторида молибдена от его количества, содержащегося в исходной газовой смеси.Сравнительные данные по содержанию примесей в молибдене покрытия, полученном по известному и предлагаемому способам, показывают, что содержание 1 х 1, О, С, Мд, % снижается при использовании предлагаемого способа в 3 - 6 раз.При мер 2. Наносили покрытие из карбида циркония на трубчатые изделия, выполненные, например, из карбида циркония, пирографита, карбидографита и молибдена.Процесс осуществляли на установке косвенного нагрева. Покрываемые изделия размещали на специальных подвесках, к нижней части которых крепились графитовые решетки со смещенными отверстиями. Расположение изделий на подвеске и установка подвески в реактор производились таким образом, чтобы решетки находились в зоне, где температура равна 1400 в 14 С, а сами изделия 5 находились в зоне с температурой 1550 С.В результате на графитовых решетках осаждается покрытие, обогащенное примесями, а на поверхности деталей осаждается покрытие из карбида циркония почти свободное от 10 включений посторонних элементов. 15 Способ получения покрытий из тугоплавкихметаллов и их карбидов путем восстановления газообразных галогенидов металлов на нагретой подложке, отличающийся тем, что, с целью уменьшения содержания примесей 20 в покрытии, перед его осаждением проводятпредварительное восстановление 10 - 40% галогенида металла на дополнительной подложке, имеющей температуру на 100 - 200 С ниже температуры осаждения покрытия.25 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе.1. Авт, св. СССР Мо 311983, С 23 С 11/00,21.02.68.30 2. Осаждение из газовой фазы под ред.К, Пауэлла и др Атомиздат, М., 1970,с. 321, 453,