Способ изготовления оксидного катода

(22) Заявлено 05.04,74 (21) 2012774/25с присоединением заявки Ме(23) ПриоритетОпубликовано 30.08,76. Бюллетень ЛЪ 32Дата опубликования описания 24.08.76 51) М. Кл.- Н 011 9/ Гвсуаарствениый квмите Сввета Министров СССР53) УДК 621,3,032,213,6 (088.8) ае аелам изобретений крытии(71) Заявител 54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОКСИДНОГО КАТОДА щей хорошей адгез сионным покрытиемЦель изобретения гсзии эмиссионного гоплавкого металла. тей с керном, по не эми состоит в улучшении адпокрытия с керном из туИзобретение относится к области электронной техники, в частности, технологии изготовления оксидных катодов с кернами из тугоплавких металлов, применяемых в электровакуумных приборах.5Известен способ изготовления оксидного катода, по которому на молибденовый керн наносят тугоплавкий порошок, например, Ю толщиной 5 - 10 мкм и припекают к керну при температуре 700 С, Затем одним из существу ющпх способов наносят эмиссионное вещество 1. Недостатком этого способа является слабая адгезия эмиссионного покрытия с керном при работе прибора, приводящая к растрескиванию и отслаиванию эмиссионного по крытия и, как следствие, появлению коротких замь 1 каний и токов утечек между сеткой и катодом.Известен также способ изготовления оксидного катода, включающий нанесение и спека ние двух слоев тугоплавкого металлического порошка на керне из тугоплавкого металла, например вольфрама, и заполнение образовавшейся губки эмиссионным материалом /2/. Этот способ позволяет получить необходимую 25 толщину пористого материала, но не обеспечивает высокую адгезию эмиссионного вещества с керном катода, так как спекание обоих слоев при одинаковой температуре приводит к получению общей монолитной губки, обладаю- ЗО Поставленная цель достигается тем, что второй слой металлического порошка спека ст при температуре на 400 - 700 С ниже тсмпературы спекания первого слоя.Первый слой припекают в атмосфере сухого водорода при температуре 1700 С, которая обеспечивает хорошую адгезшо с керном. Второй слой припекают в вакууме при темгспатуре 1000 в 13 С,Температура припекания второго слоя выбрана из условия, чтобы степень его спекания позволила получить подвижный пористь;й слой с малой усадкой порошка, а наличие пор увеличило бы глубину проникновения эмиссионного вещества в поры второго слоя, в результате чего, с одной стороны, второй слой хорошо спекается с первым, с другой стороны, улучшается его адгсзия с эмиссионным веществом. Спекание второго слоя при более низкой температуре нарушает его адгезию с первым слоем, спекание при более высокой температуре приводит к уменьшению его пористости и ухудшению адгезии с эмиссионным покрытием.526969 Фор мула изобретения Составитель А. КиселевТех сед А, Камы шни кона Корректор О. Тюрина Редактор Н. Коляда Заказ 1793,15 Изд. ЛЪ 1551 Тираж 953 Подписное ЦИИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4 5Типограп)пя, ир. Сапунова, 2 Яо Время температурных нагрузок па катод второй слой, обладая опредслеппой подвижностью, играет роль демпфирующсй прослойки и служит как бы компснсатором, спижаощим напряжение внутри эмиссионногопокрытия, что позволяет смягчить влияниеразницы в коэффициентах линейного расширения эмиссионного покрытия и керна катодаиз %, Мо, 1(е - материалов, коэффициенты термического расширения 1 КТР) которых существенно отличаются от коэффициента термического расширения оксидного покрытия.Слабая степень сцепления второго слоя спервым позволяет второму слою быть подвижным при деформациях керна и оксидного покрытия, имеющих место вследствие значительной разницы КТР материала керна и оксида,и предупреждать растрескивание и отслаивание оксидного покрытия.Результатом применения такого способа изготовления катода является хорошая адгезияэмиссионного покрытия с кергном катода, отсутствие отслаивания и растрескивания.Толщина 1:,аждого слоя СостаВляе 5 -10 мкм. 25П р и м ер, На внешнюю поверхность молиодснОВОГО ео;1 пачка методом 11 ульВеризацпинаносят первый слой вольфрамового порошкатолщиной 5 - 10 мкм и припекают в атмосфере сухого водорода при тев 1 пературс 1700 С В 30течение 10 мин, затем наносят второй слойвольфрамового порошка толщиной 5 - 10 мкми припекают в вакууме при температуре1000 - 1300 С в течение 15 мин,311 тсм на Второй слой ВольфрамОВСГО пор 01 п(а пул 1 верпзацие 1 Иапос 51 т эх 1 ссионное Вещсстго, После чего монтируется прибор.Катод, изготовленный по предлагаемому способу, обследован в приборах СВс 1-диапазона с малым временем готовности. Обслсдование показало, что растрескивание и отслаивание эмиссионного покрытия ликвидировано, а токи утечки и короткие замыкания в проме)кутке сетка-катод значительно сни)кены по сравнению с катодами текущего производства, изготовленными по известному способу. Стабил);ность других параметров, в частности то(а эмпссии ода, так)кс улучшена. Опособ изготовления оксидного катода, Вкл)очаОци 1 Нанесение и спекание двух слосп ту)оплавкого металлического порошка на ксрне из тугоплавкого металла, например вольфрама, и заполнение образовавшейся губки эмиссионным материалом, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью улучшения адгсзии эмиссионного материала с керном, второй слой меГал(п 1 СскОГО порошка с.1 скаюГ П 1)и температуре 400 - 700 С пижс температуры спекания ПСОВОГО СЛ 05.Источники Информации, принятые во внима. Н 11 с при экспсртпзе:1. Патент СШ.т., М 3400294, кл. 313 в 3 от 3. 09. 68.2. Патент Англии, М 827150, кл. 39 11) от 3. 09. 58.