Способ изготовления диафрагм

Номер патента: 524257

Авторы: Мартынов, Серюгин

ZIP архив

Текст

Союз Советских Социалистических Республик(61) Дополнительно (22) Заявлено 12.05.7 с присоединением з (23) Приоритет (43) Опубликовано авт, свид-ву 21) 2022081/ 0133 вк Государственный комитет Совета й 1 инистров СССР по делам изооретений и открытий(45) Дата опубликован писания 15.1) Заявител 54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИАФРАГ створимой сахара со Изобретение относится к области электроннои микроскопии и может быть использовано в процессе электронно-микроскопических исследований.Известен способ изготовления диафрагм из медной ленты 11, заключающийся в накалывании металлической ленты тонкой иглой с последующим химическим растравливанием отверстия до нужного размера, Однако способ является трудоемким и не позволяет получать маленькие отверстия правильной круглой формы.Наиболее близким прототипом является способ изготовления дифрагм 2), включающий последовательное напыление в вакууме на подложку растворимой в воде и металлической пленок. Однако способ не позволяет получить диафрагмы размером менее микрона и является достаточно трудоемким, так как требует сложного препарирования.Целью изобретения является получение диафрагме отверстием правильной крутлой формы диаметром порядка 0,5-60 мкм.Для достижения цели в качестве ра пленки на подложку наносят пленкускоростью более 1000 А /сек.Осуществляется способ следующим образом.На гладкую, например стеклянную, подлож ку в вакууме осаждают,: большой скор с 1 ьн.1000 А/сек) тонкую пленку сахара. При больших скоростях испарения на пленке сахара образ ются островки иглообразной формы, Затем на пленку в 5 вакууме не выше 5,10 тор осаждают металл лотолщины 30-60 мкм, Из-за наличия островков в форме игл конденсирующаяся на пленке мет;бл;и- ческая пленка получается "дырчатой" с отвсрсп 1.ями. Толщина 30-60 мкм нанесенной мета.1. шче ской пленки является оптимальной. Оп тп.б.яяьная величина скорости осаждения метал,п 200-300 А /сек. В металлической пленке, осажденной при оптимальных скорости и толщине, получается широкий набор круглых отверстий диаметром 15 от 0,5 до 60 мкм. Во время испарения металла-5вакуум необходимо поддерживать не выше 5,10 тор, так как в более глубоком вакууме металлическая пленка получается напряженной и сворачивает - ся прн последующем ее отделении от подложки в 20 воде. Отделенная металлическая пленка помещается на пластинку из полированного оргстекла. Далее на столике микроскопа, например, МБСпроизводится отыскание отверстия нужного диаметра, его центровка в пробойничке и вырезание диафрагм мы с найденным отверстием в центре.524257 Составитель Б. КалинТехред Н, Андрейчук Корректор Б,Югас Редактор Н, Вирко Заказ 5000/378 Тираж 977 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб д. 4/5Филиал ППППатент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Формула изобретения Способ изготовления диаФрагм, включающий последовательное напыление в вакууме на подложку растворимой в воде и металлической пленкой, о т - л и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью получения диаф - рагм с отверстиями правильной круглой формы диа - метра порядка 0,5 - 60 мкм, в качестве растворимой 4пленки наносят пленку сахара со скоростью более(1000 А/сек).Источники информации, принятые во вниманиепри экспертизе:1. Алейников Ф, К., Каталинас Р, Ю. "Завод -ская лаборатория", ХХХ 1 У, У 7, 1967 г., 897.2, д,РЬЧЬ Е. Ьс 1,3 ивттцтгт, 1971,4,У 8,609-610 - прототип,

Смотреть

Заявка

2022081, 12.05.1974

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8851

МАРТЫНОВ ИВАН СТЕФАНОВИЧ, СЕРЮГИН АЛЕКСАНДР ЛЕОНИДОВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01J 37/26

Метки: диафрагм

Опубликовано: 05.08.1976

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-524257-sposob-izgotovleniya-diafragm.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления диафрагм</a>

Похожие патенты