Способ компенсации астигматизма электромагнитных линз

о и -е"-мн:и-е ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз СоветскихСоциалистицескихРеспублик(45) Дата опубликования описания 15.1.76осударстеенный номнтетСовета й 1 нннстров СССРпо делам изобретенийн откратнй) Авторыизобретения елев и А. М, Климовицкий 1) Заявител 54) СПОСОБ КОМПЕНСАЦИИ АСТИГМАТИЗМА ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ ЛИНЗ ЭЛЕКТРОННО - ЛУЧЕВЫХ ПРИБОРОВпенсации астигматизма электроонно - лучевых приборов, заклю 5 орректирующего поля на по -магнитных линз элек Чзобретение относится к электронной микроскопии и может быть использовано в электронно-лучевом приборостроении.Известен способ ком чающиися в наложении кле линзы 11,Однако трудности при визуальном определенииутла разворота корректирующего поля относительно направления астигматизма снижают точность Ооперации и увеличивают ее трудоемкость.Наиболее близким по технической сущностиявляется способ компенсации астигматизма электромагнитных линз электронного микроскопа 21,заключающийся в наложении корректирующего по нля на поле электромагнитной линзы и осуществляемый путем визуального наблюдения на экранемикроскопа дифракционной камеры при дефокусировке линзы, определения направления астигматиз.ма по разрывам каймы и наложения корректирующего поля с последующим его разворотом относительно поля линзы до компенсации астигматизма. Однако для обеспечения точности операцию поопределению угла разворота корректирующего поля относительно направления астигматизма необходимо производить несколько раз, причем в условиях слабой освещенности, что требует достаточно много времени.Цель изобретения . увеличение точности и скорости компенсации астигматизма.Достижение цели осуществлено тем, что направ. ление корректирующего поля вначале совмещают с направлением астигматизма электромагнитной линзы, а затем разворачивают корректирующее поле на угол 90 .Предлагаемый способ компенсации астигматизма электромагнитных линз осуществляется следуюшим образом.Электрический ток в обмотках стигматора устанавливают равным нулю, затем определяют направление астигматизма электромагнитной линзы, например объективной линзы. После этого направление астигматизма линзы совмещают с направлением астигматизма, вносимого полем стигматора. При этом по обмоткам последнего пропускают постоянный ток максимальной величины, что увеличивает размер дифракционных колец и облегчает определение направления астигматизма, вносимого стигматором. При совмещении направлений астиг524256 Составитель В. КалинТехред Н Андрейчук Корректор Б. Югас Редактор Н, Вирко Заказ 5000/378 Тираж 977 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проекная, 4 магизма линзы и стигматора можно использовать дефекты объекта или экрана - это позволяет осуществить более точное совмещение. Затем в обмотках стигматора изменяют направление электрического тока на противоположное, в результате чего направление астигматизма, вносимого стигматором, автоматически и с высокой точностью разворачиваоется на угол 90 по отношению к направлению астигматизма линзы. Изменяя величину электрического тока, проходящего по обмоткам стигматора, полностью компенсируют астигматизм линзы. Формула изобретенияСпособ компенсации астигматизма электромагнитных линз электронно-лучевых приборов, заключающийся в наложении корректирующего поля на поле линзы, отличающийся тем, что, с целью увеличения точности и скорости компенсации, направление корректирующего поля вначале совмещают с направлением астигматизма электромагнитной линзы, а затем разворачивают корректирующее поле на угол 90 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1, Техническое описание и.инструкция по эксплуа - тации электронного микроскопа УЭМВ - 100 К, 1969 г.2, Техническое описание и инструкция по эксплуа - тации электронного микроскопа ЕМ - 7 А, стр, 27, 1968.