Способ получения слоев ферромагнитной сульфошпинелей

Союз Советских Социалистических Республик,иГосударстееииыи комитет Совета Мккистрав СССР ло делам изобретенийи открытий(088 8) публиков 30.06,76, Бюллетень2 та опубликования описания 17.09,76(54) СПОСОБ ПО РРОМАГНИТНОЙ ЧЕНИЯ СЛОЕВЛЬФОШП И НЕЛИ 45 - 50 ил выше стацовке марки Изобретение относится к способу получения ферромагнитных слоев сульфидов, в частности СдСг 54, которые могут быть использованы в полупроводниковой электронике.Известен способ получения слоев ферромагнитной сульфошпи нели обшей формулы АСгз 5 где А=Мп, Ге, Со, Сп, Хп, осаждением их ца нагретой подложке при испарении исходного материала в вакууме с последующим отжигом. Слой осаждают ца ориентированных подложках ХаС 1.С целью получения слоев состава СдСгз 34 по предложенному способу в качестве исходного берут синтезированный материал состава СдСгзЯ, осаждение ведут на подложку, нагретую до 395 - 405 С при изменении температуры испарения от 700 до 2000 С в течение двух-трех минут, а отжиг ведут в атмосфере серусодержащего газа, например, Н,Я, при 695 - 705 С в течениедвух-трех часов. Осаждецие ведут преимущественно на подложку из сапфира или алюмомагниевой шпинели,Г 1 р и м е р: 0,015 г порошка шпинели СдСга 34 распределяют тонким слоем на поверхности испарителя из пирографитовой пкани,Подложку из монокристаллического ориентированного сапфира с полированной и очищенной поверхностью помещают в графитовый термостат с температурой 395 - 405 С. Г 1 оверхВ ре чают те щие зад 25 упорядо отжиг п цевом р 705 С и дают в 30 Толщрения полу- слои, имеюио плохо оследующий асов в квар- Я при 695- ктор охлаж- равн а 0,5+ 72) Авторы изобретения С, М. Григоро ность, подложки находитсяповерхности испарителяУВР - ЗМ. 5 По достижении вакуума Р-;.,10 -торр испаритель в течение двух минут нагревают до 700 С и повышают температуру от 700 до 2000 С с постоянной скоростью за две минуты. Этот диапазон скоростей нагрева испари теля является оптимальным по следующимпричинам. При малой скорости нагрева испарителя выше 700 С на подложку переносится сначала слой сульфида кадмия, а затем слой сульфида хрома, образующихся в результате 5 разложения шпинели. Поэтому последующийотжиг не обеспечивает получение однородного по толщине слоя шпинели. При большой скорости нагрева испарителя происходит выбрасывание частиц испаряемого вещества до их 20 полного испарения. зультате вакуумного испа мцокоричневые блестящие анный химичеокий состав ченную структуру. Их п роводят в течение двух ч еакторе в атмосфере Нз нормальном давлении. Реа режиме выключенной печи ина отожженного слоя519213 Формула изобретения Составитель В. БезбородоваТехред Е. Подурушина Корректор В. Гутман Редактор 3. Ходакова Заказ 833/1067 Изд. ЬЪ 1543 Тираж 864 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5+0,1 мкм. Данные электроннографического, рентгенофазового и рентгенофлуоресцентного методов анализа свидетельствуют о том, что после отжига слои обладают структурой и составом шпинели СЙСгз 34.5 Методом ЭПР устанавливают, что полученные слои характеризуются фазовым переходом ферромагнетик-парамагнетик при 84,5 К,10Удельное сопротивление при комнатной температуре составляет 104 в 1 ом см. Описанный способ позволяет ,получать с высокой производительностью субмикронные 15 слои шпинели Сс 1 СгЯ 4 на различных промышленных диэлектрических подложках, устойчивых к действию высоких температур и влаги. 1. Способ получения слоев ферромагнитной сульфошпинели осаждением их на нагретой подложке при испарении исходного материала в вакууме с последующим отжигом, отличающийся тем, что, с целью получения слоев состава Сг 1 Сг,54, в качестве исходного берут си 11 тезированный материал указанного состава, осаждение ведут на,подложку, нагретую до 395 - 405 С при изменении температуры испарения от 700 до 2000 С в течение двух-трех минут, а отжиг ведут в атмосфере серусодержащего газа, например, НЯ, при 695 в 7 С в течение двух-трех часов,2. Способ по п, 1, отл и чаю щи йся тем, что осаждение ведут на подложку из сапфира или алюмомагниевой шницели,