Способ получения диэлектрических слоев

(и)498665 ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Саоз Советских Социалистических Реслфгив(45) Дата опубликования описания 26.05.76 Государстве Совета Ииило делами отк ииыи коитет истров СССР 5 Зооретеи 51; раций621.382 (088.8) 72) Авторы изобретения А, Дро роздов, Ъ апенкоЕ. Глауберман, В,и Я. Л Одесский ордена Трудового Красного Знамениосударственный университет им. И. И. Мечникова(7 явитель 54) СПОСОБ ПОЛУЧЕИИЯ ИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СЛОЕВ Известны спосооы получения диэлектрических слоев пцроактпвациоццым разложениемпаров металлооргяццчсскцх соединений в вакууме или в цнерт 11 ой среде,Недостатком известных способов являетсянестерильность пиролцзцой технологии, Обрязцъ зягряз 11 яются различными примес 51 в 1 ц,прежде всего продуктами распада метяллоорганических соединений, Слои получают нефоточувствительнымц, с оольшим электронным 1 Осродством. О:.ц приме 1 яются главным образом в качестве высокоомных резистивцых покрытий.Целью изобретения является получениедостаточно толстых (несколько микрон) и однородных диэлектрических слоев щелочногалоидных соединений, электронная проводимость которых на 6 - 7 порядков превосходитих собственную ионную проводимость. Малоеэлектронное сродство этих материалов обеспечивает создание высокоэффективных эмиттеров и высококачественны:с барьерных систем.Кроме того, актцвированце диэлектриковметаллическими кластерами позволяет придавать им цовые полезные свойства, напримерфото- и электроупр авл яемость.Сущность изобретения заключается в том,что активированце пленок МЯС 1 (с определенным размером зерен-кристаллитов) металлическцми кластерами натрия проводится в результате катодцо-плазменной ооработк;1 с использованием кадмиевого катода.Согласно предложенному способу, технологический цикл изготовления образцов начиняот с термического напыления в вакууме - 10 -торр поликристаллцческой плсцкц МЯС 1 толщиной 0,1 - 3 тк с размерами отдельных зерен-кристаллитов 0,05 - 0,07 к. (указаный размер крцсталлитов можно реализовать, варьируя параметрь 1 напыления цле 1 кц либо подсирая нужный материал подложки). Плен ки такого типа получают напылением .слорцстого цатрия цз кварцевого тигля, нагретого до 950 С, ца обезжиренную стеклянную подложку при температуре 200 С со скоростью 1 яращцвацця плеки - 0,02 к.1,лин, Далее пленку подвергают кятодцо-плазменной обработке при температуре 180 С в яргоцо-кцслорздной атмосфере (смесь в пропорции 12: 1/2, р= 10- торр) с использованием кадмиевого катода, расположенного на расстоянии 5 сх от пленки ХЯС.Раоочий режим при стабильном разряде: Р = 1,5 кв;= 4 ма/слР; Л 1 = - 20 лиц,В результате получают тресбуемые пленки, гомоге;шые по типу окраски, в смысле содержания исключительно металлокластерных центров коллоидной дисперсности, что подтверждается измерениями оптического поглоИзд. М 188 Тираж 977 И Государственного комитета Совета Мин по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Подписов СССР к ип, Харьк. фил. пред. Патент щения образцов, при которых проявляется лишь, коллоидпая полоса абсорбции с максимумом у Х = 570 мклю, наличия центров иного типа (/г - , Я - , /1 Х - и т. д.) не обнаруживается.Предельные глубины кластеризации для пленок с другими размерами зерен приведены на чертеже.На чертеже видно, что размер зерна 0,05 - 0,07 лкл для КаС 1 является оптимальным для проведения с максимальной эффективностью процесса активирования 1 х 1 аС - пленки на наибольшу 1 с глубину (до 3 лклх). 1. Способ получения диэлектрических слоев, например, слоев хлористого натрия, путем активации в вакууме, о т л и ч а ю щ и йся тем, что, с целью достижения высоких значений электронной проводимости, данные слои активируют металлическими кластерами натрия посредством обработки низкоэнергети ческой плазмой катодного разряда в аргонокислородной атмосфере с использованием кадв 1 иевого катода, атомный пучок пз которого стимулирует формирование указанных кластеров натрия.102. Способ по п. 1 о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, для получения однородно активированных металлическими кластерами натрия слоев хлористого натрия толщиною до 3 л 1 кн, 15 применяют мелко диспергпрованные поликристаллические пленки хлорида натрия с заданными размерами кристаллитов 0,05 - 0,07 л 1 км, оптимизирующие условия формирования указанных кластеров натрия.