Способ получения диэлектрических пленок

Номер патента: 189902

Автор: Бородулин

ZIP архив

Текст

189902 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союа Ссветскит Социалистическит РеспуЬлик(088.8) Комитет по делам аоЬретений и открыти при Совете Министров СССР11,1966. Бюллетеньубликован Дата опубликования описания 30.1.196 ПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕН Способ получения д основанный ца термич кууме висмут-титацатн денни цх ца металлич ц полупроводниковые шийся тем, что, с цель емкости кондецсаторо риком, изготовленным соединений. и сниже электрических потерь качестве висмут-титан иэлектрических пленок, еском испарении в ваых соединений ц осажеские, диэлектрическиеподложки, отличаюю повышения удельной в с пленочным диэлектиз висмут-титацатных сия тангенса угла диу материала пленки, в атного соединения исИзвестные способы получения диэлектрических пленок, основанные на термическом испарении в вакууме висмут-титанатцых соединений и осаждении их на металлические, диэлектрические или полупроводниковые под ложки, не позволяют получать пленки с малыми тацгепсами угла диэлектрических потерь, что ведет к снижению удельной емкости конденсаторов, в которых использованы данные пленки. 10Для повышения удельной емкости конденсаторов с пленочным диэлектриком, изготовленным из висмут-титанатных соединений, и снижения тангенса угла диэлектрических потерь у материала пленки, предложено исполь зовать в качестве висмут-титанатного соединения твердый раствор феррита висмута типа (РЬ(Хг, Т 1 т,.) 0) "В 1 РеОДт, Его тонким слоем наносят на испаритель, изготовленный из тугоплавкого металла, нанесенный слой 20 расплавляют и образовавшееся защитное покрытие покрывают суспензией феррита висмута. Затем суспензию подвергают испарению, не допуская при этом испарения ранее нанесенного защитного покрытия, и осажденная 25 на подложку пленка доокисляется ца воздухе при 300 - 400 С в течение 0,5 - 2 час (температура и время зависят от толщины пленки).Тонкоизмельченный твердый раствор феррита висмута, смешанный со спиртом (су спензия), наносят на коническую вольфрамовую спираль или на испаритель из тугоплавкого металла и плавят при давлении около 10 с ллт рт. ст., повторяя операцию несколько раз до образования сплошного защитного покрытия. Затем посредством термического испарения при давлении от 10 - с до 210 с лм рт. ст. поверхностного слоя, образованного свежей суспецзией (це допуская испарения защитного покрытия), получают пленки. Пленки могут быть получены при быстром (около 5 сек) или медленном (порядка 7 яин) испарении суспецзии, в зависимости от требуемых диэлектрических свойс 1 в пленок и их толщины. Предмет изобретенияЗаказ 4203/7 Тираж 535 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений н открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, пр. Серова, д. 4 Типография, пр. Сапунова, д. 2 пользован твердый раствор феррита висмута типа РЬ(Лг, Т 1,) 0, В 1 РеОз 11 у, который наносят тонким слоем на испаритель, изготовленный из тугоплавкого металла, расплавляют нанесенный слой, покрывают образовавшееся на поверхности испарителя защитное покрытие суспензией феррита висмута, подвергают суспензию испарению, не допуская испарения ранее нанесенного защитного покрытия, и подвергают осажденную на подложку 5 пленку доокислению на воздухе при температуре 300 в 4 С в течение 0,5 - 2 час.

Смотреть

Заявка

1036332

В. Н. Бородулин Московский энергетический институт

МПК / Метки

МПК: H01B 19/00

Метки: диэлектрических, пленок

Опубликовано: 01.01.1967

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-189902-sposob-polucheniya-diehlektricheskikh-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения диэлектрических пленок</a>

Похожие патенты