Способ изготовления окисносвинцовых слоев

(51) М. Кл. Н 011 29/10 рисоединением заявкиГасударственные комитет Совета Министров ОКР по делам изобретенийи открытий(23) ПриоритетОпубликовано 30.11.75, Бюллетень44 Дата опубликования описания 24.02.76 53) УДК 621.385.832(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОКИСНОСВИНЦОВЫХ СЛОЕВ Изобретение относится к производству мишеней передающих телевизионных трубок типа видикон, используемых в вещательном и промышленном телевидении.Процесс изготовления мишени состоит в том, что термическим испарением РЬО наносится на стеклянную планшайбу, имеющую прозрачный электрод. После напыления слой РЬО подвергается различного рода обработкам, в частности обработке сероводородом, после которой мишень приобретаег чувствительность в длинноволновой области спектра.В производстве используется окись свинца, в которой нормируется только содержание примесей посторонних элементов. Содержание избыточного свинца и органических примесей не нормируется, Кроме того, при взаимодействии РЬО с углекислотой и влагой, содержащимися в воздухе, образуются гидрокарбонаты. При испарении РЬО избыточный свинец, содержащийся в исходном материале, а также возникающий в результате разложения гидрокарбонатов и выгорания органических примесей при вакуумном испарении РЬО, переносится в конденсат, приводя к неконтролируемому отклонению состава конденсата от стехиометрии и, как следствие, к произвольному значению дырок и электронов, что приводит, в частности, к низкому сопротивлению слоев. А, Калантаров, П. В. Ковтуненко , И, Л. Нестерова, Ю, В. Наумов, Р. М. Степанов и О. А. Тимофеев Вследствие этого видиконы с мишенью изокиси свинца имеют малую чувствительность,большие темновые токи, плохие характеристики хранения информации при работе в режи 5 ме памяти, большую невоспроизводимостьпо свойствам,Цель изобретения - улучшение качестваслоев путем управления содержанием избыточного свинца в слое, определяющем кон 10 центрацию носителей тока и тип проводимости.По предлагаемому способу это достигаетсятем, что исходное вещество для изготовленияслоев окиси свинца методом термического ис 15 парения подвергают в определенной последовательности двум термообработкам при температуре 300 в 8 С, причем первую проводятв атмосфере кислорода при давлении 10 --760 мм рт, ст., а вторую - в вакууме при дав 20 лении ниже 2 10 -мм рт. ст. Первая термообработка проводится передиспарением в атмосфере кислорода при давлении 10 вв 7 мм рт. ст. при температуре 25 300 - 880 С, Необходимость этой термообработки вызвана интенсивной сорбцией окисью свинца влаги, углекислого газа и органических примесей из воздуха при хранении и работе с веществом из ранее отработанной пар.30 тии.493836 Предмет изобретения Составитель Г, Жукова Текред Е, Подурушина Корректор М, Лейзерман Редактор Е. Караулова Заказ 177/12 Изд.2043 Тираж 833 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 13035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Типография, пр, Сапунова, 2 С помощью химического и масс-спектрального анализа показано, что содержание избыточного свинца в окиси свинца, подвергнутого описанной выше обработке, не превышает 10 - зо(Для регулирования содержания избыточного свинца непосредственно перед испарением проводится вторая термообработка окиси свинца при температуре 600 - 880 С в вакууме 2 10 -- 2 10 -мм рт, ст. в течение 0,5 - 5 час. С ростом температуры термообработки от 300 до 880 С содержание избыточного свинца возрастает от 10 -до 10 - %Проведение двух термообработок позволяет получить образцы видиконов, близкие по параметрам к требованиям цвегного телевидения. Введение термообработок при изготовлении видиконов, работающих в длинноволновой области спектра, приводит к повышению постоянной времени элементов мишени, резко снижает темновой тон, что позволяет применять их в малокадровых телевизионных системах с большим временем накопления, 5 Способ изготовления окисносвинцовых слоев, в частности, мишеней видиконов термичес ким вакуумным напылением, о т л и ч а ющийся тем, что, с целью управления содержанием избыточного свинца в слое, непосредственно перед термическим напылением проводят две термообработки окиси свинца в ис ходной навеске при температуре 300 в 8 С,причем первую проводят в атмосфере кислорода при давлении 10 вв 7 мм рт. ст вторую - в вакууме при давлении ниже 2 10 -мм рт. ст.