Ловицкая

Способ изготовления окисносвинцовых слоев

Загрузка...

Номер патента: 493836

Опубликовано: 30.11.1975

Авторы: Антонова-Афанасьева, Калантаров, Ковтуненко, Козлов, Ловицкая, Наумов, Нестерова, Орлов, Саксеев

МПК: H01J 29/10

Метки: окисносвинцовых, слоев

...- улучшение качестваслоев путем управления содержанием избыточного свинца в слое, определяющем кон 10 центрацию носителей тока и тип проводимости.По предлагаемому способу это достигаетсятем, что исходное вещество для изготовленияслоев окиси свинца методом термического ис 15 парения подвергают в определенной последовательности двум термообработкам при температуре 300 в 8 С, причем первую проводятв атмосфере кислорода при давлении 10 --760 мм рт, ст., а вторую - в вакууме при дав 20 лении ниже 2 10 -мм рт. ст. Первая термообработка проводится передиспарением в атмосфере кислорода при давлении 10 вв 7 мм рт. ст. при температуре 25 300 - 880 С, Необходимость этой термообработки вызвана интенсивной сорбцией окисью свинца влаги, углекислого...