Способ вытягивания монокристаллов из расплава

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ ащ 612ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявл 1) 1826296/23-26 8.0 с присоединением23) Приоритет явки0 7 1 осударстаенный ыокнтетСовота Инннстров СССРно донам нзооретеннйи отырытнй(088,8)ования описания 03.02,76 ервыка, И. К, Выдыш, ННосов,А. И. Печерица,Ч.К. П. Приварников С, Егорова,Н. Проскури Заявитель 54) СПОСОБ ВЫТЯГИВАНИЯ МОНОКРАСПЛАВА" ЛЛОВ ИЗ етение относится к получениюталлов преимущественно полупроых материалов вытягиванием из монокрводнико расплава.В известных способах вытягивания монокристаллов для равномерного распределения легируюшей примеси и уменьшения разброса удельного электросопротивления получаемых монокристаллов поддерживают постоянное положение уровня расплава в тигле относительно нагревателя либо путем перемещения тигля вверх, либо за счет опускания нагревателя со скоростью, соответствующей скорости перемещения уровня расплава.Однако перемещение тигля или нагревателя при помощи привода не обеспечивает достаточно плавного и непрерывного его движения, в результате чего полученные монокристаллы имеют значительный разброс электросопротивленти по сечению,Предложенный способ отличается тем, что тигель помещают в расплав одноименного с кристаллизуемым материала с загрузкой, количество которой достаточнодля установления более высокого уровнирасплава вне тигля.Это позволяет обеспечить в процессевытягивания более плавный самопроизволь ный подъем тигля и получить монокристаллы с меньшим разбросом электросопротивления по поперечному сечению.П р и м е р. Загрузку германия в количестве 2500 г с добавкой легирующего 10 элемента (сурьмы) помещают в тигель сдиаметром 130 мм, а последний - в тигель диаметром 165 мм, содержащий расплав германия.Под действием веса загрузки внутрен- И ний тигель погружается в расплав, находящийся во внешнем тигле так, чтоуровень расплава во внешнем тигле вышеуровти расплава во внутреннем. Опускаютзатравку в расплав, находящийся во внут реннем тигле, и начинают процесс вытягивания. По мереубывания расплава во внутреннем тигле он самопроизвольно поднима-ется, в результате чего уровень расплавав тигле сохраняет одинаковое положение Л относительно нагревателя. Процесс вытяСоставитель Т,фирсоваТехред И.Карандашова КорРектоР Тарасова РедактоР Ла Народная Заказ Я 4 Т Иаа. ар аррЦ, Тираж 788Подписное ЦНИИГ 1 И Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, 113035, Раушская наб., 4 Предприятие Патент, Москва, Г.59, Бережковская наб., 24 гивания прекращают при выравнивании уровней расплава в обоих тиглях.Выращенные монокристаллы имеют разброс удельного электросопротивления 3-5%. Предмет изобретения Способ вытягивания монокристаллов израсплава на перемещаемую вверх затравкффс поддержанием постоянного положенияуровня расплава кристаллизуемого материапе относительно негренетепн,титин не счет подъема тигля, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью уменьшения разброса электросопротивления по поперечному сечению получаемых монокристаллов вследствие более плавного самопроизвольного подъема тигля, тигель помешают в распла одноименного с кристаллизуемым материа.ла с загрузкой, количество которой доста О точно для установления более высокогоуровня расплава вне тигля.

Смотреть

Заявка

1826296, 08.09.1972

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3135

БЕССОНОВА НИНА ВАЛЕРЬЯНОВНА, ВЕРВЫКА АЛЕКСАНДР ВАСИЛЬЕВИЧ, ВЫДЫШ ИВАН КИРИЛЛОВИЧ, ЕГОРОВА НИНА СЕРГЕЕВНА, ЖЕМЧУЖИНА ЕЛЕНА АЛЕКСАНДРОВНА, НОСОВ ВЯЧЕСЛАВ ИВАНОВИЧ, ПЕЧЕРИЦА АРИК ИВАНОВИЧ, ПРОСКУРИН ПЕТР НИКИТОВИЧ, ПРИВАРНИКОВ КОНСТАНТИН ПЕТРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: B01J 17/18

Метки: вытягивания, монокристаллов, расплава

Опубликовано: 25.10.1975

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-488612-sposob-vytyagivaniya-monokristallov-iz-rasplava.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ вытягивания монокристаллов из расплава</a>

Похожие патенты