Устройство для замера уровня расплава в тигле

.Класс 40 а, 465 о ссср ОБРЕТЕНИ ВИДЕТЕЛЬСТВУ О ИСАНИЕ ИАВТОРСКОМУ Подпггснпя ярг 1 ггггп .1 го 15 г В, Н,аненк икит УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАМЕРА УРОВНЯ РАСПЛАВА В ТИГЛ Заявлено 26 октября 1959 г. за М и открытий и2137/22 в Комитет ио делам изобрсгснии Совете Министров СССР убликовано в Гголлетене изобрете,ниЬ Ле 14 за 1960 В сушествуюшей промышленной и лабораторной практике нет пригодных устройств и точных методов для измерения уровня расплаваметалла в тигле, удовлетворяющих высоким требованиям чистоты пр 11вытягивании полупроводных монокристаллов,Описываемое устройство позволяет контролировать уровень расплава в тигле с полупроводниковыги материалом и способствуетпредотвращению загрязнения расплава, так как определение положения уровня расплава и дача сигнала автоматизации управления процессом осуществлякгтся при помощи емкостного датчика расстояний,выполненного в виде плоского конденсатора, я не при помощи механического контакта датчика с расплавом.1-1 я чертеже схематически изображено пред:гагяемое устроЙство,обгцем виде.Одной из оокладок плоскогоконденсатора является расплав 1,другой - горизонтальная пластина 2, защищенная от воздействия паров расплава кварцевой прокладкой 3 (для случаев расплава тугоплавкнх полупроводников, подобны.; кремнию, реагирующих почти совсеми материалами, кроме некоторых окислов) и прикрепленная к вертикальному штоку 4, перемегцающемуся вдоль оси в вертикальном направлении при помоши реверсивного электродвигателя (стрелкогг Лотмечено направление к двигателю).Пластина изготавливается из графита пли тугоплавкого металла,например тантала, и,.ти из полупроводникового материала, аналогичного находящемуся в тигле. Токоподвод к пластине осуществляется припомощи гибкой, узкой танталовой ленты через вакуумные вводы Б, я кряспляву - через растущий кристалл 6 или же через конденсаторнуюпластину 7, аналогичную пластине 2. Со штоком жестко связан дер:катель 8 термопяры, предназначенной для замера температуры расплава и пе соприкасающейся с последним.Ло 139185При гизменении урозня раз;1.1 азь 1 меняется емкость конденсат 01)а, ЧТО 3 СВОЮ Оь 1 ЕРЕДЬ ВЫЗЫВ 11 ЕТ СИГНВЛ, КОТОРЫИ ПОДаЕТСЯ На ОДНУ ИЗ Оомоток, а 1 втОматически Включающих при этом дВига 1 ель. Последний выключается, когда емкость конденсатора приобретает первоначальное значение, Таким образом происходит регулирование процесл 1 вытягивания полупроводниковых монокристаллов,Преобразование изменения емкости в сигнал осушествляется по одной из широко известных радиотехнических схем,П редмет изобпетения1. Устройство для замера уровня расплава в тигле при вытягивании монокристаллов, о тл и ч а 1 о ш е е с я тем, что, с цельо устранения возможности загрязнения расплава, оно выполнено в виде плоского конденсатора, одной из обкладок которого является распив г, а другой - горизонтальная пластина, прикрепленная к вертикальному штоку, перемещающемуся вдоль оси в вертикальном направлении при помощи реверсивного электродвигателя, автоматически включаюшегося при изменении емкости конденст 1 тора, обеспечиваюшего поддержание ее постояиной.2. Устройство по п. 1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что Ра подвижной пластинке закреплена термопара, предназначенная для замера температуры расплава и не соприкасаюн 1 аяся с последним, Редактор Л, М. Струве Текред А, А. Камышникова Корректор Г, Е. КудрявцеваЗак. 5953 Цена 25 коп. 1 ирал 1 О Поди. к печ. 2.И 1-60 г. Формат бум. 70 Х 108/16 Объем 0,17 п. л. Информационно-издательский отдел Комитета по делам изобретений н открытийпри Совете Министров СССР, Москва, Центр, М. Черкасский пер., д. 2/6 Типография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Мпнпсгров СССРМосква, Петровка, 14.