Способ определения фазового состава тонких танталовых пленок
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
481822 Составитель Т,БОГдансва Редактор еСтЕНИНа ТехредКарандаШОВЖорректор Н,ЯуКЗаказ 3Изд,9 ЬЪ Тираж ОО 2 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, ЖРаушская набд. 4/5 ППП Патент" Москва, Г 59, Бережковская наб., 24 3тава полученйых пленок эталонный и ана-лизируемий обрарцы размещают рядом так,чтобы поверхность анализируемого иэталонного обращов находилась в полезрения;П р е д м е т и з о б р е т е н и я,Способ определения Фазового составатонких танталовнх пленок, основанннй на окислении пленок и сопоставлении цветов окисленннх пленок, о т л и ч а ющийся т ем, что, сцелью повышения точности определения, окисле ние проводят электрохимически, а цветаокисленннх пленок сопоставляют с цветами окисленных пленок контрольных образцов с заранее известным фазовым составом,
СмотретьЗаявка
1638963, 26.03.1971
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Х-5737
ДЯДЮН ЮРИЙ АНДРЕЕВИЧ, МАТУСЕВИЧ ЭДУАРД ИВАНОВИЧ, РЕЦЬ ВИТАЛИЙ КУЗЬМИЧ, ЧУДИНОВ ВИКТОР ИВАНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01N 21/00
Метки: пленок, состава, танталовых, тонких, фазового
Опубликовано: 25.08.1975
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-481822-sposob-opredeleniya-fazovogo-sostava-tonkikh-tantalovykh-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения фазового состава тонких танталовых пленок</a>
Предыдущий патент: Устройство для определения молекулярной составляющей коэффициента трения
Следующий патент: Автоматический цифровой микроденситометр
Случайный патент: Бетонная смесь